LL调度器增加工艺结束,并且Wafer返回后产生警告提示取盘的功能。 优化各个模组的调度器的CheckTaskDone()方法。 修正AutoTransfer中TMRobot操作目标模组等在传输完成的逻辑,增加TMRobot任务完成条件。 优化EventDefine.xml中事件50的描述,增加Wafer所在的模组和槽位信息。 Wafer控件增加旋转效果,以指示PM中的Wafer正在进行工艺。
更新和Recipe相关的一些对象。