# Sic Manual-GE 系统更新历史记录 Manual-GE 手动通用版（适用无EFEM设备） ------ ## Version 1.2.12.83 **2024-07-02** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 新增压力平衡报警，当pt1 pt2的压力值超过设定值时警告或报警。 - ## Version 1.2.12.82 **2024-06-24** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 添加打开程序需要管理员权限 ## Version 1.2.11.81 **2024-06-20** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 增加工艺过程中升温过快的报警功能 ## Version 1.2.10.80 **2024-05-31** - Bug修复 - - 新特性 - 1.增加SECS/GEM协议通讯功能 ## Version 1.2.10.79 **2024-05-15** - Bug修复 - 1.修正PostProcess结束后DO-PostProcessRunning未设置false的问题 - - 新特性 - ## Version 1.2.11.78 **2024-05-11** - Bug修复 - 修正Charting中找不到PM1.Temp.Inner/Middle/Outer温度数据的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.2.10.77 **2024-04-29** - Bug修复 - 1.修正Interlock有时不起作用的BUG - - 新特性 - 1.在PreProcess、Procss、PostProcess过程中检查对应的DO-PreProcessRunning、DO-ProcessRunning、DO-PostProcessRunning信号， - 若为false则PM宕机 ## Version 1.2.10.76 **2024-04-28** - Bug修复 - 1.修正Interlock有时不起作用的BUG - - 新特性 - ## Version 1.2.10.75 **2024-02-22** - Bug修复 - 1.修复 数据库文件循环清理功能 - - 新特性 - 1.PM新增DI-73,AI-26,AI-27点位 - 2.添加加热带温度监控，可配置报警等级 ## Version 1.2.10.74 **2024-02-01** - Bug修复 - 1.添加TM DO09、DO13、DO15与DI-31的互锁 - - 新特性 - 1.PM Interlock配置中移除DI-33 ## Version 1.2.10.73 **2023-12-28** - Bug修复 - 修正工艺结束后，蜂鸣器提示无法自动关闭的问题 - 修正加载Interlock配置文件时，引发集合枚举时发生变化的异常的问题 - 新特性 - 隐藏SystemConfig中VaccumPressureBase参数 - 手动Purge各个模块不能修改SystemConfig相关参数值 - TV阀右击时新增Reset功能 ## Version 1.2.9.72 **2023-12-22** - Bug修复 - 蝶阀StopRame改成将计时器停止 - 新特性 - 无 ## Version 1.2.9.71 **2023-12-14** - Bug修复 - InterlockManager中Monitor扫描忽略翻转时，键值对集合中不包含对象时，continue当前循环 - 新特性 - 添加ProcessHistory历史记录查询 - 重新整理测温部分 ## Version 1.2.9.70 **2023-12-14** - Bug修复 - 修复Recipe保存问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.2.8.69 **2023-12-08** - Bug修复 - 修正删除和另存为Recipe时，弹出空对话框的问题 - 修正新建Recipe时，默认保存上个打开的Recipe的内容的问题 - 修正Sequence编辑器中的Recipe文件名中没有显示其所在文件夹名称的问题 - 新特性 - 新增配置默认值，根据手动设备现场情况来设定，MFC5不安装、C2H4显示， ## Version 1.2.8.68 **2023-11-27** - Bug修复 - 修正DataLog查询日志时，时间排序可能错乱的问题 - 新特性 - PM新增DO-128 Interlock - 添加Recipe快照压缩保存+历史数据选择对比 - 添加BypassEnableTable实时生效 - 添加PM右键时菜单 ## Version 1.2.7.67 **2023-11-07** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 强制Recipe不保存到数据库 - 修改PMHeaterView界面标签名称 - 修改Purge中Vent超时时间，使用统一时间 - 添加Recipe对比功能 ## Version 1.2.7.66 **2023-11-03** - Bug修复 - 无 - 新特性 - PM视图增加伴热带温度显示页面 - 启动工艺时检查伴热带开启状态，如果未开启，禁止启动工艺 - PM气路图增加PM名称显示 ## Version 1.2.6.65 **2023-11-03** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 气柜加热带温度监控，使用单通道参数设置，在SC配置中PM.PM1.GasBoxTemp PM.PM2.GasBoxTemp ## Version 1.2.6.64 **2023-11-02** - Bug修复 - 1.解决检测MFC流量报警时机偶尔不准确问题 - 新特性 - ## Version 1.2.6.63 **2023-10-31** - Bug修复 - 1.解决MFC ROR测试重做上次MFC ROR流程的问题 -2.修改ROR M11配置文件的错误 -3.修改Clean流程 - 新特性 - 1.ROR时间间隔和基础压力可统一设置 ## Version 1.2.6.62 **2023-10-18** - Bug修复 - 未Install的PM腔不进行online offline操作 - 修改TM Purge和Vent逻辑，在Vent最终压力的过程中检测是否开启快充流量 - 新特性 - 新增config配置对比功能，当配置被修改时，可以在配置界面右上角查看和筛选修改内容，支持回退操作；并且下次开启软件有提示 - ## Version 1.2.5.61 **2023-10-18** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 新增伊顿eaton UPS配置及监控，可在DEVICE界面查看 ## Version 1.2.5.60 **2023-10-18** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 昂坤测温添加参数配置，扫描周期和时间平滑可配置 ## Version 1.2.4.59 **2023-10-18** - Bug修复 - - 新特性 - PM K阀组增加V111控制 ## Version 1.2.4.58 **2023-10-17** - Bug修复 - 修正Recipe编辑视图激活时顶部功能按钮可能被禁用的问题 - 新特性 - 新增允许从系统配置中关闭单会话登录模式的功能 ## Version 1.2.3.57 **2023-10-14** - Bug修复 - 修正Recipe编辑器中选中文件夹后再次选择Recipe文件会提示Recipe发生更改的问题 - 修正Recipe编辑器中切换类型时可能无法正确弹出提示对话框的问题 - 修正Recipe编辑器激活时可能导致程序卡死的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.2.2.56 **2023-10-13** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 允许将气柜伴热带温度上限设定为0，以屏蔽超温报警 ## Version 1.2.1.55 **2023-10-13** - Bug修复 - 修复曲线数据查询中ChamberPressure与PT1数值不对应的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.2.1.54 **2023-10-11** - Bug修复 - 无 - 新特性 - TM增加DO_TMCyclePurgeRoutineSuccessed,TM Purge后置为true，TM开腔后该DO置为false， TM Online时需检查该DO为true ## Version 1.2.1.53 **2023-10-10** - Bug修复 - TM purge时 vent延时绑定错误 - vent延时默认值改为10s，与pump延时一致 - 新特性 - ## Version 1.2.1.52 **2023-10-07** - Bug修复 - 修复Interlock项: do-100 和 do-49触发前 di-9 必须为0 - 修复 EFEM SlitValueRoutine 触发时提示文本缺失名称 - 新特性 - 新增 TM的interlock DO-47 48 17 8 10 12 14 16 要求对应腔体压差小于50 - ## Version 1.2.0.51 **2023-10-03** - Bug修复 - 修正Recipe单元格白名单功能不能工作的问题 - 修正Recipe编辑器重新打开后，已打开的Recipe会消失的问题 - 修正PM Process视图的Recipe编辑器中所有参数显示为“-”的问题 - 修正账号编辑视图中无法更改密码的问题 - 新特性 - 新增单会话登录模式，当某用户在其它PC登录时，需要获得已登录PC的授权；当授权通过后，当前登录的PC会自动切换至Read-Only模式，仅能查看，不可能操作 - 角色账号存储文件迁移到新格式 ## Version 1.1.20.50 **2023-09-25** - Bug修复 - 修正Recipe单元格白名单功能不能工作的问题 - 新特性 - 微调TM视图中的按钮位置 - 优化Data History左侧列表中的水温名称 - Interlock Bypass分腔体单独控制 - Interlock表更新 - 新增不同Recipe数据曲线对比功能 - 删除PM DI0和DI7 (DO2、40、41、54、112-119、111的互锁 (为了开腔维护时间可以吹扫) - 修改V75V76和V72TVInterlock ## Version 1.1.19.49 **2023-09-04** - Bug修复 - 1:修改UPS相关现实内容（SC配置提示+DeviceView界面) - - 新特性 - 1:删除PM DI0和DI7 (DO2、40、41、54、112-119、111的互锁 (为了开腔维护时间可以吹扫) ## Version 1.1.18.48 **2023-09-01** - Bug修复 - 解决Mfc Ror测试过程中Mfc未在正确的位置设置Normal状态的BUG - 新特性 - ## Version 1.1.18.47 **2023-08-29** - Bug修复 - 系统配置中新增MFC60相关的配置参数，修正MFC60的Feedback和SetPoint差异超限后没有报警的问题。 - 修改加热带温度上限 - 新特性 - 添加Recipe实时修改功能 ## Version 1.1.18.46 **2023-08-21** - Bug修复 - 修正冷却水超温后没有产生Warning和Alarm信息的问题 - 修正log文件中缺少日志等级信息的问题 - 新特性 - PM2设备配置文件中增加PT9、PT10 Offset和K值设定 ## Version 1.1.17.45 **2023-08-16** - Bug修复 - 修正PMProcess界面中加载Recipe时，取值范围显示不对问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.1.17.44 **2023-08-14** - Bug修复 - 修正PM水温显示的一些问题 - 新特性 - Shutdown按钮增加控制权限，防止人为关闭整个系统 - 优化PM水温配置，水温名称现可通过配置文件调整 ## Version 1.1.16.42 **2023-08-09** - Bug修复 - 解决JobList查询数据错乱问题 - 新特性 - 优化新建Wafer ID名称过长 ## Version 1.1.16.41 **2023-08-03** - Bug修复 - 修正DataLog重新查询数据曲线时，上次设定的Factor和Offset没有生效的问题 - 新特性 - 移除PSU2控制输出幅度限制的功能 ## Version 1.1.15.40 **2023-08-03** - Bug修复 - 修复Recipe StepNo等工艺过程数据没有存储到数据库导致无法查询的问题 - 新特性 - PM Heater增加PSU2输出幅度上限生效温度设定 - PSU2輸出幅度下限跟随温度生效或取消 - Recipe中新增PSU2 Output Limit High参数，用于通过Recipe控制PSU2输出幅度上限（禁用） ## Version 1.1.14.38 **2023-08-02** - Bug修复 - 修正工艺过程数据（气体流量、耗电量）统计数值错误的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.1.13.37 **2023-08-02** - Bug修复 - 修正Wafer回到LL后，还未完成工艺，即蜂鸣器提示工艺结束的问题 - 修正 PM Operation视图中Heater电阻值显示精度不够的问题，现改为小数点后三位 - 新特性 - PSU2增加控制量输出幅度限制，当温度超过1600度时，控制输出幅度限制到设定值 - PM Process视图的工艺数据统计中新增耗电量统计 ## Version 1.1.12.36 **2023-07-28** - Bug修复 - 解决PM2 PT Offset和K的设定有误问题 - 新特性 - 切换蝶阀位置模式时，压力小于设定值则不能切换 - 蝶阀Disable时，设定对应模式的蝶阀默认值 - PM Routine蝶阀切换位置模式后增加延时 - PM Purge和Clean、LeakCheck Routine 取消循环中蝶阀的位置控到100流程 - 蝶阀控制位置模式启用RampRate - System Config默认值重新整理 - PM Operation视图增加加热器电阻值显示 - PM Process过程增加对加热器电阻值监测，当阻值超过上限后终止工艺 - 优化整理数据库代码 ## Version 1.1.12.35 **2023-07-24** - Bug修复 - 新特性 - 1.重新整理优化数据库代码 ## Version 1.0.12.34 **2023-07-20** - Bug修复 - 1：修正升级软件时新增权限实际值和设置值不一致的问题 - 2：修正Wafer控件中显示的Wafer编号太长时，Wafer会缩小的问题 - 3：TrayBelongTo属性在Buffer中设置后不更新问题，Tray不移动信息不保存问题 - 4：PLC报警问题优化 - 新特性 - 1：添加加热丝断路检测，在Receipe执行过程中检测 - 2：PM Purge开关Final阀增加V111控制 - 3：重写真值表实现方式 - 4：优化Coating界面查询效果，和一键设置PM功能 ## Version 1.0.11.33 **2023-07-05** - Bug修复 - - 新特性 - PM Interlock中DI-6替换为DI-7,DO_ProcessRunning增加DI-6条件 ## Version 1.0.11.32 **2023-07-03** - Bug修复 - 修正ProcessExit时的输出信息等级，由Warning更改为Info - 修正ProcessMonitor窗口打开时，Logout时没有自动关闭该窗口的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.10.31 **2023-07-03** - Bug修复 - 修正TM和LL的LeakCheckRoutine无法执行的问题 - 修正PM气体流量计算时，修正系数未生效的问题 - 新特性 - 新增工程模式，当互锁被旁路时进入工程模式，PM Online、手动启动工艺和PM退出Serivce模式将被限制 - LL Lid打开时输出信息等级由Warning更改为Info - PM Process结束，磁流体转速将为0后的输出信息等级由Warning更改为Info - 软件信息增加“GE Manual”字串，指示当前版本为通用手动版 ## Version 1.0.9.30 **2023-06-30** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 实用真值表方式计算流量统计 ## Version 1.0.9.29 **2023-06-29** - Bug修复 - 修正Sequence编辑器中无法保存Recipe的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.8.28 **2023-06-20** - Bug修复 - - 新特性 - 1.软件增加打开或关闭V94和V96阀时先将对应的MFC流量Ramp到0功能 - 2.PM界面DORPressVAC绑定由DI_DORPressATMSW改为DI_DORPressVacSW ## Version 1.0.7.27 **2023-06-19** - Bug修复 - - 新特性 - 系统配置参数增加一键设置传盘压力参数 ## Version 1.0.7.26 **2023-06-14** - Bug修复 - 软件启动时offset可能写入不成功，添加延时写入 - 修改水温报警绑定，界面状态指示灯对应的Sensor名称 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.7.25 **2023-06-14** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 支持指定PM或TM PLC控制三色灯 ## Version 1.0.7.24 **2023-06-14** - Bug修复 - 修正三色灯复位时可能导致程序异常的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.7.23 **2023-06-14** - Bug修复 - 修正Module卸载后仍然会触发报警的问题 - 修正Alarm和EventLog视图中的表格布局问题 - 新特性 - Recipe编辑器支持拖拽填充功能 ## Version 1.0.6.22 **2023-06-13** - Bug修复 - 1.解决偶尔PM腔加热被Disable的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.5.21 **2023-06-12** - Bug修复 - 1.解决偶尔PM腔加热被Disable的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.5.20 **2023-06-12** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1.将电阻检测的时间改为可配置 -2.将PLC无法访问已释放的对象报错由Alarm改为Info ## Version 1.0.5.19 **2023-06-11** - Bug修复 - 1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.5.18 **2023-06-11** - Bug修复 - 1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.5.17 **2023-06-10** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1.TMRobot与PM取放Tray时取消DI_HeaterTempLowLimitSW点条件限制 ## Version 1.0.5.16 **2023-06-09** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1.PreProcess时旋转后延时再升隔热罩改到PostTransfer Routine中 -2.修改MOExchange Routine到最新流程 -3.修改Purge流程，结束后M2M9M15-M26由设置到0改为设置到默认值，关闭J阀改为打开J阀 ## Version 1.0.5.15 **2023-06-09** - Bug修复 - 1.增加膜厚时，历史数据同步增加BUG修复(dll) - 2.修复测温未开启，测温对象为null时，Inner温度读取报错问题(dll) - 新特性 - 1.在工艺结束后添加膜厚检测 - 2.添加三点测温参数配置 - 3.修改提示项，增加提示内容(dll) - 4.解决LeakCheck查询结果重复问题 - 5.MFC27量程修改 - 6.增加PM Purge超时时间设置 - 7.设置Recipe Coating权限 ## Version 1.0.5.14 **2023-06-05** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1.PM磁流体增加设置速度大于0时，自动开启其Enable信号 - 2.PM Purge Routine增加到950mbar的超时时间参数 ## Version 1.0.5.12 **2023-06-03** - Bug修复 - 1:修正PM2蜂鸣器无法关闭问题 - 2:修改IO名称 - 3:修正构造函数中未初始化Module属性导致调用GetConfig失败的问题。 - 4:显示所有IO - 新特性 - 1:修改TM主界面中温度显示 ## Version 1.0.5.11 **2023-06-03** - Bug修复 - 修正Heater无法打开的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.5.9 **2023-06-01** - Bug修复 - 1:更新Dll，库中使用的是三个测温点，合并成兼容，只有8号机上有参数调控测温点数量 - 2:解决ATM模式下TMRobot和PM不能传盘问题 - 新特性 - 1:修改PM2报警信息，删除屏蔽的测试内容 ## Version 1.0.5.8 **2023-06-01** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1:修改动态流量默认值 - 2:修改三色灯配置文件中Blue未定义的警告 - 3:修改界面，TM-Device中UPS绑定的数据源 - 4:修改报警信息 - 5:修改库文件，IoTC支持PyroAuto和PyroFollow模式 - 6:删除气阀和MFC联动功能，TM V60 , PM V96 V94 - 7:自动关Vent阀取消VentMaxPressure要大于AtmPressureBase条件 - 8:Slit Valve开或关，超时时间从5秒更改到10秒 ## Version 1.0.5.7 **2023-05-31** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1:优化Coating界面,移植Coating数据库表设计 - 2:添加伴热监控点 ## Version 1.0.4.6 **2023-05-30** - Bug修复 - 修正系统Warning时，三色灯的绿灯亮起的问题 - 修正PM M28-M40各个压力下动态流量的默认值 - 修正Tray信息输入窗口的一些错误 - 新特性 - PT1和Interlock配置中改为使用实际压力值（AI_ActualPressure） - Recipe编辑器中隐藏Uid列 ## Version 1.0.3.5 **2023-05-29** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1:优化PM Purge和Clean Routine,循坏中伺服压力改为关闭EPV2等待压力到达设定值即可 ## Version 1.0.3.4 **2023-05-26** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1：设置PM相关MFC动态流量默认值 - 2: 更改日志格式，强制为utf-8编码 - 3：TM取放Tray温度参数合并 - 4：添加Coating功能 - 5：重写水温报警 - 6：隔热罩Interlock正价当前位置和Down位置比较 - 7：优化蜂鸣器重响逻辑 - 8：添加合并库 ## Version 1.0.2.3 **2023-04-25** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1.AutoRun流程按Sequence设置运行，未选择Buffer不在自动去Buffer层避让 - 2.若Sequence进PM前未选择Buffer,则TMRobot在Load取Wafer前根据系统配置 参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable; 3.若Sequence进PM前选择Buffer,则TMRobot在Buffer取Wafer前根据系统配置 参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable; 4.取消Sequence编辑界面中Buffer1,2,3层的选择显示 ## Version 1.0.1.2 **2023-04-13** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1：TM添加水管 - 2：优化AE报警提示 - 3: 更改IO名称，更改水温名称 - 4：不显示多余参数 - 5：添加水温Offset功能 ## Version 1.0.1.1 **2023-04-13** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1：从5号机更新到10号机 - 2：添加昂坤测温，PM1和PM2分别使用双通道Middle Outer - 3: 更改参数最大值范围