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Author SHA1 Message Date
hanqiangqiang e5e953ab6f 1配置文件中添加电阻检测参数,Log输出类型,Process中检测电阻忽略时间
2在Process执行过程中,循环检测加热丝是否断开
2023-07-19 20:14:47 +08:00
SL a9147af23f 更新库文件(Commit e5003ac),IoPSU和IoSCR对象增加电阻超限检测逻辑,增加DeviceData属性打包传输数据到UI。
优化PM1和PM2的IoPSU和IoSCR设备配置,增加ResLimitMax系统配置映射参数,指定电阻上限配置项的路径。
PMOperationView视图中增加PSU和SCR电阻检测信息显示。
2023-07-19 19:33:03 +08:00
HCL 183e0c426e 1.PM Purge开关Final阀增加V111控制 2023-07-19 16:59:50 +08:00
HCL b536215937 1.优化数据库代码进度更新 2023-07-18 17:22:12 +08:00
hanqiangqiang 52c339c1ec TM,Load,Unload腔漏检Routine添加延时,参考PM腔漏检的延时调用时机 2023-07-18 15:38:59 +08:00
HCL ca8c5a31f2 1.取消DI-349报警 2023-07-18 11:18:39 +08:00
HCL 89cbb9d5db 1.PM2 EtherCAT报警临时取消
2.开腔时卡DI-6,日志修改
2023-07-18 10:42:40 +08:00
hanqiangqiang 085581d73d 测试修改项,修改真值表初始化 2023-07-17 16:31:31 +08:00
HQQ b055eadd18 TMA生成时明成问题修改 2023-07-16 10:20:50 +08:00
hanqiangqiang 0c38132caa 删除旧的真值表配置 2023-07-15 10:44:03 +08:00
hanqiangqiang 137a7fb5aa 添加完整真值表信息,测试数据显示和参数实时生效问题,已完成 2023-07-15 10:39:23 +08:00
HQQ fb8de17330 添加真值表XML配置内容 2023-07-15 10:13:19 +08:00
hanqiangqiang 94237960fe 1新增XML配置信息,
2添加真值表对象初始化
2023-07-14 17:50:02 +08:00
hanqiangqiang a80b7bd25f Merge branch 'develop' into 优化真值表逻辑
# Conflicts:
#	ThirdParty/MECF.Framework/MECF.Framework.Common.dll
#	ThirdParty/MECF.Framework/MECF.Framework.RT.Core.dll
#	ThirdParty/MECF.Framework/MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary.dll
#	ThirdParty/MECF.Framework/MECF.Framework.Simulator.Core.dll
#	ThirdParty/MECF.Framework/MECF.Framework.UI.Client.dll
#	ThirdParty/MECF.Framework/MECF.Framework.UI.Core.dll
2023-07-11 08:51:55 +08:00
hanqiangqiang a973c21b38 1修改配置文件夹名称
2更新DLL
2023-07-06 15:31:14 +08:00
HCL a007874fd7 1.关腔最后增加关闭V76、打开V75操作 2023-07-05 13:32:46 +08:00
HCL 41f12e07c7 1.解决不能开腔问题 2023-07-05 11:12:21 +08:00
HCL 079db470e5 1.Interlock文件少些PM1. 2023-07-05 10:51:45 +08:00
HCL f43974eb0b 1.PM Interlock中DI-6替换为DI-7,DO_ProcessRunning增加DI-6条件 2023-07-05 10:21:45 +08:00
HCL fd04b8e9d8 1.添加Mfc Ror测试功能 2023-07-04 13:07:38 +08:00
SL 0ffb3d5692 修正Logout时如果ProcessMonitor窗口打开,没有自动关闭的问题。
Overview视图的Monitor按钮权限控制项移至Operation.Overview.ProcessMonitorWindow。
2023-07-03 17:30:16 +08:00
HCL 83e98cdc4f 1.Exit Process由Warning改为Info 2023-07-03 17:00:11 +08:00
SL a3acbbfabf 更新库文件(Commit 32efe15),PM磁流体转速为0时的输出信息等级由Warning变更为Info。
引入5号机工程模式,互锁被旁路时进入工程模式,并限制PM Online,以及PM退出Service模式。
2023-07-03 13:41:45 +08:00
SL c5a8e1f195 LL Lid打开时的输出信息由Warning变更为Info。 2023-07-03 12:26:29 +08:00
HCL ccdedcc68a 1.修改TM和Load LeakCheck Routine 2023-07-03 09:17:35 +08:00
hanqiangqiang 234e70c507 1更新dll[7c29369],添加真值表XML解析和计算功能
2在PM同级别目录下添加真值表XML配置
3根据洪膺要求,更改气体流量系数配置XML节点
2023-06-30 10:33:37 +08:00
SL 874230ec5d 修正PM执行Routine时如果发生Alaram,再次Home时会执行上次出错的Routine的Monitor()方法的问题。
更新库文件(Commit 57bb813),重新同步。
2023-06-28 11:42:00 +08:00
HCL 5e7158bfcf - 1.软件增加打开或关闭V94和V96阀时先将对应的MFC流量Ramp到0功能
- 2.PM界面DORPressVAC绑定由DI_DORPressATMSW改为DI_DORPressVacSW
2023-06-20 15:42:28 +08:00
HCL 9d9201754f 1.V94和V96阀打开关闭时设置对应的MFC流量为0 2023-06-20 14:29:42 +08:00
hanqiangqiang 6091ccc2c1 1:PM2添加Offset,
2:AO中显示Offset
3:Mfc36默认值从750改为500
2023-06-19 14:29:14 +08:00
hanqiangqiang ca7e86deae 修改水温报警绑定,界面状态指示灯对应的Sensor名称 2023-06-14 17:11:45 +08:00
Liang Su 085b2e7cec 优化三色灯
新增系统配置项IsPMHostSignalTower,指定是否使用PM PLC控制三色灯。
修改三色灯控制逻辑,系统全局仅使用一个三色灯作为主灯,主灯的选择根据系统配置完成,其它未作为主灯三色灯对象被禁用。
三色灯事件配置文件收敛为一个文件,所有三色灯均使用同一个事件配置文件。

更新库文件(Commit 0063ec8)
修正DeviceManagerBase中的_optionDevice列表多线程访问时被意外修改的问题。
2023-06-14 16:30:01 +08:00
Liang Su f24ad02485 更新库文件(Commit 188a8a9)
修正SignalTowerPartBase对象执行Reset()方法时,_action字段为null引发异常的问题。

添加PM2相关三色灯配置。
2023-06-14 15:00:13 +08:00
hanqiangqiang d143af7a40 从8号机移植,优化屏蔽模块后还有报警产生
EquipmentManager的InitModules()方法中检测Module是否安装,如果没有安装,则将其下属的所有Device禁用,以节省RT资源,并避免产生不必要的报警信息
PMModuleDevice的InitDevice()方法中移除对IsInstalled的判断。
EquipmentManager中新增GenModule<T>()方法用于创建各个Module的实例。
2023-06-13 17:19:52 +08:00
Liang Su 6a655d8830 EquipmentManager中当触发设备报警时,重新使能三色灯的Buzzer。
移除PM2中三色灯定义。
2023-06-12 11:38:06 +08:00
DESKTOP-PC1GJ0G\admin 6b57da3589 1 2023-06-11 19:56:31 +08:00
DESKTOP-PC1GJ0G\admin 88dbe7b431 1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0 2023-06-10 22:01:07 +08:00
DESKTOP-PC1GJ0G\admin c6425ce72a 1.TMRobot与PM取放Tray时取消DI_HeaterTempLowLimitSW点条件限制 2023-06-10 11:04:28 +08:00
HCL 92dacb06b8 1.修改Purge流程,结束后M2M9M15-M26由设置到0改为设置到默认值,关闭J阀改为打开J阀 2023-06-09 18:04:18 +08:00
HCL accd89e5f1 1.修改MOExchange Routine到最新流程 2023-06-09 16:56:18 +08:00
HCL d68e27c4f3 1.PreProcess时旋转后延时再升隔热罩改到PostTransfer Routine中 2023-06-09 16:41:06 +08:00
hanqiangqiang 258bb831ad 1在工艺结束后添加膜厚检测
2增加膜厚时,历史数据同步增加BUG修复(dll)
3修改提示项,增加提示内容(dll)
4修复测温未开启,测温对象为null时,Inner温度读取报错问题(dll)
2023-06-08 17:02:31 +08:00
HCL 54709cdc6b 1.添加MfcRor类,PMModule增加MfcRor消息状态机机制 2023-06-05 13:09:37 +08:00
HCL 18f5df62e0 1.增加PM Purge超时时间设置 2023-06-05 11:12:21 +08:00
HCL 48db987fb5 1.解决传盘问题 2023-06-03 18:35:08 +08:00
HCL b0029e8118 Merge branch 'develop' of http://118.31.5.210:65000/Sic-Software/Sic10 into develop 2023-06-03 16:37:43 +08:00
HCL 4b607cddc7 1.修改压力 2023-06-03 16:37:28 +08:00
hanqiangqiang 79a64ec49f 1添加PM2报警初始化
2修改界面显示内容
3修改IO名称
2023-06-03 15:15:25 +08:00
hanqiangqiang 6af2978302 在12号机上调试设备
1:修改PM模块被隐藏的IO
2:临时删除LoadLock,开盖报警信息
3:优化循环扫描参数
4:修改TM调用参数时,大小写不正确问题
2023-06-03 12:40:48 +08:00
hanqiangqiang 38ef9ce324 修改Interlock PM DI-83
修改报警状态配置文件
2023-06-03 09:00:16 +08:00
hanqiangqiang b0cb155f6f 修改PM2报警信息,删除屏蔽的测试内容 2023-06-02 14:05:20 +08:00
Liang Su 7ce69fd28d 更新库文件(Commit 2bccbb1)
IoTC支持PyroAuto和PyroFollow模式。
2023-06-01 17:32:31 +08:00
hanqiangqiang 417139b91a no message 2023-06-01 14:40:25 +08:00
hanqiangqiang 3652e0ddf7 1:DI29报警信息删除
2:DI32 39 40,又Alarm降级为Warning,提示信息不变
2023-06-01 13:49:56 +08:00
HCL c539f30018 1.自动关Vent阀取消VentMaxPressure要大于AtmPressureBase条件 2023-06-01 11:49:33 +08:00
hanqiangqiang 7eb4fd108d 添加PM的AI点位-伴热监控点 2023-05-31 08:44:08 +08:00
Liang Su b5a00785eb 更新PM1和PM2中压力反馈值来源,PT1和Interlock中的AI_ChamPress更改为AI_ActualPressure。 2023-05-30 13:17:41 +08:00
HCL 9831295d5c 1:优化PM Purge和Clean Routine,循坏中伺服压力改为关闭EPV2等待压力到达设定值即可 2023-05-29 10:28:58 +08:00
hanqiangqiang 7424dc09e7 1修改Wafer创建时,自动覆盖原位置GUID的BUG,更新dll
2添加增长率自动计算
2023-05-26 18:30:10 +08:00
hanqiangqiang fdf35272a2 1:更改报警配置信息
2:修改PM2部分IO报警ID,使其与PM1相同,方便界面绑定用
2023-05-25 15:14:36 +08:00
hanqiangqiang 4470038188 1::配置水温报警,IO名称太乱搞吐了,我想打洪膺 2023-05-24 17:50:36 +08:00
hanqiangqiang dce2b985f9 修改InterLock,电阻初始值 2023-05-22 09:14:23 +08:00
LAPTOP-9VQH4NI5\LCR 38de9286c6 1.PM Interlock配置文件增加隔热罩当前位置和Down位置 2023-05-11 15:35:43 +08:00
hanqiangqiang b495894b21 修改System参数,Offect配置项 2023-05-11 14:22:42 +08:00
hanqiangqiang 188f8176db Merge branch 'feature/整改旧的Coating功能' into develop 2023-05-11 14:03:25 +08:00
hanqiangqiang 2e52a3cac2 整改旧的Coating功能 2023-05-11 14:01:28 +08:00
LAPTOP-9VQH4NI5\LCR 9134522868 1.按照EFEM PM Routine优化PM Routine,防止飞片 2023-05-11 13:45:18 +08:00
LAPTOP-9VQH4NI5\LCR f440ad91e9 1.TM 取放Tray温度参数合并 2023-05-11 13:24:42 +08:00
DESKTOP-1N1NK8A\auvkk 57836fd3f2 更新库文件(Commit 877b828)
修正三色灯事件文件不存在导致PollData时引发引用空的Event字典引发NullReferenceException的问题。

修正PM1、PM2三色灯配置文件中IoSignalTower引用路径。
更新三色灯事件配置文件。
2023-05-11 12:05:15 +08:00
DESKTOP-1N1NK8A\auvkk 0dc51e1aa2 更新库文件(Commit 33a4580)
新增SicCommonEx工程存放公共的扩展类型。
SicModules/Devices/IoInterLock.cs更名为IoInterLockEx.cs。
2023-05-11 11:35:42 +08:00
DESKTOP-1N1NK8A\auvkk 4eead6de4a SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。 2023-05-11 10:38:59 +08:00
DESKTOP-1N1NK8A\auvkk cb936bb934 工程Modules更名为SicModules。 2023-05-10 11:23:04 +08:00