Aligners
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将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。
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2022-09-29 17:33:25 +08:00 |
Buffers
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将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。
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2022-09-29 17:33:25 +08:00 |
Cassettes
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Add project files.
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2022-09-19 09:16:33 +08:00 |
Devices
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Add project files.
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2022-09-19 09:16:33 +08:00 |
EFEMs
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Issue2:现在WaferRobot和TrayRobot可以同时Map。
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2022-11-07 17:19:13 +08:00 |
LLs
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修正LoadLockPurgeRoutine和UnLoadPurgeRoutine中设置DO的时机。
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2022-11-22 16:58:21 +08:00 |
Properties
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Add project files.
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2022-09-19 09:16:33 +08:00 |
TMs
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修正TMRobotPlaceRoutine中没有正确关闭闸板阀的问题。
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2022-11-21 20:33:57 +08:00 |
UnLoads
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UnLoad腔Purge参数设定从系统Configuration移至Sequence。
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2022-11-23 10:24:01 +08:00 |
Mainframe.csproj
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新增UnLoad模块CoolingAndPurgeRoutine。
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2022-11-23 09:24:24 +08:00 |