Liang Su b3a6be7714 更新库文件（Commit 52a7f87） ... 修正无法构造HiWInAligner对象实例的问题。 修改Aligner在系统中的名字为TM.HiWinAligner，而不是Aligner.HiWinAligner。		2023-05-15 14:04:17 +08:00
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Routines	更新库文件（Commit 52a7f87）	2023-05-15 14:04:17 +08:00
EFEMModule.cs	修改一些Routine的Start方法和Monitor方法，改为重载基类的StartBody方法和MonitorBody方法。	2023-04-20 16:52:42 +08:00
EFEMModuleBase.cs	Mainframe工程更名为SicModules。	2023-04-13 15:35:13 +08:00
SicEFEM.cs	Mainframe工程更名为SicModules。	2023-04-13 15:35:13 +08:00
SicTrayRobot.cs	Mainframe工程更名为SicModules。	2023-04-13 15:35:13 +08:00
SicWaferRobot.cs	Mainframe工程更名为SicModules。	2023-04-13 15:35:13 +08:00
TrayRobotModule.cs	修改一些Routine的Start方法和Monitor方法，改为重载基类的StartBody方法和MonitorBody方法。	2023-04-20 16:52:42 +08:00
WaferRobotModule.cs	修改一些Routine的Start方法和Monitor方法，改为重载基类的StartBody方法和MonitorBody方法。	2023-04-20 16:52:42 +08:00