Sic08/Modules/Mainframe/Config
DESKTOP-1N1NK8A\auvkk 0fe5369ad5 移除Cassette被拿掉后自动删除Wafer和Tray信息的功能,以修正主界面Reset按下时,Wafer和Tray会被自动清除的问题。 2023-04-23 18:24:11 +08:00
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PM 新增SpareTemp水温报警信息。 2023-04-23 18:03:29 +08:00
Recipe/Sic 添加Coating生长功能 2023-04-23 14:18:42 +08:00
TM 移除Cassette被拿掉后自动删除Wafer和Tray信息的功能,以修正主界面Reset按下时,Wafer和Tray会被自动清除的问题。 2023-04-23 18:24:11 +08:00