Han Qiang Qiang
|
68c5f3f7c4
|
更新版本号至 ## Version 1.1.1.4
修改C2H4_C3H8FlowRatio配置名称
|
2023-11-22 15:58:31 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
8c322bf438
|
真值表添加配置项
|
2023-11-22 15:25:48 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
b20d34d4dc
|
1更新dll,重新整理LineHeater数据输出
2修改LineHeater配置和界面及后台绑定
|
2023-11-22 13:12:12 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
d4f99dff5e
|
1添加C2H4-C3H8配置项，在PM1 PM2主配置中
2修改PM界面相关显示
3修改真值表，气体流统计显示界面，更新dll
4修改IO名称
|
2023-11-22 10:22:06 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
8fb7a84308
|
更新dll [2cdf762]，修改MFC5控制流程逻辑
1.PM Device配置中使用库中类实例化MFC5控制流程
2.SC配置中添加参数，是否安装MFC5， PM.{module}.MFC.Mfc5.IsInstalled
3.修改PM主界面显示，根据配置是否显示MFC5
|
2023-11-21 17:20:54 +08:00 |
HQQ
|
e2dd90b0ca
|
版本号更新至## Version 1.1.1.3
|
2023-11-19 12:19:13 +08:00 |
|
HQQ
|
f04658385a
|
添加IoN2HighDoping类，配置气阀控制PN2气体
|
2023-11-19 12:17:29 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
1f814517bf
|
删除PM2多余Interlock配置项
更新版本号至## Version 1.1.1.2
|
2023-11-17 20:51:03 +08:00 |
HCL
|
6bdcb0b68d
|
1.更新Common库
|
2023-11-17 14:29:51 +08:00 |
 Liang Su
|
c6bcaeeb34
|
修正Recipe中的C3H8设置项识别错误，全部默认到Purge的问题。
版本号更新至v1.1.1.1
|
2023-11-17 14:13:53 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
8c62eed8a8
|
6号机版本号更新至 ## Version 1.1.0.0
|
2023-11-16 14:45:27 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
3c7374dfc9
|
更新dll [ed25f36]，优化PM右键菜单选项
|
2023-11-16 14:34:09 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
55f6602cd9
|
更新dll [bdaa90e]，PM腔体添加右键菜单功能
|
2023-11-15 21:38:16 +08:00 |
|
HCL
|
20fa98e2b8
|
1.AutoTransfer中判断Tray是否从Buffer中传到Load,这时不需要Load Purge
|
2023-11-15 15:12:15 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
493a3f6499
|
1更新dll [d2bcfff],上银机械手注册真空开关，夹爪开关控制
2修改按钮界面显示
|
2023-11-15 14:57:48 +08:00 |
|
HCL
|
76664e49c3
|
1.启用Cassette下降沿信号删除Wafer信息功能
|
2023-11-15 14:41:55 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
1e74ce3893
|
修改PM 单向阀额定压力值
|
2023-11-15 14:32:09 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
389e3f377f
|
修改Tray机械手夹爪关闭按钮名称
|
2023-11-15 14:08:33 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
b70314fedd
|
1添加机械手真空
2还原PM DI-6 InterLock
|
2023-11-15 13:23:35 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
3d49ff7cd9
|
Merge branch '修改界面' into Sic8ToSic6
|
2023-11-15 11:36:00 +08:00 |
|
HCL
|
b34a124194
|
1.解决传盘过程中PM2存在的BUG
|
2023-11-15 11:34:23 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
4ba9b6b3e1
|
1修改界面布局
2隐藏Recipe保存到数据库
|
2023-11-15 11:25:58 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
3c6d04a34e
|
删除PM DI6 Interlock
|
2023-11-15 09:32:24 +08:00 |
|
HCL
|
b476a7e6e9
|
1.解决WaferRobot会取3个同PM的Wafer问题
|
2023-11-14 16:27:33 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
268c0fd369
|
修改Recipe C2H4-> UnitName
|
2023-11-14 15:42:09 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
cf50e26d9b
|
删除PM2 DI-33门报警Interlock
修改LineHeat配置SC名称
|
2023-11-14 14:29:33 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
307e9a3ed7
|
修改气体流量C2H4配置
修改SC对应的气体流量配置
删除DI-33门报警InterLock
|
2023-11-14 14:03:18 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
272b0d3174
|
修改Power,SC配置，
|
2023-11-14 11:08:27 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
ddad95686d
|
Merge branch '6-1' into Sic8ToSic6
|
2023-11-14 10:44:58 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
9c3e075a8b
|
C2H4修改为C3H8
|
2023-11-14 10:43:36 +08:00 |
|
HCL
|
1e2fc7b36f
|
1.增加MFC5控制
|
2023-11-14 10:38:38 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
bbda00b198
|
1.修改C2H4名称->C3H8
2.IO名称(DI-19,DI 188 189 190 ,AO 211 212 )
3.显示DO43
|
2023-11-14 10:14:26 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
45094de4f7
|
更新dll [5ff6400]，IoValue类中，添加BypassEnableTable实时生效
|
2023-11-08 11:31:12 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
b324fbd620
|
修改PMHeaterView界面标签名称
|
2023-11-07 15:00:51 +08:00 |
|
HCL
|
81bd96391a
|
1.修改Purge中Vent超时时间
|
2023-11-06 13:37:35 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
3e66bf4e21
|
修改TM vent超时问题，由于Routine流程中不区分慢充超时和快充超时，因此统一系统配置参数超时时间VentTimeout
|
2023-11-06 11:23:12 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
a5936c017e
|
1修改加热带配置名称，
2添加启动前检测LineHeater
3添加气柜温度显示
|
2023-11-06 11:07:48 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
1a434f3a6d
|
版本号更新至## Version 1.1.32.53
|
2023-11-03 12:35:23 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
c24b7db2bb
|
更新dll [007352e],修改气柜检测
添加SC配置
修改PM的Device配置
|
2023-11-03 12:33:09 +08:00 |
|
HCL
|
6a0ea58574
|
1.修改初始化顺序
|
2023-11-01 17:19:27 +08:00 |
|
HCL
|
8d89c35b5a
|
1.修改ROR M11配置文件的错误
2.ROR时间间隔和基础压力可统一设置
|
2023-10-31 14:20:48 +08:00 |
|
HCL
|
1bb1fd34d6
|
1.修改Clean流程
|
2023-10-31 08:57:02 +08:00 |
|
HCL
|
e707d6c93e
|
1.取消传盘时等温度DI信号，改为等待实际温度
|
2023-10-30 10:06:01 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
be525ae533
|
追加新增功能备注
|
2023-10-26 15:12:12 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
dc6e6bcffb
|
更新dll [6a62465]，添加Recipe对比功能优化，
Menu配置中，添加Recipe对比界面
|
2023-10-26 15:06:02 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
ffdd54e802
|
版本号更新至## Version 1.1.32.52
|
2023-10-26 14:58:13 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
cd3abbd3c3
|
修改PMIO报警
|
2023-10-26 14:46:35 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
27f6b53a3d
|
删除无用的AE监控项
|
2023-10-26 10:14:48 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
4a688d93fe
|
删除DI-29
|
2023-10-26 09:04:30 +08:00 |
|
Han Qiang Qiang
|
c736806541
|
Merge branch 'develop' of http://118.31.5.210:65000/Sic-Software/Sic08 into develop
|
2023-10-26 08:46:26 +08:00 |