Sic10/SicRT/ReleaseNotes.md


# Sic Manual-GE 系统更新历史记录
Manual-GE 手动通用版（适用无EFEM设备）

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## Version 1.1.20.50

**2023-09-25**

- Bug修复
	
- 新特性
  - interlock_bypass分腔体单独控制
  - interlock表更新
  - 不同recipe的data曲线数据对比功能
	- 
## Version 23.9.20.3

**2023-09-20** 

- Bug修复
  
- 新特性
- 合并develop分支和Interlock分支
  - 1:删除PM DI0和DI7 (DO2、40、41、54、112-119、111的互锁 (为了开腔维护时间可以吹扫)
	-2 优化Data History左侧列表中的水温名称
  - 3微调TM视图中的按钮位置
	- 4.修改V75V76和V72TVInterlock

## Version 1.1.19.49

**2023-09-04** 

- Bug修复
  - 1:修改UPS相关现实内容（SC配置提示+DeviceView界面)
  - 
- 新特性
  - 1:删除PM DI0和DI7 (DO2、40、41、54、112-119、111的互锁 (为了开腔维护时间可以吹扫)

## Version 1.1.18.48

**2023-09-01** 

- Bug修复
  - 解决Mfc Ror测试过程中Mfc未在正确的位置设置Normal状态的BUG
- 新特性
  - 

## Version 1.1.18.47

**2023-08-29** 

- Bug修复
  - 系统配置中新增MFC60相关的配置参数，修正MFC60的Feedback和SetPoint差异超限后没有报警的问题。
  - 修改加热带温度上限
- 新特性
  - 添加Recipe实时修改功能

## Version 1.1.18.46

**2023-08-21** 

- Bug修复
  - 修正冷却水超温后没有产生Warning和Alarm信息的问题
  - 修正log文件中缺少日志等级信息的问题
- 新特性
  - PM2设备配置文件中增加PT9、PT10 Offset和K值设定


## Version 1.1.17.45

**2023-08-16** 

- Bug修复
  - 修正PMProcess界面中加载Recipe时，取值范围显示不对问题
- 新特性
  - 无


## Version 1.1.17.44

**2023-08-14** 

- Bug修复
  - 修正PM水温显示的一些问题
- 新特性
  - Shutdown按钮增加控制权限，防止人为关闭整个系统
  - 优化PM水温配置，水温名称现可通过配置文件调整


## Version 1.1.16.42

**2023-08-09** 

- Bug修复
  - 解决JobList查询数据错乱问题
- 新特性
  - 优化新建Wafer ID名称过长

## Version 1.1.16.41

**2023-08-03** 

- Bug修复
  - 修正DataLog重新查询数据曲线时，上次设定的Factor和Offset没有生效的问题
- 新特性
  - 移除PSU2控制输出幅度限制的功能


## Version 1.1.15.40

**2023-08-03** 

- Bug修复
  - 修复Recipe StepNo等工艺过程数据没有存储到数据库导致无法查询的问题
- 新特性
  - PM Heater增加PSU2输出幅度上限生效温度设定
  - PSU2輸出幅度下限跟随温度生效或取消
  - Recipe中新增PSU2 Output Limit High参数，用于通过Recipe控制PSU2输出幅度上限（禁用）



## Version 1.1.14.38

**2023-08-02** 

- Bug修复
  - 修正工艺过程数据（气体流量、耗电量）统计数值错误的问题
- 新特性
  - 无


## Version 1.1.13.37

**2023-08-02** 

- Bug修复
  - 修正Wafer回到LL后，还未完成工艺，即蜂鸣器提示工艺结束的问题
  - 修正 PM Operation视图中Heater电阻值显示精度不够的问题，现改为小数点后三位
- 新特性
  - PSU2增加控制量输出幅度限制，当温度超过1600度时，控制输出幅度限制到设定值
  - PM Process视图的工艺数据统计中新增耗电量统计

## Version 1.1.12.36

**2023-07-28** 

- Bug修复
  - 解决PM2 PT Offset和K的设定有误问题

- 新特性
  - 切换蝶阀位置模式时，压力小于设定值则不能切换
  - 蝶阀Disable时，设定对应模式的蝶阀默认值
  - PM Routine蝶阀切换位置模式后增加延时
  - PM Purge和Clean、LeakCheck Routine 取消循环中蝶阀的位置控到100流程
  - 蝶阀控制位置模式启用RampRate
  - System Config默认值重新整理
  - PM Operation视图增加加热器电阻值显示
  - PM Process过程增加对加热器电阻值监测，当阻值超过上限后终止工艺
  - 优化整理数据库代码

## Version 1.1.12.35

**2023-07-24** 

- Bug修复

- 新特性
  - 1.重新整理优化数据库代码


## Version 1.0.12.34

**2023-07-20** 

- Bug修复
  - 1：修正升级软件时新增权限实际值和设置值不一致的问题
  - 2：修正Wafer控件中显示的Wafer编号太长时，Wafer会缩小的问题
  - 3：TrayBelongTo属性在Buffer中设置后不更新问题，Tray不移动信息不保存问题
  - 4：PLC报警问题优化
- 新特性
  - 1：添加加热丝断路检测，在Receipe执行过程中检测
  - 2：PM Purge开关Final阀增加V111控制
  - 3：重写真值表实现方式
  - 4：优化Coating界面查询效果，和一键设置PM功能


## Version 1.0.11.33

**2023-07-05** 

- Bug修复
  - 
- 新特性
  - PM Interlock中DI-6替换为DI-7,DO_ProcessRunning增加DI-6条件


## Version 1.0.11.32

**2023-07-03** 

- Bug修复
  - 修正ProcessExit时的输出信息等级，由Warning更改为Info
  - 修正ProcessMonitor窗口打开时，Logout时没有自动关闭该窗口的问题
- 新特性
  - 无



## Version 1.0.10.31

**2023-07-03** 

- Bug修复
  - 修正TM和LL的LeakCheckRoutine无法执行的问题
  - 修正PM气体流量计算时，修正系数未生效的问题
- 新特性
  - 新增工程模式，当互锁被旁路时进入工程模式，PM Online、手动启动工艺和PM退出Serivce模式将被限制
  - LL Lid打开时输出信息等级由Warning更改为Info
  - PM Process结束，磁流体转速将为0后的输出信息等级由Warning更改为Info
  - 软件信息增加“GE Manual”字串，指示当前版本为通用手动版


## Version 1.0.9.30

**2023-06-30** 

- Bug修复
  - 无
- 新特性
  - 实用真值表方式计算流量统计


## Version 1.0.9.29

**2023-06-29** 

- Bug修复
  - 修正Sequence编辑器中无法保存Recipe的问题
- 新特性
  - 无


## Version 1.0.8.28

**2023-06-20** 

- Bug修复
  - 
- 新特性
  - 1.软件增加打开或关闭V94和V96阀时先将对应的MFC流量Ramp到0功能
  - 2.PM界面DORPressVAC绑定由DI_DORPressATMSW改为DI_DORPressVacSW

## Version 1.0.7.27

**2023-06-19** 

- Bug修复
  - 
- 新特性
  - 系统配置参数增加一键设置传盘压力参数

## Version 1.0.7.26

**2023-06-14** 

- Bug修复
  - 软件启动时offset可能写入不成功，添加延时写入
  - 修改水温报警绑定，界面状态指示灯对应的Sensor名称
- 新特性
  - 无


## Version 1.0.7.25

**2023-06-14** 

- Bug修复
  - 无
- 新特性
  - 支持指定PM或TM PLC控制三色灯


## Version 1.0.7.24

**2023-06-14** 

- Bug修复
  - 修正三色灯复位时可能导致程序异常的问题
- 新特性
  - 无


## Version 1.0.7.23

**2023-06-14** 

- Bug修复
  - 修正Module卸载后仍然会触发报警的问题
  - 修正Alarm和EventLog视图中的表格布局问题
- 新特性
  - Recipe编辑器支持拖拽填充功能


## Version 1.0.6.22

**2023-06-13** 

- Bug修复
  - 1.解决偶尔PM腔加热被Disable的问题
- 新特性
  - 无

## Version 1.0.5.21

**2023-06-12** 

- Bug修复
  - 1.解决偶尔PM腔加热被Disable的问题
- 新特性
  - 无

## Version 1.0.5.20

**2023-06-12** 

- Bug修复
  - 无
- 新特性
  - 1.将电阻检测的时间改为可配置
  -2.将PLC无法访问已释放的对象报错由Alarm改为Info

## Version 1.0.5.19

**2023-06-11** 

- Bug修复
  - 1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0
- 新特性
  - 无

## Version 1.0.5.18

**2023-06-11** 

- Bug修复
  - 1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0
- 新特性
  - 无

## Version 1.0.5.17

**2023-06-10** 

- Bug修复
  - 无
- 新特性
  - 1.TMRobot与PM取放Tray时取消DI_HeaterTempLowLimitSW点条件限制

## Version 1.0.5.16

**2023-06-09** 

- Bug修复
  - 无
- 新特性
  - 1.PreProcess时旋转后延时再升隔热罩改到PostTransfer Routine中
  -2.修改MOExchange Routine到最新流程
  -3.修改Purge流程，结束后M2M9M15-M26由设置到0改为设置到默认值，关闭J阀改为打开J阀

## Version 1.0.5.15

**2023-06-09** 

- Bug修复
  - 1.增加膜厚时，历史数据同步增加BUG修复(dll)
  - 2.修复测温未开启，测温对象为null时，Inner温度读取报错问题(dll)
- 新特性
  - 1.在工艺结束后添加膜厚检测
  - 2.添加三点测温参数配置
  - 3.修改提示项，增加提示内容(dll)
  - 4.解决LeakCheck查询结果重复问题
  - 5.MFC27量程修改
  - 6.增加PM Purge超时时间设置
  - 7.设置Recipe Coating权限


## Version 1.0.5.14

**2023-06-05** 

- Bug修复
  - 无
- 新特性
  - 1.PM磁流体增加设置速度大于0时，自动开启其Enable信号
  - 2.PM Purge Routine增加到950mbar的超时时间参数

## Version 1.0.5.12

**2023-06-03** 

- Bug修复
  - 1:修正PM2蜂鸣器无法关闭问题
  - 2:修改IO名称
  - 3:修正构造函数中未初始化Module属性导致调用GetConfig失败的问题。
  - 4:显示所有IO
- 新特性
  - 1:修改TM主界面中温度显示

## Version 1.0.5.11

**2023-06-03** 

- Bug修复
  - 修正Heater无法打开的问题
- 新特性
  - 无


## Version 1.0.5.9

**2023-06-01** 

- Bug修复
  - 1:更新Dll，库中使用的是三个测温点，合并成兼容，只有8号机上有参数调控测温点数量
  - 2:解决ATM模式下TMRobot和PM不能传盘问题
- 新特性
  - 1:修改PM2报警信息，删除屏蔽的测试内容



## Version 1.0.5.8

**2023-06-01** 

- Bug修复
  - 无
- 新特性
  - 1:修改动态流量默认值
  - 2:修改三色灯配置文件中Blue未定义的警告
  - 3:修改界面，TM-Device中UPS绑定的数据源
  - 4:修改报警信息
  - 5:修改库文件，IoTC支持PyroAuto和PyroFollow模式
  - 6:删除气阀和MFC联动功能，TM V60 , PM V96 V94
  - 7:自动关Vent阀取消VentMaxPressure要大于AtmPressureBase条件
  - 8:Slit Valve开或关，超时时间从5秒更改到10秒


## Version 1.0.5.7

**2023-05-31** 

- Bug修复
  - 无
- 新特性
  - 1:优化Coating界面,移植Coating数据库表设计
  - 2:添加伴热监控点


## Version 1.0.4.6

**2023-05-30** 

- Bug修复
  - 修正系统Warning时，三色灯的绿灯亮起的问题
  - 修正PM M28-M40各个压力下动态流量的默认值
  - 修正Tray信息输入窗口的一些错误
- 新特性
  - PT1和Interlock配置中改为使用实际压力值（AI_ActualPressure）
  - Recipe编辑器中隐藏Uid列


## Version 1.0.3.5

**2023-05-29** 

- Bug修复
  - 无
- 新特性
  - 1:优化PM Purge和Clean Routine,循坏中伺服压力改为关闭EPV2等待压力到达设定值即可


## Version 1.0.3.4

**2023-05-26** 

- Bug修复
  - 无
- 新特性
  - 1：设置PM相关MFC动态流量默认值 
  - 2: 更改日志格式，强制为utf-8编码
  - 3：TM取放Tray温度参数合并
  - 4：添加Coating功能
  - 5：重写水温报警
  - 6：隔热罩Interlock正价当前位置和Down位置比较
  - 7：优化蜂鸣器重响逻辑
  - 8：添加合并库

## Version 1.0.2.3

**2023-04-25** 

- Bug修复
  - 无
- 新特性
  - 1.AutoRun流程按Sequence设置运行，未选择Buffer不在自动去Buffer层避让
  - 2.若Sequence进PM前未选择Buffer,则TMRobot在Load取Wafer前根据系统配置
  参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable;
  3.若Sequence进PM前选择Buffer,则TMRobot在Buffer取Wafer前根据系统配置
  参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable;
  4.取消Sequence编辑界面中Buffer1,2,3层的选择显示

## Version 1.0.1.2

**2023-04-13** 

- Bug修复
  - 无
- 新特性
  - 1：TM添加水管
  - 2：优化AE报警提示
  - 3: 更改IO名称，更改水温名称
  - 4：不显示多余参数
  - 5：添加水温Offset功能


## Version 1.0.1.1

**2023-04-13** 

- Bug修复
  - 无
- 新特性
  - 1：从5号机更新到10号机
  - 2：添加昂坤测温，PM1和PM2分别使用双通道Middle Outer
  - 3: 更改参数最大值范围