Han Qiang Qiang 8fb7a84308 更新dll [2cdf762]，修改MFC5控制流程逻辑 ... 1.PM Device配置中使用库中类实例化MFC5控制流程 2.SC配置中添加参数，是否安装MFC5， PM.{module}.MFC.Mfc5.IsInstalled 3.修改PM主界面显示，根据配置是否显示MFC5		2023-11-21 17:20:54 +08:00
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PM	更新dll [2cdf762]，修改MFC5控制流程逻辑	2023-11-21 17:20:54 +08:00
Recipe/Sic	修改Recipe C2H4-> UnitName	2023-11-14 15:42:09 +08:00
TM	1.启用Cassette下降沿信号删除Wafer信息功能	2023-11-15 14:41:55 +08:00