旋转平台添加昂坤Trigger测温
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0a29749d44
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@ -3,23 +3,27 @@
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<AETemps classType="MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary.HardwareUnits.Temps.AETemp" assembly="MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary">
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<AETemps classType="MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary.HardwareUnits.Temps.AETemp" assembly="MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary">
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<AETemp id="AETemp" module="" display="AETemp" scBasePath="TempSensors" MaxChannels="4" MinimalTemp="600"/>
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<AETemp id="AETemp" module="" display="AETemp" scBasePath="TempSensors" MaxChannels="4" MinimalTemp="600"/>
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</AETemps>
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</AETemps>
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<AKunTemps classType="MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary.HardwareUnits.Temps.AKunTemp" assembly="MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary">
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<AKunTemps classType="MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary.HardwareUnits.Temps.AKunTemp" assembly="MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary">
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<AKunTemp id="AKunTemp" module="" display="AKunTemp" scBasePath="TempSensors" MaxChannels="4" MinimalTemp="600"/>
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<AKunTemp id="AKunTemp" module="" display="AKunTemp" scBasePath="TempSensors" MaxChannels="4" MinimalTemp="600"/>
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</AKunTemps>
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</AKunTemps>
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<AKunTemps classType="MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary.HardwareUnits.Temps.AKunTriggerTemp" assembly="MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary">
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<AKunTemp id="AKunTriggerTemp" module="" display="AKunTriggerTemp" scBasePath="TempSensors" MaxChannels="1" WaferNum="5" MinimalTemp="450"/>
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</AKunTemps>
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<SensorTemps classType="MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary.HardwareUnits.Temps.SensorTemp" assembly="MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary">
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<SensorTemps classType="MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary.HardwareUnits.Temps.SensorTemp" assembly="MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary">
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<SensorTemp id="SensorTemp1" module="" display="SensorTemp1" scBasePath="TempSensors.Sensor" MaxChannels="1" MinimalTemp="600"/>
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<SensorTemp id="SensorTemp1" module="" display="SensorTemp1" scBasePath="TempSensors.Sensor" MaxChannels="1" MinimalTemp="600"/>
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<SensorTemp id="SensorTemp2" module="" display="SensorTemp2" scBasePath="TempSensors.Sensor" MaxChannels="1" MinimalTemp="600"/>
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<SensorTemp id="SensorTemp2" module="" display="SensorTemp2" scBasePath="TempSensors.Sensor" MaxChannels="1" MinimalTemp="600"/>
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<SensorTemp id="SensorTemp3" module="" display="SensorTemp3" scBasePath="TempSensors.Sensor" MaxChannels="1" MinimalTemp="600"/>
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<SensorTemp id="SensorTemp3" module="" display="SensorTemp3" scBasePath="TempSensors.Sensor" MaxChannels="1" MinimalTemp="600"/>
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<SensorTemp id="SensorTemp4" module="" display="SensorTemp4" scBasePath="TempSensors.Sensor" MaxChannels="1" MinimalTemp="600"/>
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<SensorTemp id="SensorTemp4" module="" display="SensorTemp4" scBasePath="TempSensors.Sensor" MaxChannels="1" MinimalTemp="600"/>
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</SensorTemps>
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</SensorTemps>
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<StrongTemps classType="MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary.HardwareUnits.Temps.StrongTemp" assembly="MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary">
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<StrongTemps classType="MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary.HardwareUnits.Temps.StrongTemp" assembly="MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary">
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<StrongTemp id="StrongTemp1" module="" display="StrongTemp1" scBasePath="TempSensors.Strong"/>
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<StrongTemp id="StrongTemp1" module="" display="StrongTemp1" scBasePath="TempSensors.Strong" MaxChannels="1" MinimalTemp="600"/>
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<StrongTemp id="StrongTemp2" module="" display="StrongTemp2" scBasePath="TempSensors.Strong"/>
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<StrongTemp id="StrongTemp2" module="" display="StrongTemp2" scBasePath="TempSensors.Strong" MaxChannels="1" MinimalTemp="600"/>
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<StrongTemp id="StrongTemp3" module="" display="StrongTemp3" scBasePath="TempSensors.Strong"/>
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<StrongTemp id="StrongTemp3" module="" display="StrongTemp3" scBasePath="TempSensors.Strong" MaxChannels="1" MinimalTemp="600"/>
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<StrongTemp id="StrongTemp4" module="" display="StrongTemp4" scBasePath="TempSensors.Strong"/>
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<StrongTemp id="StrongTemp4" module="" display="StrongTemp4" scBasePath="TempSensors.Strong" MaxChannels="1" MinimalTemp="600"/>
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</StrongTemps>
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</StrongTemps>
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</DeviceModelDefine>
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</DeviceModelDefine>
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@ -499,7 +499,7 @@ namespace SicModules.Devices
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_timer.Stop();
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_timer.Stop();
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}
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}
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if(_diServoError.Value)
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if(_diServoError?.Value == false)
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{
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{
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_doServoOn.SetValue(false, out _);
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_doServoOn.SetValue(false, out _);
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}
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}
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@ -1050,13 +1050,16 @@
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<config default="Warning" name="PumpLineTempAlarm" description="报警等级(加热带温区1-6固定为Warning)" max="" min="" paramter="Warning;Alarm" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" visible="true" />
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<config default="Warning" name="PumpLineTempAlarm" description="报警等级(加热带温区1-6固定为Warning)" max="" min="" paramter="Warning;Alarm" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" visible="true" />
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</configs>
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</configs>
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<configs name="TempSensor">
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<configs name="TempSensor">
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<config default="AKunTemp.t1" name="MiddleTemp" description="设置Middle温度数据通道,重启生效" max="" min="" paramter="AETemp.t1;AETemp.t2;AETemp.t3;AETemp.t4;AKunTemp.t1;AKunTemp.t2;AKunTemp.t3;AKunTemp.t4;SensorTemp1.t1;SensorTemp2.t1;SensorTemp3.t1;SensorTemp4.t1;StrongTemp1.t1;StrongTemp2.t1;StrongTemp3.t1;StrongTemp4.t1;Disabled" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" visible="false"/>
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<config default="AKunTemp.t1" name="MiddleTemp" description="设置Middle温度数据通道,重启生效" max="" min="" paramter="AETemp.t1;AETemp.t2;AETemp.t3;AETemp.t4;AKunTemp.t1;AKunTemp.t2;AKunTemp.t3;AKunTemp.t4;SensorTemp1.t1;SensorTemp2.t1;SensorTemp3.t1;SensorTemp4.t1;StrongTemp1.t1;StrongTemp2.t1;StrongTemp3.t1;StrongTemp4.t1;Disabled" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" visible="false"/>
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<config default="AKunTemp.t2" name="OuterTemp" description="设置Outer温度数据通道,重启生效" max="" min="" paramter="AETemp.t1;AETemp.t2;AETemp.t3;AETemp.t4;AKunTemp.t1;AKunTemp.t2;AKunTemp.t3;AKunTemp.t4;SensorTemp1.t1;SensorTemp2.t1;SensorTemp3.t1;SensorTemp4.t1;StrongTemp1.t1;StrongTemp2.t1;StrongTemp3.t1;StrongTemp4.t1;Disabled" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" visible="false"/>
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<config default="AKunTemp.t2" name="OuterTemp" description="设置Outer温度数据通道,重启生效" max="" min="" paramter="AETemp.t1;AETemp.t2;AETemp.t3;AETemp.t4;AKunTemp.t1;AKunTemp.t2;AKunTemp.t3;AKunTemp.t4;SensorTemp1.t1;SensorTemp2.t1;SensorTemp3.t1;SensorTemp4.t1;StrongTemp1.t1;StrongTemp2.t1;StrongTemp3.t1;StrongTemp4.t1;Disabled" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" visible="false"/>
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<config default="Disabled" name="InnerTemp" description="设置Inner温度数据通道,重启生效" max="" min="" paramter="AETemp.t1;AETemp.t2;AETemp.t3;AETemp.t4;AKunTemp.t1;AKunTemp.t2;AKunTemp.t3;AKunTemp.t4;SensorTemp1.t1;SensorTemp2.t1;SensorTemp3.t1;SensorTemp4.t1;StrongTemp1.t1;StrongTemp2.t1;StrongTemp3.t1;StrongTemp4.t1;Disabled" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" visible="false"/>
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<config default="Disabled" name="InnerTemp" description="设置Inner温度数据通道,重启生效" max="" min="" paramter="AETemp.t1;AETemp.t2;AETemp.t3;AETemp.t4;AKunTemp.t1;AKunTemp.t2;AKunTemp.t3;AKunTemp.t4;SensorTemp1.t1;SensorTemp2.t1;SensorTemp3.t1;SensorTemp4.t1;StrongTemp1.t1;StrongTemp2.t1;StrongTemp3.t1;StrongTemp4.t1;Disabled" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" visible="false"/>
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<config default="AKunTemp.CH1" name="Middle" description="设置Middle温度数据通道,重启生效" max="" min="" paramter="AETemp.CH1;AETemp.CH2;AETemp.CH3;AETemp.CH4;AKunTriggerTemp.CH1;AKunTriggerTemp.Wafer1;AKunTriggerTemp.Wafer2;AKunTriggerTemp.Wafer3;AKunTriggerTemp.Wafer4;AKunTriggerTemp.Wafer5;AKunTemp.CH1;AKunTemp.CH2;AKunTemp.CH3;AKunTemp.CH4;SensorTemp1.CH1;SensorTemp2.CH1;SensorTemp3.CH1;SensorTemp4.CH1;StrongTemp1.CH1;StrongTemp2.CH1;StrongTemp3.CH1;StrongTemp4.CH1;Disabled" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" />
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<config default="AKunTemp.CH2" name="Outer" description="设置Outer温度数据通道,重启生效" max="" min="" paramter="AETemp.CH1;AETemp.CH2;AETemp.CH3;AETemp.CH4;AKunTriggerTemp.CH1;AKunTriggerTemp.Wafer1;AKunTriggerTemp.Wafer2;AKunTriggerTemp.Wafer3;AKunTriggerTemp.Wafer4;AKunTriggerTemp.Wafer5;AKunTemp.CH1;AKunTemp.CH2;AKunTemp.CH3;AKunTemp.CH4;SensorTemp1.CH1;SensorTemp2.CH1;SensorTemp3.CH1;SensorTemp4.CH1;StrongTemp1.CH1;StrongTemp2.CH1;StrongTemp3.CH1;StrongTemp4.CH1;Disabled" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" />
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<config default="AKunTemp.CH3" name="Inner" description="设置Inner温度数据通道,重启生效" max="" min="" paramter="AETemp.CH1;AETemp.CH2;AETemp.CH3;AETemp.CH4;AKunTriggerTemp.CH1;AKunTriggerTemp.Wafer1;AKunTriggerTemp.Wafer2;AKunTriggerTemp.Wafer3;AKunTriggerTemp.Wafer4;AKunTriggerTemp.Wafer5;AKunTemp.CH1;AKunTemp.CH2;AKunTemp.CH3;AKunTemp.CH4;SensorTemp1.CH1;SensorTemp2.CH1;SensorTemp3.CH1;SensorTemp4.CH1;StrongTemp1.CH1;StrongTemp2.CH1;StrongTemp3.CH1;StrongTemp4.CH1;Disabled" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" />
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<config default="Middle" name="TemperControlMode" description="使用哪路输出作为温控数据" max="" min="" paramter="Middle;Outer;Inner" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" visible="true" />
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<config default="AKunTemp.CH1" name="Middle" description="设置Middle温度数据通道,重启生效" max="" min="" paramter="AETemp.CH1;AETemp.CH2;AETemp.CH3;AETemp.CH4;AKunTemp.CH1;AKunTemp.CH2;AKunTemp.CH3;AKunTemp.CH4;SensorTemp1.CH1;SensorTemp2.CH1;SensorTemp3.CH1;SensorTemp4.CH1;StrongTemp1.CH1;StrongTemp2.CH1;StrongTemp3.CH1;StrongTemp4.CH1;Disabled" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" />
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<config default="AKunTemp.CH2" name="Outer" description="设置Outer温度数据通道,重启生效" max="" min="" paramter="AETemp.CH1;AETemp.CH2;AETemp.CH3;AETemp.CH4;AKunTemp.CH1;AKunTemp.CH2;AKunTemp.CH3;AKunTemp.CH4;SensorTemp1.CH1;SensorTemp2.CH1;SensorTemp3.CH1;SensorTemp4.CH1;StrongTemp1.CH1;StrongTemp2.CH1;StrongTemp3.CH1;StrongTemp4.CH1;Disabled" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" />
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<config default="AKunTemp.CH3" name="Inner" description="设置Inner温度数据通道,重启生效" max="" min="" paramter="AETemp.CH1;AETemp.CH2;AETemp.CH3;AETemp.CH4;AKunTemp.CH1;AKunTemp.CH2;AKunTemp.CH3;AKunTemp.CH4;SensorTemp1.CH1;SensorTemp2.CH1;SensorTemp3.CH1;SensorTemp4.CH1;StrongTemp1.CH1;StrongTemp2.CH1;StrongTemp3.CH1;StrongTemp4.CH1;Disabled" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" />
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</configs>
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</configs>
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</configs>
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</configs>
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<configs name="PM2">
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<configs name="PM2">
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@ -1614,10 +1617,13 @@
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<config default="AKunTemp.t4" name="OuterTemp" description="设置Outer温度数据通道,重启生效" max="" min="" paramter="AETemp.t1;AETemp.t2;AETemp.t3;AETemp.t4;AKunTemp.t1;AKunTemp.t2;AKunTemp.t3;AKunTemp.t4;SensorTemp1.t1;SensorTemp2.t1;SensorTemp3.t1;SensorTemp4.t1;StrongTemp1.t1;StrongTemp2.t1;StrongTemp3.t1;StrongTemp4.t1;Disabled" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" visible="false"/>
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<config default="AKunTemp.t4" name="OuterTemp" description="设置Outer温度数据通道,重启生效" max="" min="" paramter="AETemp.t1;AETemp.t2;AETemp.t3;AETemp.t4;AKunTemp.t1;AKunTemp.t2;AKunTemp.t3;AKunTemp.t4;SensorTemp1.t1;SensorTemp2.t1;SensorTemp3.t1;SensorTemp4.t1;StrongTemp1.t1;StrongTemp2.t1;StrongTemp3.t1;StrongTemp4.t1;Disabled" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" visible="false"/>
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<config default="Disabled" name="InnerTemp" description="设置Inner温度数据通道,重启生效" max="" min="" paramter="AETemp.t1;AETemp.t2;AETemp.t3;AETemp.t4;AKunTemp.t1;AKunTemp.t2;AKunTemp.t3;AKunTemp.t4;SensorTemp1.t1;SensorTemp2.t1;SensorTemp3.t1;SensorTemp4.t1;StrongTemp1.t1;StrongTemp2.t1;StrongTemp3.t1;StrongTemp4.t1;Disabled" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" visible="false"/>
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<config default="Disabled" name="InnerTemp" description="设置Inner温度数据通道,重启生效" max="" min="" paramter="AETemp.t1;AETemp.t2;AETemp.t3;AETemp.t4;AKunTemp.t1;AKunTemp.t2;AKunTemp.t3;AKunTemp.t4;SensorTemp1.t1;SensorTemp2.t1;SensorTemp3.t1;SensorTemp4.t1;StrongTemp1.t1;StrongTemp2.t1;StrongTemp3.t1;StrongTemp4.t1;Disabled" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" visible="false"/>
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<config default="Disabled" name="Middle" description="设置Middle温度数据通道,重启生效" max="" min="" paramter="AETemp.CH1;AETemp.CH2;AETemp.CH3;AETemp.CH4;AKunTemp.CH1;AKunTemp.CH2;AKunTemp.CH3;AKunTemp.CH4;SensorTemp1.CH1;SensorTemp2.CH1;SensorTemp3.CH1;SensorTemp4.CH1;StrongTemp1.CH1;StrongTemp2.CH1;StrongTemp3.CH1;StrongTemp4.CH1;Disabled" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" />
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<config default="AKunTemp.CH1" name="Middle" description="设置Middle温度数据通道,重启生效" max="" min="" paramter="AETemp.CH1;AETemp.CH2;AETemp.CH3;AETemp.CH4;AKunTriggerTemp.CH1;AKunTriggerTemp.Wafer1;AKunTriggerTemp.Wafer2;AKunTriggerTemp.Wafer3;AKunTriggerTemp.Wafer4;AKunTriggerTemp.Wafer5;AKunTemp.CH1;AKunTemp.CH2;AKunTemp.CH3;AKunTemp.CH4;SensorTemp1.CH1;SensorTemp2.CH1;SensorTemp3.CH1;SensorTemp4.CH1;StrongTemp1.CH1;StrongTemp2.CH1;StrongTemp3.CH1;StrongTemp4.CH1;Disabled" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" />
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<config default="Disabled" name="Outer" description="设置Outer温度数据通道,重启生效" max="" min="" paramter="AETemp.CH1;AETemp.CH2;AETemp.CH3;AETemp.CH4;AKunTemp.CH1;AKunTemp.CH2;AKunTemp.CH3;AKunTemp.CH4;SensorTemp1.CH1;SensorTemp2.CH1;SensorTemp3.CH1;SensorTemp4.CH1;StrongTemp1.CH1;StrongTemp2.CH1;StrongTemp3.CH1;StrongTemp4.CH1;Disabled" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" />
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<config default="AKunTemp.CH2" name="Outer" description="设置Outer温度数据通道,重启生效" max="" min="" paramter="AETemp.CH1;AETemp.CH2;AETemp.CH3;AETemp.CH4;AKunTriggerTemp.CH1;AKunTriggerTemp.Wafer1;AKunTriggerTemp.Wafer2;AKunTriggerTemp.Wafer3;AKunTriggerTemp.Wafer4;AKunTriggerTemp.Wafer5;AKunTemp.CH1;AKunTemp.CH2;AKunTemp.CH3;AKunTemp.CH4;SensorTemp1.CH1;SensorTemp2.CH1;SensorTemp3.CH1;SensorTemp4.CH1;StrongTemp1.CH1;StrongTemp2.CH1;StrongTemp3.CH1;StrongTemp4.CH1;Disabled" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" />
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<config default="Disabled" name="Inner" description="设置Inner温度数据通道,重启生效" max="" min="" paramter="AETemp.CH1;AETemp.CH2;AETemp.CH3;AETemp.CH4;AKunTemp.CH1;AKunTemp.CH2;AKunTemp.CH3;AKunTemp.CH4;SensorTemp1.CH1;SensorTemp2.CH1;SensorTemp3.CH1;SensorTemp4.CH1;StrongTemp1.CH1;StrongTemp2.CH1;StrongTemp3.CH1;StrongTemp4.CH1;Disabled" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" />
|
<config default="AKunTemp.CH3" name="Inner" description="设置Inner温度数据通道,重启生效" max="" min="" paramter="AETemp.CH1;AETemp.CH2;AETemp.CH3;AETemp.CH4;AKunTriggerTemp.CH1;AKunTriggerTemp.Wafer1;AKunTriggerTemp.Wafer2;AKunTriggerTemp.Wafer3;AKunTriggerTemp.Wafer4;AKunTriggerTemp.Wafer5;AKunTemp.CH1;AKunTemp.CH2;AKunTemp.CH3;AKunTemp.CH4;SensorTemp1.CH1;SensorTemp2.CH1;SensorTemp3.CH1;SensorTemp4.CH1;StrongTemp1.CH1;StrongTemp2.CH1;StrongTemp3.CH1;StrongTemp4.CH1;Disabled" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" />
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</configs>
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<config default="Middle" name="TemperControlMode" description="使用哪路输出作为温控数据" max="" min="" paramter="Middle;Outer;Inner" tag="ReadOnlySelection" unit="" type="String" visible="true" />
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</configs>
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</configs>
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</configs>
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</configs>
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</configs>
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@ -1987,6 +1993,11 @@
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<config default="127.0.0.1:53888" name="Address" description="AKun IP address,Default IP: 127.0.0.1:53888" max="" min="" paramter="" tag="" unit="" type="String" />
|
<config default="127.0.0.1:53888" name="Address" description="AKun IP address,Default IP: 127.0.0.1:53888" max="" min="" paramter="" tag="" unit="" type="String" />
|
||||||
<config default="10" name="ControllerAverageTime" description="AKun温度平滑时间,AKun间隔/ms采样温度,设置后立即生效" max="10000" min="1" paramter="" tag="" unit="ms" type="Integer" />
|
<config default="10" name="ControllerAverageTime" description="AKun温度平滑时间,AKun间隔/ms采样温度,设置后立即生效" max="10000" min="1" paramter="" tag="" unit="ms" type="Integer" />
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</configs>
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</configs>
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<configs name="AKunTriggerTemp">
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<config default="false" name="EnableDevice" description="AKun带Trigger设备启用,设置后重启生效" max="" min="" paramter="" tag="" unit="" type="Bool" />
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<config default="127.0.0.1:55888" name="Address" description="AKunTrigger IP address,Default IP: 127.0.0.1:55888" max="" min="" paramter="" tag="" unit="" type="String" />
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|
</configs>
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||||||
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<configs name="Sensor">
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<configs name="Sensor">
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<configs name="SensorTemp1">
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<configs name="SensorTemp1">
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