Sic10/SicRT/ReleaseNotes.md


# Sic 系统更新历史记录

## Version 1.0.5.21

**2023-06-12** 

- Bug修复
  - 1.解决偶尔PM腔加热被Disable的问题
- 新特性
  - 

## Version 1.0.5.20

**2023-06-12** 

- Bug修复
  - 
- 新特性
  - 1.将电阻检测的时间改为可配置
  -2.将PLC无法访问已释放的对象报错由Alarm改为Info

## Version 1.0.5.19

**2023-06-11** 

- Bug修复
  - 1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0
- 新特性
  - 

## Version 1.0.5.18

**2023-06-11** 

- Bug修复
  - 1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0
- 新特性
  - 

## Version 1.0.5.17

**2023-06-10** 

- Bug修复
  - 
- 新特性
  - 1.TMRobot与PM取放Tray时取消DI_HeaterTempLowLimitSW点条件限制

## Version 1.0.5.16

**2023-06-09** 

- Bug修复
  - 
- 新特性
  - 1.PreProcess时旋转后延时再升隔热罩改到PostTransfer Routine中
  -2.修改MOExchange Routine到最新流程
  -3.修改Purge流程，结束后M2M9M15-M26由设置到0改为设置到默认值，关闭J阀改为打开J阀

## Version 1.0.5.15

**2023-06-09** 

- Bug修复
  - 1.增加膜厚时，历史数据同步增加BUG修复(dll)
  - 2.修复测温未开启，测温对象为null时，Inner温度读取报错问题(dll)
- 新特性
  - 1.在工艺结束后添加膜厚检测
  - 2.添加三点测温参数配置
  - 3.修改提示项，增加提示内容(dll)
  - 4.解决LeakCheck查询结果重复问题
  - 5.MFC27量程修改
  - 6.增加PM Purge超时时间设置
  - 7.设置Recipe Coating权限


## Version 1.0.5.14

**2023-06-05** 

- Bug修复
  - 
- 新特性
  - 1.PM磁流体增加设置速度大于0时，自动开启其Enable信号
  - 2.PM Purge Routine增加到950mbar的超时时间参数

## Version 1.0.5.12

**2023-06-03** 

- Bug修复
  - 1:修正PM2蜂鸣器无法关闭问题
  - 2:修改IO名称
  - 3:修正构造函数中未初始化Module属性导致调用GetConfig失败的问题。
  - 4:显示所有IO
- 新特性
  - 1:修改TM主界面中温度显示

## Version 1.0.5.11

**2023-06-03** 

- Bug修复
  - 修正Heater无法打开的问题
- 新特性
  - 无


## Version 1.0.5.9

**2023-06-01** 

- Bug修复
  - 1:更新Dll，库中使用的是三个测温点，合并成兼容，只有8号机上有参数调控测温点数量
  - 2:解决ATM模式下TMRobot和PM不能传盘问题
- 新特性
  - 1:修改PM2报警信息，删除屏蔽的测试内容



## Version 1.0.5.8

**2023-06-01** 

- Bug修复
  - 无
- 新特性
  - 1:修改动态流量默认值
  - 2:修改三色灯配置文件中Blue未定义的警告
  - 3:修改界面，TM-Device中UPS绑定的数据源
  - 4:修改报警信息
  - 5:修改库文件，IoTC支持PyroAuto和PyroFollow模式
  - 6:删除气阀和MFC联动功能，TM V60 , PM V96 V94
  - 7:自动关Vent阀取消VentMaxPressure要大于AtmPressureBase条件
  - 8:Slit Valve开或关，超时时间从5秒更改到10秒


## Version 1.0.5.7

**2023-05-31** 

- Bug修复
  - 无
- 新特性
  - 1:优化Coating界面,移植Coating数据库表设计
  - 2:添加伴热监控点


## Version 1.0.4.6

**2023-05-30** 

- Bug修复
  - 修正系统Warning时，三色灯的绿灯亮起的问题
  - 修正PM M28-M40各个压力下动态流量的默认值
  - 修正Tray信息输入窗口的一些错误
- 新特性
  - PT1和Interlock配置中改为使用实际压力值（AI_ActualPressure）
  - Recipe编辑器中隐藏Uid列


## Version 1.0.3.5

**2023-05-29** 

- Bug修复
  - 无
- 新特性
  - 1:优化PM Purge和Clean Routine,循坏中伺服压力改为关闭EPV2等待压力到达设定值即可


## Version 1.0.3.4

**2023-05-26** 

- Bug修复
  - 无
- 新特性
  - 1：设置PM相关MFC动态流量默认值 
  - 2: 更改日志格式，强制为utf-8编码
  - 3：TM取放Tray温度参数合并
  - 4：添加Coating功能
  - 5：重写水温报警
  - 6：隔热罩Interlock正价当前位置和Down位置比较
  - 7：优化蜂鸣器重响逻辑
  - 8：添加合并库

## Version 1.0.2.3

**2023-04-25** 

- Bug修复
  - 无
- 新特性
  - 1.AutoRun流程按Sequence设置运行，未选择Buffer不在自动去Buffer层避让
  - 2.若Sequence进PM前未选择Buffer,则TMRobot在Load取Wafer前根据系统配置
  参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable;
  3.若Sequence进PM前选择Buffer,则TMRobot在Buffer取Wafer前根据系统配置
  参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable;
  4.取消Sequence编辑界面中Buffer1,2,3层的选择显示

## Version 1.0.1.2

**2023-04-13** 

- Bug修复
  - 无
- 新特性
  - 1：TM添加水管
  - 2：优化AE报警提示
  - 3: 更改IO名称，更改水温名称
  - 4：不显示多余参数
  - 5：添加水温Offset功能


## Version 1.0.1.1

**2023-04-13** 

- Bug修复
  - 无
- 新特性
  - 1：从5号机更新到10号机
  - 2：添加昂坤测温，PM1和PM2分别使用双通道Middle Outer
  - 3: 更改参数最大值范围