HCL
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ecf52fe265
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1.PM Purge超时时间设置为600s
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2023-08-10 11:11:31 +08:00 |
HCL
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3193f18b7c
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1.PM Routine蝶阀切换位置模式后增加延时
2.System Config默认值整理
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2023-07-28 14:55:07 +08:00 |
HCL
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e98dfae01e
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1.PM Purge和Clean、LeakCheck Routine 取消循环中蝶阀的位置控到100流程
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2023-07-28 13:49:55 +08:00 |
HCL
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183e0c426e
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1.PM Purge开关Final阀增加V111控制
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2023-07-19 16:59:50 +08:00 |
HCL
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92dacb06b8
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1.修改Purge流程,结束后M2M9M15-M26由设置到0改为设置到默认值,关闭J阀改为打开J阀
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2023-06-09 18:04:18 +08:00 |
HCL
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18f5df62e0
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1.增加PM Purge超时时间设置
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2023-06-05 11:12:21 +08:00 |
HCL
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9831295d5c
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1:优化PM Purge和Clean Routine,循坏中伺服压力改为关闭EPV2等待压力到达设定值即可
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2023-05-29 10:28:58 +08:00 |
LAPTOP-9VQH4NI5\LCR
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9134522868
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1.按照EFEM PM Routine优化PM Routine,防止飞片
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2023-05-11 13:45:18 +08:00 |
DESKTOP-1N1NK8A\auvkk
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4eead6de4a
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SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。
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2023-05-11 10:38:59 +08:00 |
DESKTOP-1N1NK8A\auvkk
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cb936bb934
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工程Modules更名为SicModules。
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2023-05-10 11:23:04 +08:00 |