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28 Commits

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Han Qiang Qiang f9e503b36c 整理多片机问题点
1.Recipe不能运行问题
2.V30问题
3.泵问题
4.Recipe中磁流体设置问题
5.Recipe中HCLSourSplitRatio设置问题
2024-07-08 09:25:18 +08:00
Han Qiang Qiang 712c702ec8 Merge branch 'develop' into 多片机/multiplate-develop
# Conflicts:
#	ThirdParty/MECF.Framework/MECF.Framework.Common.dll
#	ThirdParty/MECF.Framework/MECF.Framework.RT.Core.dll
#	ThirdParty/MECF.Framework/MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary.dll
#	ThirdParty/MECF.Framework/MECF.Framework.Simulator.Core.dll
#	ThirdParty/MECF.Framework/MECF.Framework.UI.Client.dll
#	ThirdParty/MECF.Framework/MECF.Framework.UI.Core.dll
#	ThirdParty/MECF.Framework/Sicentury.Core.dll
#	ThirdParty/MECF.Framework/Sicentury.Localization.dll
#	ThirdParty/MECF.Framework/zh/Sicentury.Localization.resources.dll
2024-05-22 16:30:48 +08:00
HCL 94118de389 1.PostTransfer升隔热罩延时改为可配置 2024-05-21 16:36:40 +08:00
HCL 89e48d49d9 1.Preprocess等待温度超时修改为600s 2024-05-20 16:19:52 +08:00
HCL bd951e3a67 1.修正PostProcess结束后DO-PostProcessRunning未设置false的问题 2024-05-15 16:51:37 +08:00
HCL ef513b441f 1.修正Interlock有时不起作用的BUG
2.在PreProcess、Procss、PostProcess过程中检查对应的DO-PreProcessRunning、DO-ProcessRunning、DO-PostProcessRunning信号,
 - 若为false则PM宕机
2024-05-07 15:03:05 +08:00
Han Qiang Qiang c3c9a610d9 Merge branch 'develop' into 多片机/multiplate-develop 2024-05-06 10:20:52 +08:00
Han Qiang Qiang f3458dd5aa 修改Routine 2024-04-24 17:44:50 +08:00
Liang Su 8bc589ebf5 refactor(Heater): 优化Heater操作视图,优化HeatStrategy等枚举定义。
更新Common库至f05010b。
FlowMode、TCModes、HeatStrategy等枚举从DicMode对象中移出至Aitex.Core.RT.Device.PmDevices命名空间。
PMHeaterView视图从SicUI项目中移除,移至UI.Client库。
2024-04-24 09:21:23 +08:00
Liang Su 3a1914b0cd refactor(TC): 重构IoTC
更新库文件cd8c814,重构IoTC对象。
所有HeaterControlMode枚举更名为HeatStrategy。
移除IoTC的SetTargetSPAll方法,PMModuleDevice对象的EnableHeater方法中使用SetTargetSP方法设置目标温度。
修正PMHeaterView视图中无法将PSU和SCR手动设置到Pyro模式的问题。现在将原Pyro模式扩展为PyroAuto和PyroFollow模式。
2024-04-24 09:21:22 +08:00
Han Qiang Qiang 885a16d79a 修改PMToAtmIdleRoutine
修改PMToProcessIdleRoutine
2024-04-23 14:11:48 +08:00
Han Qiang Qiang 8fb1afb227 PM腔体和管道压差,在工艺过程中检测,报警等级可配置 2024-03-14 09:52:29 +08:00
Han Qiang Qiang 66f77567e5 启用屏蔽的Coating生长方法 2024-03-01 14:28:43 +08:00
SIC1016\caipeilun b5a0e2925a 更新维护代码 2024-02-26 10:47:35 +08:00
HCL 492828e470 1.Process前增加闸板阀关闭检查 2024-02-02 11:10:57 +08:00
Liang Su c6bcaeeb34 修正Recipe中的C3H8设置项识别错误,全部默认到Purge的问题。
版本号更新至v1.1.1.1
2023-11-17 14:13:53 +08:00
Han Qiang Qiang 0e8d46ef76 电阻丝加热,当设置为Warning时Log不输出问题修改 2023-09-13 09:17:41 +08:00
Han Qiang Qiang 798b4047ca 更新dll[dd6def1]
1Recipe更新触发函数明修改
2修改气流统计界面外观
3修改Recipe实时更新相关配置和函数
2023-08-28 09:47:47 +08:00
HCL 9237c3262d 1.整理WaferInfoRt类 2023-08-10 15:56:27 +08:00
HCL 84d3f77d57 1.进度更新 2023-08-09 11:01:06 +08:00
Liang Su e513872f3c 更新库文件(Commit 9c181aa),更新IoPSU和IoSCR对象。
PM Operation视图增加加热器电阻值显示。
优化PM Process过程中监测加热器电阻阻值的逻辑。
优化系统配置中加热器电阻检测相关的配置项的名称。
2023-07-28 11:37:26 +08:00
LAPTOP-V3V5DP1T\Han Qiang Qiang b5098fb7f6 1移植数据库脚本
2在工艺结束后添加膜厚检测
2023-06-08 16:52:00 +08:00
LAPTOP-V3V5DP1T\Han Qiang Qiang 199ae2bbc4 移植Coating 2023-06-02 11:30:02 +08:00
LAPTOP-V3V5DP1T\Han Qiang Qiang 0d47693227 删除久的Coating,修改加热配置项数据类型
更新DLL
2023-06-01 16:56:20 +08:00
DESKTOP-1N1NK8A\auvkk 23300aac9e 合并Develop分支。 2023-05-05 16:09:03 +08:00
DESKTOP-1N1NK8A\auvkk 5fc32427bf PostProcess Routine中重载StartBody()方法和MonitorBody()方法。 2023-05-05 11:44:06 +08:00
hanqiangqiang a3ff336357 添加Coating生长功能 2023-04-23 14:18:42 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 5da921c88e Mainframe工程更名为SicModules。 2023-04-13 15:35:13 +08:00