Han Qiang Qiang
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f9e503b36c
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整理多片机问题点
1.Recipe不能运行问题
2.V30问题
3.泵问题
4.Recipe中磁流体设置问题
5.Recipe中HCLSourSplitRatio设置问题
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2024-07-08 09:25:18 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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712c702ec8
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Merge branch 'develop' into 多片机/multiplate-develop
# Conflicts:
# ThirdParty/MECF.Framework/MECF.Framework.Common.dll
# ThirdParty/MECF.Framework/MECF.Framework.RT.Core.dll
# ThirdParty/MECF.Framework/MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary.dll
# ThirdParty/MECF.Framework/MECF.Framework.Simulator.Core.dll
# ThirdParty/MECF.Framework/MECF.Framework.UI.Client.dll
# ThirdParty/MECF.Framework/MECF.Framework.UI.Core.dll
# ThirdParty/MECF.Framework/Sicentury.Core.dll
# ThirdParty/MECF.Framework/Sicentury.Localization.dll
# ThirdParty/MECF.Framework/zh/Sicentury.Localization.resources.dll
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2024-05-22 16:30:48 +08:00 |
HCL
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94118de389
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1.PostTransfer升隔热罩延时改为可配置
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2024-05-21 16:36:40 +08:00 |
HCL
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89e48d49d9
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1.Preprocess等待温度超时修改为600s
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2024-05-20 16:19:52 +08:00 |
HCL
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bd951e3a67
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1.修正PostProcess结束后DO-PostProcessRunning未设置false的问题
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2024-05-15 16:51:37 +08:00 |
HCL
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ef513b441f
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1.修正Interlock有时不起作用的BUG
2.在PreProcess、Procss、PostProcess过程中检查对应的DO-PreProcessRunning、DO-ProcessRunning、DO-PostProcessRunning信号,
- 若为false则PM宕机
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2024-05-07 15:03:05 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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c3c9a610d9
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Merge branch 'develop' into 多片机/multiplate-develop
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2024-05-06 10:20:52 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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f3458dd5aa
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修改Routine
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2024-04-24 17:44:50 +08:00 |
Liang Su
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8bc589ebf5
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refactor(Heater): 优化Heater操作视图,优化HeatStrategy等枚举定义。
更新Common库至f05010b。
FlowMode、TCModes、HeatStrategy等枚举从DicMode对象中移出至Aitex.Core.RT.Device.PmDevices命名空间。
PMHeaterView视图从SicUI项目中移除,移至UI.Client库。
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2024-04-24 09:21:23 +08:00 |
Liang Su
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3a1914b0cd
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refactor(TC): 重构IoTC
更新库文件cd8c814,重构IoTC对象。
所有HeaterControlMode枚举更名为HeatStrategy。
移除IoTC的SetTargetSPAll方法,PMModuleDevice对象的EnableHeater方法中使用SetTargetSP方法设置目标温度。
修正PMHeaterView视图中无法将PSU和SCR手动设置到Pyro模式的问题。现在将原Pyro模式扩展为PyroAuto和PyroFollow模式。
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2024-04-24 09:21:22 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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885a16d79a
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修改PMToAtmIdleRoutine
修改PMToProcessIdleRoutine
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2024-04-23 14:11:48 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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8fb1afb227
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PM腔体和管道压差,在工艺过程中检测,报警等级可配置
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2024-03-14 09:52:29 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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66f77567e5
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启用屏蔽的Coating生长方法
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2024-03-01 14:28:43 +08:00 |
SIC1016\caipeilun
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b5a0e2925a
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更新维护代码
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2024-02-26 10:47:35 +08:00 |
HCL
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492828e470
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1.Process前增加闸板阀关闭检查
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2024-02-02 11:10:57 +08:00 |
Liang Su
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c6bcaeeb34
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修正Recipe中的C3H8设置项识别错误,全部默认到Purge的问题。
版本号更新至v1.1.1.1
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2023-11-17 14:13:53 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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0e8d46ef76
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电阻丝加热,当设置为Warning时Log不输出问题修改
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2023-09-13 09:17:41 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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798b4047ca
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更新dll[dd6def1]
1Recipe更新触发函数明修改
2修改气流统计界面外观
3修改Recipe实时更新相关配置和函数
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2023-08-28 09:47:47 +08:00 |
HCL
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9237c3262d
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1.整理WaferInfoRt类
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2023-08-10 15:56:27 +08:00 |
HCL
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84d3f77d57
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1.进度更新
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2023-08-09 11:01:06 +08:00 |
Liang Su
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e513872f3c
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更新库文件(Commit 9c181aa),更新IoPSU和IoSCR对象。
PM Operation视图增加加热器电阻值显示。
优化PM Process过程中监测加热器电阻阻值的逻辑。
优化系统配置中加热器电阻检测相关的配置项的名称。
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2023-07-28 11:37:26 +08:00 |
LAPTOP-V3V5DP1T\Han Qiang Qiang
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b5098fb7f6
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1移植数据库脚本
2在工艺结束后添加膜厚检测
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2023-06-08 16:52:00 +08:00 |
LAPTOP-V3V5DP1T\Han Qiang Qiang
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199ae2bbc4
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移植Coating
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2023-06-02 11:30:02 +08:00 |
LAPTOP-V3V5DP1T\Han Qiang Qiang
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0d47693227
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删除久的Coating,修改加热配置项数据类型
更新DLL
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2023-06-01 16:56:20 +08:00 |
DESKTOP-1N1NK8A\auvkk
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23300aac9e
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合并Develop分支。
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2023-05-05 16:09:03 +08:00 |
DESKTOP-1N1NK8A\auvkk
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5fc32427bf
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PostProcess Routine中重载StartBody()方法和MonitorBody()方法。
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2023-05-05 11:44:06 +08:00 |
hanqiangqiang
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a3ff336357
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添加Coating生长功能
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2023-04-23 14:18:42 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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5da921c88e
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Mainframe工程更名为SicModules。
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2023-04-13 15:35:13 +08:00 |