DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD f5320327c2 增加设备锁。 ... Load和UnLoad在SlowPump时可以锁定Pump2.		2022-11-18 12:22:48 +08:00
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LoadHomeRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
LoadLockBaseRoutine.cs	增加设备锁。	2022-11-18 12:22:48 +08:00
LoadLockClawRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
LoadLockGroupRoutine.cs	修正AETemp对象Reset()方法中读取EnableLog设置时使用的配置名称。	2022-10-18 16:17:19 +08:00
LoadLockLeakCheckRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
LoadLockLiftRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
LoadLockPrepareTransferRoutine.cs	调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。	2022-11-14 16:42:44 +08:00
LoadLockPumpRoutine.cs	调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。	2022-11-14 16:42:44 +08:00
LoadLockPurgeRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
LoadLockServoToRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
LoadLockTrayAlignerRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
LoadLockTrayClawRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
LoadLockVentRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
LoadRotationHomeOffsetRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
LoadSeparateRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00