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c3fc974380
Sic08
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DESKTOP-1N1NK8A\auvkk
0fe5369ad5
移除Cassette被拿掉后自动删除Wafer和Tray信息的功能,以修正主界面Reset按下时,Wafer和Tray会被自动清除的问题。
2023-04-23 18:24:11 +08:00
..
PM
新增SpareTemp水温报警信息。
2023-04-23 18:03:29 +08:00
Recipe
/Sic
添加Coating生长功能
2023-04-23 14:18:42 +08:00
TM
移除Cassette被拿掉后自动删除Wafer和Tray信息的功能,以修正主界面Reset按下时,Wafer和Tray会被自动清除的问题。
2023-04-23 18:24:11 +08:00