Sic-Software
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Sic08
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Sic08/Modules/Mainframe/EFEMs/Routines
History
HCL 9237c3262d 1.整理WaferInfoRt类 2023-08-10 15:56:27 +08:00
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Base 将寻边器所属Module改为EFEM。 2023-05-18 17:43:50 +08:00
EFEMHomeRoutine.cs Mainframe工程更名为SicModules。 2023-04-13 15:35:13 +08:00
EfemSlitValveRoutine.cs Mainframe工程更名为SicModules。 2023-04-13 15:35:13 +08:00
TrayRobotHomeRoutine.cs Mainframe工程更名为SicModules。 2023-04-13 15:35:13 +08:00
TrayRobotMapRoutine.cs Mainframe工程更名为SicModules。 2023-04-13 15:35:13 +08:00
TrayRobotPickRoutine.cs Mainframe工程更名为SicModules。 2023-04-13 15:35:13 +08:00
TrayRobotPlaceRoutine.cs Mainframe工程更名为SicModules。 2023-04-13 15:35:13 +08:00
WaferRobotHomeRoutine.cs Mainframe工程更名为SicModules。 2023-04-13 15:35:13 +08:00
WaferRobotMapRoutine.cs Mainframe工程更名为SicModules。 2023-04-13 15:35:13 +08:00
WaferRobotPickRoutine.cs 1.整理WaferInfoRt类 2023-08-10 15:56:27 +08:00
WaferRobotPlaceRoutine.cs 修正WaferRobot Pick、Place Routine中未正确操作Aligner的问题。 2023-05-18 17:36:54 +08:00