Cassettes
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删除久的Coating,修改加热配置项数据类型
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2023-06-01 16:56:20 +08:00 |
Config
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新增压力平衡报警,当pt1 pt2的压力值超过设定值时警告或报警。
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2024-07-02 13:48:05 +08:00 |
Devices
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添加IoN2HighDoping类,配置气阀控制PN2气体
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2023-11-19 12:17:29 +08:00 |
EFEMs
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1.修改一些错误
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2023-12-08 14:13:19 +08:00 |
LLs
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1.取消Load Servo压力Pump延时
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2023-09-06 15:48:27 +08:00 |
Properties
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Add project files.
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2023-03-03 15:42:13 +08:00 |
TMs
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1.PM进入Service不在检查Offline提示
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2023-12-18 17:05:11 +08:00 |
UnLoads
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1.UnloadServo超时时间可配置
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2023-12-28 15:44:49 +08:00 |
SicModules.csproj
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更新测试版本号
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2023-12-15 14:43:12 +08:00 |
gitversion.json
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1.修正DO-PostProcessRunning报错的问题
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2024-05-15 17:51:36 +08:00 |