Liang Su
|
8a534b52e0
|
修正手动从Cassette拖放Wafer或Tray时,会报错的问题。
|
2023-12-01 16:04:34 +08:00 |
HCL
|
d8f57ef65a
|
1.版本添加
|
2023-11-29 15:38:04 +08:00 |
HCL
|
4ed2c569f0
|
1.TrayRobot手动Pick和Place增加目标Online检查
|
2023-11-29 15:37:27 +08:00 |
Han Qiang Qiang
|
c88d794afe
|
1更新dll [027c078],添加Recipe快照压缩保存+历史数据选择对比
2新增数据表recipe_history_data
3追加更新内容
|
2023-11-27 16:28:33 +08:00 |
Han Qiang Qiang
|
3613a84232
|
版本号更新至## Version 1.1.4.7
|
2023-11-27 16:11:14 +08:00 |
Han Qiang Qiang
|
f9b0615d42
|
PM新增DO-128 Interlock
|
2023-11-27 15:31:21 +08:00 |
Liang Su
|
970f04be75
|
修正TrayRobot无法从CassBL去Tray的问题。
|
2023-11-24 16:31:07 +08:00 |
Liang Su
|
b2330b68d8
|
版本号更新至v1.1.3.6
|
2023-11-23 16:12:57 +08:00 |
Liang Su
|
938e03d951
|
更新库文件99c773a,修正DataLog查询时时间可能错乱的问题。
|
2023-11-23 16:09:57 +08:00 |
Liang Su
|
476ce88438
|
版本号更新为v1.1.3.5
补充:当前公共库版本dff6e7d
|
2023-11-23 15:47:53 +08:00 |
Liang Su
|
9024a4cf5c
|
优化代码格式。
|
2023-11-23 15:45:04 +08:00 |
Liang Su
|
25811f46e0
|
SchedulerCassette中重载WaitTransfer(slot)函数,以避免AutoTransfer中引用错误的函数。
修正AutoTransfer中,机械手操作还未完成,其传盘目标模组的等待状态会被立即清除的问题。
修正AutoTransfer中设置Cassette等待状态时,调用错误的WaitTransfer()函数的问题。
|
2023-11-23 15:42:37 +08:00 |
Liang Su
|
d0a1234053
|
SignalTower配置文件STEvent.xml中增加使用说明注释。
|
2023-11-23 15:39:28 +08:00 |
Liang Su
|
058548649b
|
模拟器中默认将6寸Cassette在位DI信号设置为true。
|
2023-11-23 15:38:50 +08:00 |
Liang Su
|
7ed58e96f1
|
同步最新的公共库。
|
2023-11-23 15:37:09 +08:00 |
Liang Su
|
5d64c604ba
|
版本号更新至v1.1.2.4
|
2023-11-22 17:29:45 +08:00 |
Liang Su
|
7344a58549
|
MFC5是否安装的系统配置默认值改为true。
|
2023-11-22 17:26:27 +08:00 |
Liang Su
|
dafd1f3d76
|
修正TrayRobot、LL、PM、TM仅有Tray时,Tray无法拖放的问题。
|
2023-11-22 17:23:24 +08:00 |
Han Qiang Qiang
|
8fb7a84308
|
更新dll [2cdf762],修改MFC5控制流程逻辑
1.PM Device配置中使用库中类实例化MFC5控制流程
2.SC配置中添加参数,是否安装MFC5, PM.{module}.MFC.Mfc5.IsInstalled
3.修改PM主界面显示,根据配置是否显示MFC5
|
2023-11-21 17:20:54 +08:00 |
HQQ
|
e2dd90b0ca
|
版本号更新至## Version 1.1.1.3
|
2023-11-19 12:19:13 +08:00 |
HQQ
|
f04658385a
|
添加IoN2HighDoping类,配置气阀控制PN2气体
|
2023-11-19 12:17:29 +08:00 |
Han Qiang Qiang
|
1f814517bf
|
删除PM2多余Interlock配置项
更新版本号至## Version 1.1.1.2
|
2023-11-17 20:51:03 +08:00 |
HCL
|
6bdcb0b68d
|
1.更新Common库
|
2023-11-17 14:29:51 +08:00 |
Liang Su
|
c6bcaeeb34
|
修正Recipe中的C3H8设置项识别错误,全部默认到Purge的问题。
版本号更新至v1.1.1.1
|
2023-11-17 14:13:53 +08:00 |
Han Qiang Qiang
|
8c62eed8a8
|
6号机版本号更新至 ## Version 1.1.0.0
|
2023-11-16 14:45:27 +08:00 |
Han Qiang Qiang
|
3c7374dfc9
|
更新dll [ed25f36],优化PM右键菜单选项
|
2023-11-16 14:34:09 +08:00 |
Han Qiang Qiang
|
55f6602cd9
|
更新dll [bdaa90e],PM腔体添加右键菜单功能
|
2023-11-15 21:38:16 +08:00 |
HCL
|
20fa98e2b8
|
1.AutoTransfer中判断Tray是否从Buffer中传到Load,这时不需要Load Purge
|
2023-11-15 15:12:15 +08:00 |
Han Qiang Qiang
|
493a3f6499
|
1更新dll [d2bcfff],上银机械手注册真空开关,夹爪开关控制
2修改按钮界面显示
|
2023-11-15 14:57:48 +08:00 |
HCL
|
76664e49c3
|
1.启用Cassette下降沿信号删除Wafer信息功能
|
2023-11-15 14:41:55 +08:00 |
Han Qiang Qiang
|
1e74ce3893
|
修改PM 单向阀额定压力值
|
2023-11-15 14:32:09 +08:00 |
Han Qiang Qiang
|
389e3f377f
|
修改Tray机械手夹爪关闭按钮名称
|
2023-11-15 14:08:33 +08:00 |
Han Qiang Qiang
|
b70314fedd
|
1添加机械手真空
2还原PM DI-6 InterLock
|
2023-11-15 13:23:35 +08:00 |
Han Qiang Qiang
|
3d49ff7cd9
|
Merge branch '修改界面' into Sic8ToSic6
|
2023-11-15 11:36:00 +08:00 |
HCL
|
b34a124194
|
1.解决传盘过程中PM2存在的BUG
|
2023-11-15 11:34:23 +08:00 |
Han Qiang Qiang
|
4ba9b6b3e1
|
1修改界面布局
2隐藏Recipe保存到数据库
|
2023-11-15 11:25:58 +08:00 |
Han Qiang Qiang
|
3c6d04a34e
|
删除PM DI6 Interlock
|
2023-11-15 09:32:24 +08:00 |
HCL
|
b476a7e6e9
|
1.解决WaferRobot会取3个同PM的Wafer问题
|
2023-11-14 16:27:33 +08:00 |
Han Qiang Qiang
|
268c0fd369
|
修改Recipe C2H4-> UnitName
|
2023-11-14 15:42:09 +08:00 |
Han Qiang Qiang
|
cf50e26d9b
|
删除PM2 DI-33门报警Interlock
修改LineHeat配置SC名称
|
2023-11-14 14:29:33 +08:00 |
Han Qiang Qiang
|
307e9a3ed7
|
修改气体流量C2H4配置
修改SC对应的气体流量配置
删除DI-33门报警InterLock
|
2023-11-14 14:03:18 +08:00 |
Han Qiang Qiang
|
272b0d3174
|
修改Power,SC配置,
|
2023-11-14 11:08:27 +08:00 |
Han Qiang Qiang
|
ddad95686d
|
Merge branch '6-1' into Sic8ToSic6
|
2023-11-14 10:44:58 +08:00 |
Han Qiang Qiang
|
9c3e075a8b
|
C2H4修改为C3H8
|
2023-11-14 10:43:36 +08:00 |
HCL
|
1e2fc7b36f
|
1.增加MFC5控制
|
2023-11-14 10:38:38 +08:00 |
Han Qiang Qiang
|
bbda00b198
|
1.修改C2H4名称->C3H8
2.IO名称(DI-19,DI 188 189 190 ,AO 211 212 )
3.显示DO43
|
2023-11-14 10:14:26 +08:00 |
Han Qiang Qiang
|
45094de4f7
|
更新dll [5ff6400],IoValue类中,添加BypassEnableTable实时生效
|
2023-11-08 11:31:12 +08:00 |
Han Qiang Qiang
|
b324fbd620
|
修改PMHeaterView界面标签名称
|
2023-11-07 15:00:51 +08:00 |
HCL
|
81bd96391a
|
1.修改Purge中Vent超时时间
|
2023-11-06 13:37:35 +08:00 |
Han Qiang Qiang
|
3e66bf4e21
|
修改TM vent超时问题,由于Routine流程中不区分慢充超时和快充超时,因此统一系统配置参数超时时间VentTimeout
|
2023-11-06 11:23:12 +08:00 |