# Sic Auto-GE 系统更新历史记录 Auto-GE 自动通用版（适用有EFEM设备） ---- ## Version 1.1.5.16 **2024-07-12** - Bug修复 - 优化工艺过程中温度变化速率过快的检测逻辑，计算间隔更改为1s - 修正系统配置界面右侧列表的宽度可能太宽，导致无法显示完整的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.1.4.15 **2024-01-09** - Bug修复 - 修正多次Logout、Login操作后，UI会变卡顿的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.1.4.14 **2024-01-05** - Bug修复 - 修改TMRobot Pick Buffer1层条件判断的BUG - 新特性 - ReturnAll里Unload冷却时间定为300s ## Version 1.1.4.13 **2023-12-28** - Bug修复 - 修正工艺结束后，蜂鸣器提示无法自动关闭的问题 - 修正加载Interlock配置文件时，引发集合枚举时发生变化的异常的问题 - 新特性 - VT阀添加Reset功能 ## Version 1.1.4.12 **2023-12-28** - Bug修复 - 无 - 新特性 - VT阀添加Reset功能 ## Version 1.1.4.11 **2023-12-22** - Bug修复 - 蝶阀StopRame改成将计时器停止 - 新特性 - ## Version 1.1.4.10 **2023-12-15** - Bug修复 - InterlockManager中Monitor扫描忽略翻转时，键值对集合中不包含对象时，continue当前循环 - 新特性 - 添加ProcessHistory历史记录查询 - 重新整理测温部分 ## Version 1.1.4.9 **2023-12-11** - Bug修复 - - 新特性 - TM和仿真添加DI-45点位,TM添加DI-45对应的Seneor - 在UnLoadSeparateRoutine中添加DI-45检测逻辑 - 在SC UnLoad中配置SeparationLog报警等级 ## Version 1.1.4.8 **2023-12-08** - Bug修复 - 修正删除和另存为Recipe时，弹出空对话框的问题 - 修正新建Recipe时，默认保存上个打开的Recipe的内容的问题 - 修正Sequence编辑器中的Recipe文件名中没有显示其所在文件夹名称的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.1.4.7 **2023-11-27** - Bug修复 - 无 - 新特性 - PM新增DO-128 Interlock - 添加Recipe快照压缩保存+历史数据选择对比 ## Version 1.1.3.6 **2023-11-23** - Bug修复 - 修正工艺完成，Wafer回到Cassette后，三色灯没有提示的问题 - 修正DataLog查询日志时，时间排序可能错乱的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.1.3.5 **2023-11-23** - Bug修复 - 修正工艺完成，Wafer回到Cassette后，三色灯没有提示的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.1.2.4 **2023-11-22** - Bug修复 - 修正TrayRobot、LL、TM、PM无法手动拖放Tray的问题 - 新特性 - 系统配置增加MFC5是否安装的设置项 ## Version 1.1.1.3 **2023-11-19** - Bug修复 - 添加IoN2HighDoping类，配置气阀控制PN2气体 - 新特性 - 无 ## Version 1.1.1.2 **2023-11-17** - Bug修复 - 删除PM2中多余Interlock配置项 - 新特性 - 无 ## Version 1.1.1.1 **2023-11-17** - Bug修复 - 修正Sic6的Recipe中的C3H8设置项全部被解析为Purge的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.1.0.0 **2023-11-16** - Bug修复 - 1.修改LineHater参数名称配置配置重复问题 - 2.解决WaferRobot会取3个同PM的Wafer问题 - 3.解决传盘过程中PM2存在的BUG - 新特性 - 1.C2H4修改为C3H8，涉及到IO名称、Recipe显示项、PM主界面、气体流量真值表、SC配置的气体流量系数 - 2.Recipe新增MFC5 - 3.删除PM中DI-33门报警Interlock - 4.隐藏Recipe保存到数据库 - 5.添加机械手真空开关，夹爪开关 - 6.启用Cassette下降沿信号删除Wafer信息功能 - 7.AutoTransfer中判断Tray是否从Buffer中传到Load,这时不需要Load Purge ## Version 1.2.0.0 **2023-11-14** - Bug修复 - - 新特性 - 气柜加热带温度监控，使用单通道参数设置，在SC配置中PM.PM1.GasBoxTemp PM.PM2.GasBoxTemp ## Version 1.1.32.53 **2023-11-02** - Bug修复 - - 新特性 - 气柜加热带温度监控，使用单通道参数设置，在SC配置中PM.PM1.GasBoxTemp PM.PM2.GasBoxTemp ## Version 1.1.32.52 **2023-10-26** - Bug修复 - 修正当Recipe参数无法从格式模板中找到时，没有详细错误提示的问题 - 根据PM1的IO报警信息配置PM2配置，修改PM2水温报警 - PM offline 前加入install判断，未加载的PM腔不进行offline提示 - 删除PM的DI-29点位及报警信息 - 删除AE多余检测 - 新特性 - PM offline 前加入install判断，未加载的PM腔不进行offline提示 - 自动设备增加inch类型参数选项 - Recipe对比功能 ## Version 1.1.31.51 **2023-10-20** - Bug修复 - 修改部分data绑定不保存数据库 - 修复Interlock项: do-100 和 do-49触发前 di-9 必须为0 - 修复 EFEM SlitValueRoutine 触发时提示文本缺失名称 - 新特性 - 新增配置对比功能，每次开RT时提示配置修改项，并在配置界面显示修改过的内容，并可以回退配置 - 每次配置文件变更都有备份，也可从本地进行修复 - interlock表更新 不同腔体开门时需要判断两个腔体压差在范围内 ## Version 1.1.31.50 **2023-10-20** - Bug修复 - 新特性 - 新增伊顿eaton UPS配置及监控，可在DEVICE界面查看 ## Version 1.1.31.49 **2023-10-19** - Bug修复 - 新特性 - 添加昂坤双通道获取温度 - 昂坤添加测温参数可配置 ## Version 1.1.31.48 **2023-10-18** - Bug修复 - 新特性 - 删除PM Interlock配置的DI-29 - PM K阀组增加V111控制 ## Version 1.1.31.46 **2023-09-15** - Bug修复 - 新特性 - interlock_bypass分腔体单独控制 - interlock表更新 - 不同recipe的data曲线数据对比功能 - ------ ## Version 1.1.30.46 **2023-09-15** - Bug修复 - 电阻丝加热，当设置为Warning时Log不输出问题修改 - 修改气体流量统计 - 新特性 - 添加PLC断联后自动重连， - 优化水温查询时对应的名称 - 优化Charting查询对比功能，新增曲线可以上下左右移动对比 ## Version 1.1.29.45 **2023-08-28** - Bug修复 - 修正TM MFC60的Feedback和SetPoint差异超限后没有报警的问题 - 修正Aligner操作失败后，Aligner模组没有Alarm的问题 - 新特性 - Mfc Ror测试增加可选择多个Mfc同时测试功能 ## Version 1.1.29.44 **2023-08-15** - Bug修复 - - 新特性 - Mfc Ror测试增加可选择多个Mfc同时测试功能 ## Version 1.1.29.43 **2023-08-03** - Bug修复 - 修正DataLog重新查询数据曲线时，上次设定的Factor和Offset没有生效的问题 - 修复Recipe StepNo等工艺过程数据没有存储到数据库导致无法查询的问题 - 修正工艺过程数据（气体流量、耗电量）统计数值错误的问题 - 修正系统配置中缺少配置项导致程序无法执行的问题 - 修正 PM Operation视图中Heater电阻值显示精度不够的问题，现改为小数点后三位 - 新特性 - PM Process新增耗电量统计 - 移除PSU2控制输出幅度限制的功能 ## Version 1.1.28.42 **2023-08-01** - Bug修复 - 无 - 新特性 - PM Operation视图增加加热器电阻值显示 - PM Process过程增加对加热器电阻值监测，当阻值超过上限后终止工艺 - PSU2增加控制量输出幅度限制，当温度超过1600度时，控制输出幅度限制到设定值 ## Version 1.1.27.41 **2023-07-24** - Bug修复 - 1.解决保存新列产生的问题 - 新特性 - ## Version 1.1.27.40 **2023-07-24** - Bug修复 - 1.Mfc Ror属性Name增加DataMember - 新特性 - ## Version 1.1.27.39 **2023-07-18** - Bug修复 - 1.解决Mfc Ror测试的问题 - 新特性 - 重新整理数据库代码 ## Version 1.0.26.38 **2023-07-03** - Bug修复 - 修正升级软件时新增权限实际值和设置值不一致的问题 - 新特性 - Auto传盘逻辑更新为双腔传盘逻辑 ## Version 1.0.25.37 **2023-07-03** - Bug修复 - 修正TM和LL的LeakCheckRoutine无法执行的问题 - 修正PM气体流量计算时，修正系数未生效的问题 - 修正ProcessExit时的输出信息等级，由Warning更改为Info - 修正ProcessMonitor窗口打开时，Logout时没有自动关闭该窗口的问题 - 新特性 - 优化旁路互锁打开时的执行逻辑 - 禁止手动启动工艺 - 禁止PM从Offline切换至Online - 禁止PM退出Service模式 - LL Lid打开时输出信息等级由Warning更改为Info - PM Process结束，磁流体转速将为0后的输出信息等级由Warning更改为Info - 软件信息增加“Auto-GE”字串，指示当前版本为自动通用版 ## Version 1.0.23.35 **2023-06-30** - Bug修复 - 1:修正Seqence编辑器中无法保存Recipe的问题。 - 2:修正Recipe编辑器修改StepTime后不刷新总时间，以及加载Recipe后Validate按钮不显示错误参数数量的问题。 - 3:修正Recipe编辑器中的总时间显示不完全问题。 - 4:修正AbortRoutine()方法列队为空时调用Peek()方法导致异常的问题。 - 新特性 - 1:添加MFC+气阀测试功能 - 2:添加ROR测试功能 ## Version 1.0.22.34 **2023-06-20** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1:控制V94和V96阀时，对应的控制MFC设置为0 ## Version 1.0.21.33 **2023-06-02** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1:移植Coating - 2:修改测温，添加兼容性参数配置 - 3:修正EFEM Online菜单标题显示为Buffer的错误 - 4:修改库文件，IoTC支持PyroAuto和PyroFollow模式 - 5:删除气阀和MFC联动功能，TM V60 , PM V96 V94 ## Version 1.0.20.32 **2023-05-18** - Bug修复 - 修正寻边器无法完成寻边操作的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.19.31 **2023-05-17** - Bug修复 - 修正从WaferRobot从Aligner取Wafer后，Wafer被删除的问题 - 修正Wafer拖放确认对话框箭头过长的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.18.29 **2023-05-15** - Bug修复 - 修正上银巡边器无法Home的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.17.28 **2023-05-15** - Bug修复 - 修正PM2卸载后相关设备仍然报警的问题 - 修改PM主界面V87气阀鼠标悬浮绑定的提示 - 修正Recipe编辑界面上的一些小问题 - 新特性 - 从10号机移至最新的Aligner驱动程序 ## Version 1.0.16.27 **2023-05-08** - Bug修复 - 修正Alarm列表没有显示报警来源的问题 - 修正EventLog、系统配置表格单元格内容对齐问题 - 修正三色灯蜂鸣器手动关闭后，如果不按Reset按钮，则始终无法重新启用的问题 - 新特性 - 优化三色灯配置文件，现支持在配置文件中定义闪烁模式模板 - 新增三色灯配置文件实时生效功能，现在修改三色灯配置文件后不需要重启软件，保存后立即生效 ## Version 1.0.14.25 **2023-05-05** - Bug修复 - 修正信号塔蜂鸣器手动关闭后无法启用的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.14.25 **2023-05-05** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 优化三色灯控制效果 ## Version 1.0.13.24 **2023-05-05** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 从PM腔取放Tray时根据系统配置确定PSU和SCR打开或关闭 ## Version 1.0.13.23 **2023-04-26** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 传盘压力参数一键设置 ## Version 1.0.13.22 **2023-04-23** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 优化参数项，删除多余参数 - 修改水温Offset选项 - 添加Coating增长率，Tray数量为参数配置 - 修改仿真初始值 ## Version 1.0.13.21 **2023-04-20** - Bug修复 - 修正PM未安装时，仍然会触发报警的问题 - 新特性 - 更当水温报警相关参数变化时，实时生效，而不需要重启软件 - PM Heater界面的SCR Lower AE温度显示移至PSU Inner AE显示位置 - 优化PM Heater界面布局，移除多余的项目 ## Version 1.0.12.20 **2023-04-20** - Bug修复 - 修正DataLog中的曲线图无法显示的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.11.19 **2023-04-19** - Bug修复 - 修正水温报警输出DO的有效电平，当发生报警时，输出低电平 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.10.18 **2023-04-19** - Bug修复 - 修正主界面中LOG下拉框可能被撑大的问题 - 修正报警时蜂鸣器被自动关闭的问题 - 新特性 - 主窗口新增系统信息按钮，可查看发现日志和系统依赖库的版本信息 - 新增MFC和PC报警功能 - 新增系统配置中PC报警阈值设置 - 新增水温超温警告和报警功能，可在系统配置中设置Warn偏移值，使Warn阈值可以跟随Alarm阈值变动 - 优化水温显示窗口，产生警告或报警的项目会显示为橙色或红色 - 重新整理水温相关的DO、AI和系统配置项名称 ## Version 1.0.9.17 **2023-03-22** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 合并PM，生成时会有XML文件路径问题 ## Version 1.0.8.16 **2023-03-22** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 合并上银Tray和Wafer机械手，Tary继承Wafer ## Version 1.0.7.15 **2023-03-20** - Bug修复 - 修改PM1的InterLock, - 修改报警信息 - 修改仿真 - 修改测温硬件默认参数配置 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.6.14 **2023-03-20** - Bug修复 - 从上层调用处修改PM屏蔽功能，屏蔽初始化和文件加载 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.5.13 **2023-03-20** - Bug修复 - 删除之前此功能修改的代码 - 新特性 - 关闭阀门时，先关闭MFC，同时关闭阀门，已修改TM的 V77和MFC60，PM的MFC32 35~38， ## Version 1.0.4.12 **2023-03-16** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 重新整理所有UI继承的UIViewModelBase类 ## Version 1.0.3.11 **2023-03-15** - Bug修复 - 修改TMPurgeRoutine和TMVentRoutine时无气流BUG - 调试仿真修改TM和PM对应的InterLock，根据InterLock需要的IO，设置仿真IO的初始值 - 添加昂坤测温通讯和使用流程简介，方便后续人员了解昂坤硬件使用机制 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.2.10 **2023-03-14** - Bug修复 - 修改TM PM 的InteiLock - PM DI55 56 57报警触发条件，修改仿真相应的初始值 - 删除MP DI58 - 新特性 - 添加测温Inner， - 使用数据为空次数判断昂坤断联 - 分别添加昂坤软件断联和USB断联提示 - 界面添加Inner绑定显示 - 设置昂坤显示温度下限，低于下限显示固定值400 ## Version 1.0.1.9 **2023-03-14** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 重新整理优化三色灯控制 ## Version 1.0.1.8 **2023-03-09** - Bug修复 - 修改PM DI10 DI11 InterLock的触发值,修改PM DI10 报警触发值 - 新特性 - 修改TM的PurgeRoutine和VentRoutine中，修改打开关闭MFC60相关设置，添加延时 ## Version 1.0.1.7 **2023-03-09** - Bug修复 - 修改TM DI6 InterLock的触发值 - 新特性 - Aligner设置项,在初始化和设置后显示到界面是 ## Version 1.0.1.6 **2023-03-08** - Bug修复 - 修改InterLock - 新特性 - 添加对UPS电源部分数据的采集 ## Version 1.0.1.5 **2023-03-07** - Bug修复 - 解决TMRobot向Unload Place过程中Unload可能PrepareTransfer的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.1.4 **2023-03-06** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 新增昂坤测温，初步优化断联重连和提示 - 添加接口，整合AE和昂坤测温，上层调用 ## Version 1.0.1.3 **2023-03-03** - Bug修复 - 修正ENG模式下，一些页面没有显示ENG水印的问题。 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.1.2 **2023-03-03** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 增加ENG模式 ## Version 1.0.1.1 **2023-03-01** - Bug修复 - 屏蔽PM后，界面不隐藏，状态不更新，显示运行日志BUG修复 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.1.0 **2023-03-01** - Bug修复 - 更新PM和TMinterlock信息，添加缺少的IO - 新特性 - 无 ## Version 1.0.0.9 **2023-02-28** - Bug修复 - 根据Wafer夹爪信号让Load传Tray和Wafer信息，解决撞机风险 - 新特性 - Purge最大时间改为100000s - PM Mfc14量程改为660 ## Version 1.0.0.8 **2023-02-15** - Bug修复 - 修改水路IO名称和Interlock - 新特性 - 无 ## Version 1.0.0.7 **2023-02-15** - Bug修复 - 添加TM机械手报错信息解析 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.0.6 **2023-02-14** - Bug修复 - 修正PM执行Recipe时报StepUid找不到执行函数的问题 - 新特性 - PM Purge结束增加是否打开 - 增加PM SCREnable Interlock - 增加PM Service模式下不准切换Online - ProcessAbort Rounite中增加等待MFC流量到达再往下执行 - ProcessAbort Routine中增加关闭V72，打开V25流程 - 优化电阻检测名称 - TM界面所有Module Online及Offline按钮权限放开 - 删除VacIdle参数 - 修改PM气路图的V72阀的气路走向错误 - 重新整理PM MO Change TMA/TCS Routine - PM Vent及ToAtmIdle Routine MFC使用动态流量 ## Version 1.0.0.5 **2023-02-13** - Bug修复 - AE的历史数据从Charting拉不出来 - AE的数据不在PM模块，ProcessHistory中没有AE的数据 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.0.4 **2023-02-11** - Bug修复 - 无 - 新特性 - Overview界面中将TrayCassette从WaferCassette中分离，独立显示在界面右侧 ## Version 1.0.0.3 **2023-02-09** - Bug修复 - 修改Unload和TM共用泵Interlock问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.0.2 **2023-01-28 ** - Bug修复 - 优化HWinRobot通讯，执行Pick和Place指令之前先查询控制器ERR。 - 修正HwinRobot命令返回？后无法正确读取Error信息的问题。 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.0.1 **2023-01-28** - Bug修复 - 修改权限相关默认值 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.0.0 **2023-01-11** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 修改Unload和TM共用泵，涉及UI/Interlock及AutoRun流程 - 取消CoolingAndPurge Routine，Cooling和Purge分开