HCL
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c539f30018
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1.自动关Vent阀取消VentMaxPressure要大于AtmPressureBase条件
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2023-06-01 11:49:33 +08:00 |
hanqiangqiang
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7eb4fd108d
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添加PM的AI点位-伴热监控点
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2023-05-31 08:44:08 +08:00 |
 Liang Su
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b5a00785eb
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更新PM1和PM2中压力反馈值来源，PT1和Interlock中的AI_ChamPress更改为AI_ActualPressure。
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2023-05-30 13:17:41 +08:00 |
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HCL
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9831295d5c
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1:优化PM Purge和Clean Routine,循坏中伺服压力改为关闭EPV2等待压力到达设定值即可
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2023-05-29 10:28:58 +08:00 |
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hanqiangqiang
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7424dc09e7
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1修改Wafer创建时，自动覆盖原位置GUID的BUG,更新dll
2添加增长率自动计算
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2023-05-26 18:30:10 +08:00 |
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hanqiangqiang
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fdf35272a2
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1：更改报警配置信息
2：修改PM2部分IO报警ID，使其与PM1相同，方便界面绑定用
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2023-05-25 15:14:36 +08:00 |
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hanqiangqiang
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4470038188
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1::配置水温报警,IO名称太乱搞吐了，我想打洪膺
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2023-05-24 17:50:36 +08:00 |
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hanqiangqiang
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dce2b985f9
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修改InterLock，电阻初始值
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2023-05-22 09:14:23 +08:00 |
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LAPTOP-9VQH4NI5\LCR
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38de9286c6
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1.PM Interlock配置文件增加隔热罩当前位置和Down位置
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2023-05-11 15:35:43 +08:00 |
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hanqiangqiang
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b495894b21
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修改System参数，Offect配置项
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2023-05-11 14:22:42 +08:00 |
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hanqiangqiang
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188f8176db
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Merge branch 'feature/整改旧的Coating功能' into develop
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2023-05-11 14:03:25 +08:00 |
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hanqiangqiang
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2e52a3cac2
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整改旧的Coating功能
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2023-05-11 14:01:28 +08:00 |
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LAPTOP-9VQH4NI5\LCR
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9134522868
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1.按照EFEM PM Routine优化PM Routine，防止飞片
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2023-05-11 13:45:18 +08:00 |
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LAPTOP-9VQH4NI5\LCR
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f440ad91e9
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1.TM 取放Tray温度参数合并
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2023-05-11 13:24:42 +08:00 |
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DESKTOP-1N1NK8A\auvkk
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57836fd3f2
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更新库文件（Commit 877b828）
修正三色灯事件文件不存在导致PollData时引发引用空的Event字典引发NullReferenceException的问题。
修正PM1、PM2三色灯配置文件中IoSignalTower引用路径。
更新三色灯事件配置文件。
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2023-05-11 12:05:15 +08:00 |
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DESKTOP-1N1NK8A\auvkk
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0dc51e1aa2
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更新库文件（Commit 33a4580）
新增SicCommonEx工程存放公共的扩展类型。
SicModules/Devices/IoInterLock.cs更名为IoInterLockEx.cs。
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2023-05-11 11:35:42 +08:00 |
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DESKTOP-1N1NK8A\auvkk
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4eead6de4a
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SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。
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2023-05-11 10:38:59 +08:00 |
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DESKTOP-1N1NK8A\auvkk
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cb936bb934
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工程Modules更名为SicModules。
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2023-05-10 11:23:04 +08:00 |
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DESKTOP-1N1NK8A\auvkk
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8e287ea19b
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ThirdParty目录中的dll更换为Sic.Framework公共库。
移除FrameworkLocal目录下的所有工程。
修复SicModule工程中的部分代码以匹配新的库文件。
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2023-05-10 11:21:55 +08:00 |
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hanqiangqiang
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ffe2e41752
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Repo Init
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2023-05-10 10:26:01 +08:00 |