Han Qiang Qiang
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268c0fd369
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修改Recipe C2H4-> UnitName
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2023-11-14 15:42:09 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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9c3e075a8b
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C2H4修改为C3H8
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2023-11-14 10:43:36 +08:00 |
Liang Su
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8302cccaa1
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更新库文件094abb3,修正Recipe保存的一些问题。
修正SicRT\Toolloader中IoManager对象的加载顺序,移至末尾加载,以避免IoManager中启动了InterlockManager,但InterlockManager使用的数据还未在DATA中注册,导致Poll数据失败的问题。
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2023-10-25 16:46:33 +08:00 |
HCL
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d19fed6c29
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Recipe中取消Pyro选项
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2023-10-19 08:33:55 +08:00 |
HCL
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38b60ed52c
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1.Recipe增加PyroAuto和PyroFollow
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2023-06-29 09:56:22 +08:00 |
Liang Su
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6e646ad3db
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更新库文件(Commit ccea5a5),支持报警响应前和响应后三色灯呈现不同状态。
修正Buzzer Off按钮事件,变更为System.AckAllAlarms。
Wafer回到Cassette时,触发PJ_DONE事件,而不是直接调用三色灯。
修改三色灯实体判断逻辑,系统初始化时判断三色灯连接在哪个PLC,其它PLC的三色灯实例自动禁用。
TM点表中增加三色灯DO定义。
Recipe模板文件中增加StepUid列。
EventDefine.xml中新增50,PJ_DONE事件。
修正一些描述错误。
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2023-06-25 16:04:34 +08:00 |
hanqiangqiang
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a3ff336357
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添加Coating生长功能
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2023-04-23 14:18:42 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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7a3daa31fb
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修正Recipe界面无法打开的问题。
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2023-03-28 13:44:27 +08:00 |