HCL decb091969 1.开放PM DO-50		2023-08-11 09:47:54 +08:00
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Aligners	修正AlignerAlignRoutine中未执行MTM指令导致执行BAL指令失败的问题。	2023-05-18 18:33:11 +08:00
Buffers	修改一些Routine的Start方法和Monitor方法，改为重载基类的StartBody方法和MonitorBody方法。	2023-04-20 16:52:42 +08:00
Cassettes	删除久的Coating，修改加热配置项数据类型	2023-06-01 16:56:20 +08:00
Config	1.开放PM DO-50	2023-08-11 09:47:54 +08:00
Devices	1.修改Load 旋转电机CCD位置逻辑	2023-08-10 16:35:52 +08:00
EFEMs	1.整理WaferInfoRt类	2023-08-10 15:56:27 +08:00
LLs	1.Load Pump时不关闭TM Fast Pump阀	2023-08-10 16:51:27 +08:00
PMs	1.整理WaferInfoRt类	2023-08-10 15:56:27 +08:00
Properties	Add project files.	2023-03-03 15:42:13 +08:00
TMs	TM,Load,Unload腔漏检Routine添加延时，参考PM腔漏检的延时调用时机	2023-07-18 15:51:57 +08:00
UnLoads	1.Load和Unload Purge增加Vent超时时间	2023-08-10 14:32:17 +08:00
SicModules.csproj	修改PM2对应的真值表配置名称	2023-07-17 17:18:38 +08:00