Sic08/Modules/Mainframe/Config/TM
HCL 76664e49c3 1.启用Cassette下降沿信号删除Wafer信息功能 2023-11-15 14:41:55 +08:00
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UnitAlarmDefine Update from svn. 2023-03-28 13:24:11 +08:00
DeviceModelSystem.xml 1.启用Cassette下降沿信号删除Wafer信息功能 2023-11-15 14:41:55 +08:00
IODefinePlatform.xml 更新库文件(Commit ccea5a5),支持报警响应前和响应后三色灯呈现不同状态。 2023-06-25 16:04:34 +08:00
interlock.xml 修改TM的interlock DO-47 48 17 8 10 12 14 16 2023-09-28 14:38:55 +08:00