DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD f5320327c2 增加设备锁。 ... Load和UnLoad在SlowPump时可以锁定Pump2.		2022-11-18 12:22:48 +08:00
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UnLoadBaseRoutine.cs	增加设备锁。	2022-11-18 12:22:48 +08:00
UnLoadClawRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
UnLoadCoolingRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
UnLoadHomeRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
UnLoadLeakCheckRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
UnLoadLiftRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
UnLoadPrepareTransferRoutine.cs	调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。	2022-11-14 16:42:44 +08:00
UnLoadPumpRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
UnLoadPurgeRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
UnLoadSeparateRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
UnLoadServoToRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
UnLoadVentRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00