待修复问题： --------------------------------------------------------------------------------- Sic 系统更新历史记录 --------------------------------------------------------------------------------- Sic06 2023-01-11 Version 1.0.4.5 1.取消Unload CoolingAndPurge,改用Cooling和Purge分开,防止CoolingAndPurge占用过多 Sic06 2022-12-21 Version 1.0.3.4 1.Load旋转Routine增加先Reset后ServoOn步骤 2.解决有时最后的Tray不回Cassette的BUG 3.Load和Unload的伺服压力若Vent大气增加延时再关Vent阀 4.ReturnAllWafer功能中增加当Load腔有Tray暂时不取Buffer中次数使用完的Tray Sic06 2022-12-20 Version 1.0.2.3 1.所有模块在模块运行时也可切Offline 2.解决Load腔快抽阀有时关闭的BUG 3.修改PostTransfer流程，先开旋转等待5s再升隔热罩 4.增加PM1/PM2根据Process的结束时间来决定谁先Pick的功能 Sic06 2022-12-17 Version 1.0.2.2 1.所有模块在模块运行时也可切Offline 2.解决Load腔快抽阀有时关闭的BUG 3.修改PostTransfer流程，先开旋转等待5s再升隔热罩 Sic06 2022-12-16 Version 1.0.2.1 1.暂时取消磁流体转速检测功能 Sic06 2022-12-15 Version 1.0.2.0 1.优化Aligner流程，手动放Wafer取消Aligner动作 2.取消DO-64/65/67/68相关动作 3.PreProcess不等待旋转到位再升隔热罩 4.优化系统参数 5.取消所有关于自动校正功率功能 Sic06 2022-12-14 Version 1.0.1.9 1、重新整理Aligner所有功能 Sic06 2022-12-14 Version 1.0.1.8 1、Aligner驱动优化； Sic06 2022-12-13 Version 1.0.1.7 1、显示Aligner的“消除报警”按钮，方便操作； Sic06 2022-12-12 Version 1.0.1.6 1、AE优化：显式设置 SubscriptionAttribute.FLAG.SaveDB 的DATA注册; Sic06 2022-12-09 Version 1.0.1.5 1、CoolingWater 的 Interlock 报警更正； Sic06 2022-12-08 Version 1.0.1.4 1、PM1/PM2的 DI401-414删除掉； 2、PM/PM1-PM2的CoolingWater的文字和IO对应； 3、修改CoolWater的相应的IO（黄色）； Sic06 2022-12-08 Version 1.0.1.3 1.MFC07和MFC08 Offline是否报警根据AB腔TMA是否安装决定 2.Log Save Days默认设置为180天 3.取消PlacePVInnerTempLimit和PickPVInnerTempLimit参数， 打开PM闸板阀取消Inner温度检查,取消侧壁测温 4.解决PM在满足条件下有时无法开腔的BUG 5.取消Recipe中关于修改TMA参数的报警 6.Load和TM LeakCheck Routine使用自身的Pump和Vent参数 7.取消所有SlitValve打开或关闭中关于Buffer的检查，增加PM2的检查 8.Aligner和PM1、PM2 Wafer增加旋转动画 9.优化AutoRun流程 10.解决开启Interlock仿真跑片隔热罩报警问题 11.PM Purge最终压力改为Purge自身参数 Sic06 2022-12-08 Version 1.0.1.2 1.冷却水路IO修改：U6/U11/U12/U13； Sic06 2022-12-07 Version 1.0.1.1 1.优化AutoRun,TMRobot等Unload完全Ready再去PM腔取盘， 防止Tray长时间在TMRobot上 2.修改V85阀的动画 Sic06 2022-12-06 Version 1.0.1.0 1.Load和Unload加锁，防止同时Pump 2.修改V111阀门，改从M27后面进气 3.修改V124动画流向 4.Unload增加3次Purge配置，分别为传Tray,取Tray,取Wafer时配置Purge 5.TMRobot放Tray到Buffer后增加Purge配置 6.修改TM Purge气压仿真速率，提升仿真速度 Sic06 2022-12-02 Version 1.0.0.9 1.AE驱动优化； Sic06 2022-12-01 Version 1.0.0.8 1.HiwinAligner 优化； 2.V75由常开改为常闭 3.重新整理优化ReturnAllWafer功能 4.RecipeConfig放到和PM同级别目录,改BUG,RecipeConfig参数人工修改后，最新数据不能同步到新添加的Recipe 测试发现 5.PM Monitor悬浮框信息备注PM1&PM2 信息，方便区分 6.PM Process界面monitor按钮可以连续点击，出现多个Monitor界面，修改完成 7.去除TrayUsedForWhichPM属性的使用,改用TrayOrigSlot属性 Sic06 2022-11-25 Version 1.0.0.7 1.HiwinAligner 优化； Sic06 2022-11-24 Version 1.0.0.6 1.暂时取消MFC07/MFC08 Offline报警 2.优化EFEM Moudle，将WaferRobot和TrayRobot拆分出来 3.重新整理AutoRun 4.取消Buffer闸板阀，界面显示常开状态，取消Routine中关于 Buffer闸板阀操作，取消所有检查Buffer闸板阀条件状态 Sic06 2022-11-24 Version 1.0.0.5 1.PSU、SCR超限检测，状态Process 和 ProcessIdle两种状态下； Sic06 2022-11-24 Version 1.0.0.5 1.PSU、SCR超限检测，状态Process 和 ProcessIdle两种状态下； Sic06 2022-11-18 Version 1.0.0.4 1.AE改成4通道测温； Sic06 2022-11-15 Version 1.0.0.3 1. 取消创建Wafer自带Job功能 2.取消Unload切换为Offline的所有限制 Sic06 2022-11-14 Version 1.0.0.2 1. 更新AlarmCode 2.更新水路报警等信息 3.增加PSU和SCR电流电压报警功能 Sic06 2022-11-10 Version 1.0.0.1 1. AlarmCode PM1 PM2 更新 Sic06 2022-11-02 Version 1.0.0.0 1. 首次上传程序