hanqiangqiang
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0dfbe4120a
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电阻丝加热，不是Alarm时，直接用Warning输出
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2023-09-13 09:21:10 +08:00 |
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hanqiangqiang
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63cdf7eea0
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工艺工程中电阻丝断路检测，异常输出不提示问题修复
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2023-09-05 09:29:52 +08:00 |
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hanqiangqiang
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a935331ff3
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添加Recipe实施修改功能
(cherry picked from commit fe7d11b35c)
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2023-08-29 11:53:50 +08:00 |
HCL
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e4da787ee7
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1.整理WaferInfo类
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2023-08-10 15:54:46 +08:00 |
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HCL
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9a18a32c69
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1.进度更新
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2023-08-09 10:46:22 +08:00 |
 SL
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b8a0f32715
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优化PM Process过程中监测加热器电阻阻值的逻辑。
优化系统配置中加热器电阻检测相关的配置项的名称。
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2023-07-27 16:53:58 +08:00 |
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hanqiangqiang
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d638630f95
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1:更新dll [0008ec9],修改Heater电阻显示控件，居中显示
2:Pocess中产生Alarm后，再次开始后，时间数据未复位问题解决
3:解决问题2后，显示时间不同步问题修复
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2023-07-20 15:03:59 +08:00 |
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hanqiangqiang
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e5e953ab6f
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1配置文件中添加电阻检测参数，Log输出类型，Process中检测电阻忽略时间
2在Process执行过程中，循环检测加热丝是否断开
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2023-07-19 20:14:47 +08:00 |
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DESKTOP-PC1GJ0G\admin
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88dbe7b431
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1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0
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2023-06-10 22:01:07 +08:00 |
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HCL
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d68e27c4f3
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1.PreProcess时旋转后延时再升隔热罩改到PostTransfer Routine中
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2023-06-09 16:41:06 +08:00 |
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hanqiangqiang
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258bb831ad
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1在工艺结束后添加膜厚检测
2增加膜厚时，历史数据同步增加BUG修复(dll)
3修改提示项，增加提示内容(dll)
4修复测温未开启，测温对象为null时，Inner温度读取报错问题(dll)
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2023-06-08 17:02:31 +08:00 |
 Liang Su
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7ce69fd28d
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更新库文件（Commit 2bccbb1）
IoTC支持PyroAuto和PyroFollow模式。
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2023-06-01 17:32:31 +08:00 |
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hanqiangqiang
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7424dc09e7
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1修改Wafer创建时，自动覆盖原位置GUID的BUG,更新dll
2添加增长率自动计算
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2023-05-26 18:30:10 +08:00 |
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hanqiangqiang
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2e52a3cac2
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整改旧的Coating功能
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2023-05-11 14:01:28 +08:00 |
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DESKTOP-1N1NK8A\auvkk
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4eead6de4a
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SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。
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2023-05-11 10:38:59 +08:00 |
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DESKTOP-1N1NK8A\auvkk
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cb936bb934
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工程Modules更名为SicModules。
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2023-05-10 11:23:04 +08:00 |