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Base
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1:控制V94和V96阀时，对应的控制MFC设置为0
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2023-06-20 11:09:36 +08:00 |
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LoadHomeRoutine.cs
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Mainframe工程更名为SicModules。
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2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
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LoadLockClawRoutine.cs
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Mainframe工程更名为SicModules。
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2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
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LoadLockGroupRoutine.cs
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Mainframe工程更名为SicModules。
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2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
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LoadLockLeakCheckRoutine.cs
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TM,Load,Unload腔漏检Routine添加延时，参考PM腔漏检的延时调用时机
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2023-07-18 15:51:57 +08:00 |
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LoadLockLiftRoutine.cs
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Mainframe工程更名为SicModules。
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2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
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LoadLockPrepareTransferRoutine.cs
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1:控制V94和V96阀时，对应的控制MFC设置为0
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2023-06-20 11:09:36 +08:00 |
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LoadLockPumpRoutine.cs
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1.Load Pump时不关闭TM Fast Pump阀
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2023-08-10 16:51:27 +08:00 |
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LoadLockPurgeRoutine.cs
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1.Load和Unload Purge增加Vent超时时间
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2023-08-10 14:32:17 +08:00 |
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LoadLockServoToRoutine.cs
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1.取消Load Servo压力Pump延时
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2023-09-06 15:48:27 +08:00 |
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LoadLockTrayAlignerRoutine.cs
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Mainframe工程更名为SicModules。
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2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
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LoadLockTrayClawRoutine.cs
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Mainframe工程更名为SicModules。
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2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
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LoadLockVentRoutine.cs
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1:控制V94和V96阀时，对应的控制MFC设置为0
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2023-06-20 11:09:36 +08:00 |
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LoadRotationHomeOffsetRoutine.cs
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Mainframe工程更名为SicModules。
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2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
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LoadSeparateRoutine.cs
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Mainframe工程更名为SicModules。
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2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
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