hanqiangqiang
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340bbaa15d
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机械手Home时根据感应器创建和删除托盘和晶圆，slot号漏修改
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2024-06-12 14:01:05 +08:00 |
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hanqiangqiang
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be6c48732d
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机械手Home时根据感应器创建和删除托盘和晶圆
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2024-06-12 13:59:19 +08:00 |
HCL
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6e6b1375e3
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1.增加ATM模式下CycleMode功能
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2024-04-15 16:32:29 +08:00 |
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hanqiangqiang
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76aea05399
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Merge branch 'develop' into feature/localization
# Conflicts:
# ThirdParty/MECF.Framework/MECF.Framework.Common.dll
# ThirdParty/MECF.Framework/MECF.Framework.RT.Core.dll
# ThirdParty/MECF.Framework/MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary.dll
# ThirdParty/MECF.Framework/MECF.Framework.Simulator.Core.dll
# ThirdParty/MECF.Framework/MECF.Framework.UI.Client.dll
# ThirdParty/MECF.Framework/MECF.Framework.UI.Core.dll
# ThirdParty/MECF.Framework/Sicentury.Core.dll
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2024-02-22 09:57:57 +08:00 |
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hanqiangqiang
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afd6cf9af7
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修改PM和TM闸板阀，打开和关闭时的检测逻辑
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2024-01-15 08:59:10 +08:00 |
SL
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72e21adc2a
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更新库文件a4809b0，修改IoManager相关逻辑。
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2024-01-10 13:21:47 +08:00 |
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HCL
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8715d180ca
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1.修改Purge中Vent超时时间
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2023-11-06 13:34:04 +08:00 |
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hanqiangqiang
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404b104a62
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修改TM vent超时问题，由于Routine流程中不区分慢充超时和快充超时，因此统一系统配置参数超时时间VentTimeout
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2023-11-06 11:32:16 +08:00 |
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HCL
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52fc4e12f3
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1.修改
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2023-10-24 09:56:37 +08:00 |
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HCL
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30558a39ad
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1.补加Vent修改
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2023-10-24 09:52:35 +08:00 |
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HCL
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2b0464bfa0
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1.修改TM Purge逻辑，在Vent最终压力的过程中检测是否开启快充流量
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2023-10-24 09:43:48 +08:00 |
SIC1016\caipeilun
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0bc0dba996
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优化: TM开闸板阀时腔体压力直接使用PT1的Feedback，不另外建立IoPressureMeter3s
*错误：TM使用IoPressureMeter3s类，DATA会注册PM1.ChamberPressure.Value,树状图会覆盖掉PM1.ChamberPressure，从而数值不正确
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2023-10-13 14:51:09 +08:00 |
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HCL
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484932e024
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1.TM增加DO_TMCyclePurgeRoutineSuccessed,TM Purge后置为true，TM开腔后该DO置为false，
TM Online时需检查该DO为true
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2023-10-11 11:52:21 +08:00 |
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SIC1016\caipeilun
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2cee36908e
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修复:
1.TM purge时 vent延时绑定错误
2.vent延时默认值改为10s，与pump延时一致
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2023-10-09 17:09:09 +08:00 |
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SIC1016\caipeilun
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275b922308
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新增 TM的interlock DO-47 48 17 8 10 12 14 16
要求对应腔体压差小于50
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2023-10-07 14:40:28 +08:00 |
 SL
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e68c28cf99
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更新库文件（Commit 60c90f7），修正互锁旁路相关的一些问题。
移除InterlockDaemon配置文件。
恢复InterlockPM配置文件到原版本。
系统配置中的PM和TM节点增加BypassEnableTable配置项。
修正MainView的Module状态显示控件警告逻辑，当BypassInterlock和BypassEnableTable任意一项为true时，显示警告图标，并动态生成警告信息。
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2023-08-31 15:30:44 +08:00 |
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SIC1016\caipeilun
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3b9c1054e0
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系统配置中新增MFC60相关的配置参数，修正MFC60的Feedback和SetPoint差异超限后没有报警的问题。
TMModule中注册MFC60，修正MFC60报警后TM Module没有报警的问题。
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2023-08-28 15:08:44 +08:00 |
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hanqiangqiang
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9074e06bf9
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修改SicTM中对应PM的BypassInterlock获取XAML节点
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2023-08-19 15:17:26 +08:00 |
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SL
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d161dfa601
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整理SicModule工程内Routine相关对象的文件夹结构。
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2023-08-15 16:43:15 +08:00 |
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SL
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10ea6e6edc
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TM、PM模组注册BypassInterlock系统参数变更回调函数，实现当互锁旁路时，自动Offline功能。
TM、PM模组注册IsInterlockBypassed属性到DATA。
MainViewModel增加TM、PM IsInterlockBypassed属性注册。
MainView的TM、PM相关ModuleStatusIndicator控件增加属性HasWarning和WarningTip的绑定。
移除所有和IsEngMode属性相关的代码。
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2023-08-15 15:40:29 +08:00 |
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hanqiangqiang
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52c339c1ec
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TM,Load,Unload腔漏检Routine添加延时，参考PM腔漏检的延时调用时机
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2023-07-18 15:38:59 +08:00 |
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HCL
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ccdedcc68a
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1.修改TM和Load LeakCheck Routine
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2023-07-03 09:17:35 +08:00 |
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hanqiangqiang
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417139b91a
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no message
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2023-06-01 14:40:25 +08:00 |
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LAPTOP-9VQH4NI5\LCR
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f440ad91e9
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1.TM 取放Tray温度参数合并
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2023-05-11 13:24:42 +08:00 |
 DESKTOP-1N1NK8A\auvkk
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0dc51e1aa2
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更新库文件（Commit 33a4580）
新增SicCommonEx工程存放公共的扩展类型。
SicModules/Devices/IoInterLock.cs更名为IoInterLockEx.cs。
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2023-05-11 11:35:42 +08:00 |
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DESKTOP-1N1NK8A\auvkk
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4eead6de4a
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SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。
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2023-05-11 10:38:59 +08:00 |
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DESKTOP-1N1NK8A\auvkk
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cb936bb934
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工程Modules更名为SicModules。
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2023-05-10 11:23:04 +08:00 |