HCL 038bec6b20 1.PM开腔时关闭V75后延时2s再打开V76阀		2024-10-08 17:15:01 +08:00
Modules/Mainframe	1.PM开腔时关闭V75后延时2s再打开V76阀	2024-10-08 17:15:01 +08:00
SicRT	1.PM开腔时关闭V75后延时2s再打开V76阀	2024-10-08 17:15:01 +08:00
SicSetup/Sic_Setup	安装包名称改为"14号机氨气专用“。	2024-03-28 15:28:16 +08:00
SicSimulator	14号机添加MFC18	2024-03-26 16:04:41 +08:00
SicUI	1.PM开腔时关闭V75后延时2s再打开V76阀	2024-10-08 17:15:01 +08:00
ThirdParty/MECF.Framework	修正OverView中的绑定失败（名称错误/绑定路径错误/未使用该属性等原因）	2024-03-19 18:42:32 +08:00
.gitattributes	Add .gitattributes and .gitignore.	2023-03-03 15:42:00 +08:00
.gitignore	移除PM Heater视图中配置PSU2输出限制的功能。	2023-08-04 16:08:55 +08:00
SicAutoGE.sln	解决方案更名为SicAutoGE，以标识此项目针对含EFEM的自动设备。	2023-07-03 16:07:32 +08:00