# Sic 系统更新历史记录 ## Version 1.0.1.3 **2023-03-03** - Bug修复 - 修正ENG模式下,一些页面没有显示ENG水印的问题。 - 新特性 - ## Version 1.0.1.2 **2023-03-03** - Bug修复 - - 新特性 - 增加ENG模式 ## Version 1.0.1.1 **2023-03-01** - Bug修复 - 屏蔽PM后,界面不隐藏,状态不更新,显示运行日志BUG修复 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.1.0 **2023-03-01** - Bug修复 - 更新PM和TMinterlock信息,添加缺少的IO - 新特性 - 无 ## Version 1.0.0.9 **2023-02-28** - Bug修复 - 根据Wafer夹爪信号让Load传Tray和Wafer信息,解决撞机风险 - 新特性 - Purge最大时间改为100000s - PM Mfc14量程改为660 ## Version 1.0.0.8 **2023-02-15** - Bug修复 - 修改水路IO名称和Interlock - 新特性 - 无 ## Version 1.0.0.7 **2023-02-15** - Bug修复 - 添加TM机械手报错信息解析 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.0.6 **2023-02-14** Bug修复 - 修正PM执行Recipe时报StepUid找不到执行函数的问题 - 新特性 - 1.PM Purge结束增加是否打开Final阀功能 - 2.增加PM SCREnable Interlock - 3.增加PM Service模式下不准切换Online功能 - 4.ProcessAbort Rounite中增加等待MFC流量到达再往下执行 - 5.ProcessAbort Routine中增加关闭V72,打开V25流程 - 6.优化电阻检测名称 - 7.TM界面所有Module Online及Offline按钮权限放开 - 8.删除VacIdle参数 - 9.修改PM气路图的V72阀的气路走向错误 - 10.重新整理PM MO Change TMA/TCS Routine - 11.PM Vent及ToAtmIdle Routine MFC使用动态流量 ## Version 1.0.0.5 **2023-02-13** - Bug修复 - AE的历史数据从Charting拉不出来 - AE的数据不在PM模块,ProcessHistory中没有AE的数据 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.0.4 **2023-02-11** - Bug修复 - 无 - 新特性 - Overview界面中将TrayCassette从WaferCassette中分离,独立显示在界面右侧 ## Version 1.0.0.3 **2023-02-09** - Bug修复 - 修改Unload和TM共用泵Interlock问题 - 新特性 - 无 Sic07 2023-01-28 Version 1.0.0.2 1优化HWinRobot通讯,执行Pick和Place指令之前先查询控制器ERR。 2修正HwinRobot命令返回?后无法正确读取Error信息的问题。 Sic07 2023-01-28 Version 1.0.0.1 1.修改权限相关默认值 Sic07 2023-01-11 Version 1.0.0.0 1.修改Unload和TM共用泵,涉及UI/Interlock及AutoRun流程 2.取消CoolingAndPurge Routine,Cooling和Purge分开