# Sic Manual-GE 系统更新历史记录 Manual-GE 手动通用版（适用无EFEM设备） ------ ## Version 1.1.20.50 **2023-09-25** - Bug修复 - 新特性 - interlock_bypass分腔体单独控制 - interlock表更新 - 不同recipe的data曲线数据对比功能 - ## Version 23.9.20.3 **2023-09-20** - Bug修复 - 新特性 - 合并develop分支和Interlock分支 - 1:删除PM DI0和DI7 (DO2、40、41、54、112-119、111的互锁 (为了开腔维护时间可以吹扫) -2 优化Data History左侧列表中的水温名称 - 3微调TM视图中的按钮位置 - 4.修改V75V76和V72TVInterlock ## Version 1.1.19.49 **2023-09-04** - Bug修复 - 1:修改UPS相关现实内容（SC配置提示+DeviceView界面) - - 新特性 - 1:删除PM DI0和DI7 (DO2、40、41、54、112-119、111的互锁 (为了开腔维护时间可以吹扫) ## Version 1.1.18.48 **2023-09-01** - Bug修复 - 解决Mfc Ror测试过程中Mfc未在正确的位置设置Normal状态的BUG - 新特性 - ## Version 1.1.18.47 **2023-08-29** - Bug修复 - 系统配置中新增MFC60相关的配置参数，修正MFC60的Feedback和SetPoint差异超限后没有报警的问题。 - 修改加热带温度上限 - 新特性 - 添加Recipe实时修改功能 ## Version 1.1.18.46 **2023-08-21** - Bug修复 - 修正冷却水超温后没有产生Warning和Alarm信息的问题 - 修正log文件中缺少日志等级信息的问题 - 新特性 - PM2设备配置文件中增加PT9、PT10 Offset和K值设定 ## Version 1.1.17.45 **2023-08-16** - Bug修复 - 修正PMProcess界面中加载Recipe时，取值范围显示不对问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.1.17.44 **2023-08-14** - Bug修复 - 修正PM水温显示的一些问题 - 新特性 - Shutdown按钮增加控制权限，防止人为关闭整个系统 - 优化PM水温配置，水温名称现可通过配置文件调整 ## Version 1.1.16.42 **2023-08-09** - Bug修复 - 解决JobList查询数据错乱问题 - 新特性 - 优化新建Wafer ID名称过长 ## Version 1.1.16.41 **2023-08-03** - Bug修复 - 修正DataLog重新查询数据曲线时，上次设定的Factor和Offset没有生效的问题 - 新特性 - 移除PSU2控制输出幅度限制的功能 ## Version 1.1.15.40 **2023-08-03** - Bug修复 - 修复Recipe StepNo等工艺过程数据没有存储到数据库导致无法查询的问题 - 新特性 - PM Heater增加PSU2输出幅度上限生效温度设定 - PSU2輸出幅度下限跟随温度生效或取消 - Recipe中新增PSU2 Output Limit High参数，用于通过Recipe控制PSU2输出幅度上限（禁用） ## Version 1.1.14.38 **2023-08-02** - Bug修复 - 修正工艺过程数据（气体流量、耗电量）统计数值错误的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.1.13.37 **2023-08-02** - Bug修复 - 修正Wafer回到LL后，还未完成工艺，即蜂鸣器提示工艺结束的问题 - 修正 PM Operation视图中Heater电阻值显示精度不够的问题，现改为小数点后三位 - 新特性 - PSU2增加控制量输出幅度限制，当温度超过1600度时，控制输出幅度限制到设定值 - PM Process视图的工艺数据统计中新增耗电量统计 ## Version 1.1.12.36 **2023-07-28** - Bug修复 - 解决PM2 PT Offset和K的设定有误问题 - 新特性 - 切换蝶阀位置模式时，压力小于设定值则不能切换 - 蝶阀Disable时，设定对应模式的蝶阀默认值 - PM Routine蝶阀切换位置模式后增加延时 - PM Purge和Clean、LeakCheck Routine 取消循环中蝶阀的位置控到100流程 - 蝶阀控制位置模式启用RampRate - System Config默认值重新整理 - PM Operation视图增加加热器电阻值显示 - PM Process过程增加对加热器电阻值监测，当阻值超过上限后终止工艺 - 优化整理数据库代码 ## Version 1.1.12.35 **2023-07-24** - Bug修复 - 新特性 - 1.重新整理优化数据库代码 ## Version 1.0.12.34 **2023-07-20** - Bug修复 - 1：修正升级软件时新增权限实际值和设置值不一致的问题 - 2：修正Wafer控件中显示的Wafer编号太长时，Wafer会缩小的问题 - 3：TrayBelongTo属性在Buffer中设置后不更新问题，Tray不移动信息不保存问题 - 4：PLC报警问题优化 - 新特性 - 1：添加加热丝断路检测，在Receipe执行过程中检测 - 2：PM Purge开关Final阀增加V111控制 - 3：重写真值表实现方式 - 4：优化Coating界面查询效果，和一键设置PM功能 ## Version 1.0.11.33 **2023-07-05** - Bug修复 - - 新特性 - PM Interlock中DI-6替换为DI-7,DO_ProcessRunning增加DI-6条件 ## Version 1.0.11.32 **2023-07-03** - Bug修复 - 修正ProcessExit时的输出信息等级，由Warning更改为Info - 修正ProcessMonitor窗口打开时，Logout时没有自动关闭该窗口的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.10.31 **2023-07-03** - Bug修复 - 修正TM和LL的LeakCheckRoutine无法执行的问题 - 修正PM气体流量计算时，修正系数未生效的问题 - 新特性 - 新增工程模式，当互锁被旁路时进入工程模式，PM Online、手动启动工艺和PM退出Serivce模式将被限制 - LL Lid打开时输出信息等级由Warning更改为Info - PM Process结束，磁流体转速将为0后的输出信息等级由Warning更改为Info - 软件信息增加“GE Manual”字串，指示当前版本为通用手动版 ## Version 1.0.9.30 **2023-06-30** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 实用真值表方式计算流量统计 ## Version 1.0.9.29 **2023-06-29** - Bug修复 - 修正Sequence编辑器中无法保存Recipe的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.8.28 **2023-06-20** - Bug修复 - - 新特性 - 1.软件增加打开或关闭V94和V96阀时先将对应的MFC流量Ramp到0功能 - 2.PM界面DORPressVAC绑定由DI_DORPressATMSW改为DI_DORPressVacSW ## Version 1.0.7.27 **2023-06-19** - Bug修复 - - 新特性 - 系统配置参数增加一键设置传盘压力参数 ## Version 1.0.7.26 **2023-06-14** - Bug修复 - 软件启动时offset可能写入不成功，添加延时写入 - 修改水温报警绑定，界面状态指示灯对应的Sensor名称 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.7.25 **2023-06-14** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 支持指定PM或TM PLC控制三色灯 ## Version 1.0.7.24 **2023-06-14** - Bug修复 - 修正三色灯复位时可能导致程序异常的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.7.23 **2023-06-14** - Bug修复 - 修正Module卸载后仍然会触发报警的问题 - 修正Alarm和EventLog视图中的表格布局问题 - 新特性 - Recipe编辑器支持拖拽填充功能 ## Version 1.0.6.22 **2023-06-13** - Bug修复 - 1.解决偶尔PM腔加热被Disable的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.5.21 **2023-06-12** - Bug修复 - 1.解决偶尔PM腔加热被Disable的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.5.20 **2023-06-12** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1.将电阻检测的时间改为可配置 -2.将PLC无法访问已释放的对象报错由Alarm改为Info ## Version 1.0.5.19 **2023-06-11** - Bug修复 - 1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.5.18 **2023-06-11** - Bug修复 - 1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.5.17 **2023-06-10** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1.TMRobot与PM取放Tray时取消DI_HeaterTempLowLimitSW点条件限制 ## Version 1.0.5.16 **2023-06-09** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1.PreProcess时旋转后延时再升隔热罩改到PostTransfer Routine中 -2.修改MOExchange Routine到最新流程 -3.修改Purge流程，结束后M2M9M15-M26由设置到0改为设置到默认值，关闭J阀改为打开J阀 ## Version 1.0.5.15 **2023-06-09** - Bug修复 - 1.增加膜厚时，历史数据同步增加BUG修复(dll) - 2.修复测温未开启，测温对象为null时，Inner温度读取报错问题(dll) - 新特性 - 1.在工艺结束后添加膜厚检测 - 2.添加三点测温参数配置 - 3.修改提示项，增加提示内容(dll) - 4.解决LeakCheck查询结果重复问题 - 5.MFC27量程修改 - 6.增加PM Purge超时时间设置 - 7.设置Recipe Coating权限 ## Version 1.0.5.14 **2023-06-05** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1.PM磁流体增加设置速度大于0时，自动开启其Enable信号 - 2.PM Purge Routine增加到950mbar的超时时间参数 ## Version 1.0.5.12 **2023-06-03** - Bug修复 - 1:修正PM2蜂鸣器无法关闭问题 - 2:修改IO名称 - 3:修正构造函数中未初始化Module属性导致调用GetConfig失败的问题。 - 4:显示所有IO - 新特性 - 1:修改TM主界面中温度显示 ## Version 1.0.5.11 **2023-06-03** - Bug修复 - 修正Heater无法打开的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.5.9 **2023-06-01** - Bug修复 - 1:更新Dll，库中使用的是三个测温点，合并成兼容，只有8号机上有参数调控测温点数量 - 2:解决ATM模式下TMRobot和PM不能传盘问题 - 新特性 - 1:修改PM2报警信息，删除屏蔽的测试内容 ## Version 1.0.5.8 **2023-06-01** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1:修改动态流量默认值 - 2:修改三色灯配置文件中Blue未定义的警告 - 3:修改界面，TM-Device中UPS绑定的数据源 - 4:修改报警信息 - 5:修改库文件，IoTC支持PyroAuto和PyroFollow模式 - 6:删除气阀和MFC联动功能，TM V60 , PM V96 V94 - 7:自动关Vent阀取消VentMaxPressure要大于AtmPressureBase条件 - 8:Slit Valve开或关，超时时间从5秒更改到10秒 ## Version 1.0.5.7 **2023-05-31** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1:优化Coating界面,移植Coating数据库表设计 - 2:添加伴热监控点 ## Version 1.0.4.6 **2023-05-30** - Bug修复 - 修正系统Warning时，三色灯的绿灯亮起的问题 - 修正PM M28-M40各个压力下动态流量的默认值 - 修正Tray信息输入窗口的一些错误 - 新特性 - PT1和Interlock配置中改为使用实际压力值（AI_ActualPressure） - Recipe编辑器中隐藏Uid列 ## Version 1.0.3.5 **2023-05-29** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1:优化PM Purge和Clean Routine,循坏中伺服压力改为关闭EPV2等待压力到达设定值即可 ## Version 1.0.3.4 **2023-05-26** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1：设置PM相关MFC动态流量默认值 - 2: 更改日志格式，强制为utf-8编码 - 3：TM取放Tray温度参数合并 - 4：添加Coating功能 - 5：重写水温报警 - 6：隔热罩Interlock正价当前位置和Down位置比较 - 7：优化蜂鸣器重响逻辑 - 8：添加合并库 ## Version 1.0.2.3 **2023-04-25** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1.AutoRun流程按Sequence设置运行，未选择Buffer不在自动去Buffer层避让 - 2.若Sequence进PM前未选择Buffer,则TMRobot在Load取Wafer前根据系统配置 参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable; 3.若Sequence进PM前选择Buffer,则TMRobot在Buffer取Wafer前根据系统配置 参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable; 4.取消Sequence编辑界面中Buffer1,2,3层的选择显示 ## Version 1.0.1.2 **2023-04-13** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1：TM添加水管 - 2：优化AE报警提示 - 3: 更改IO名称，更改水温名称 - 4：不显示多余参数 - 5：添加水温Offset功能 ## Version 1.0.1.1 **2023-04-13** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1：从5号机更新到10号机 - 2：添加昂坤测温，PM1和PM2分别使用双通道Middle Outer - 3: 更改参数最大值范围