22 KiB
Sic Manual-GE 系统更新历史记录
Manual-GE 手动通用版(适用无EFEM设备)
Version 1.3.1.40718
2024-07-25
-
Bug修复 -解决Gem事件中传SequenceID和Recipe名称路径不对问题
-
新特性
Version 1.3.1.40717
2024-07-24
-
Bug修复
-
新特性
- 1.更新SECS/GEM通讯内容
Version 1.3.1.40716
2024-07-23
-
Bug修复
-
新特性
- 1.更新SECS/GEM通讯内容
Version 1.3.1.40715
2024-07-15
-
Bug修复
- 优化工艺过程中温度变化速率过快的检测逻辑,计算间隔更改为1s
-
新特性
2024-07-13
-
Bug修复
- 1.修改膜厚历史数据查询,传入日期格式
-
新特性
Version 1.3.2.40712
2024-07-12
- Bug修复
- 优化工艺过程中温度变化速率过快的检测逻辑,计算间隔更改为1s
- 修正系统配置界面右侧列表的宽度可能太宽,导致无法显示完整的问题
- 新特性
- 无
Version 1.3.1.40518
2024-07-06
-
Bug修复
- 1.修改膜厚历史数据查询,传入日期格式
- 2.修改IoTC中增加工艺过程中升温过快报警功能
-
新特性
Version 1.3.1.40517
2024-05-15
-
Bug修复
-
新特性
- 1.修改TCS补液逻辑,取消延时2秒补液
Version 1.3.1.40516
2024-05-16
-
Bug修复
- 修正CreateJob报错但系统仍进入AutoRunning状态Abort Disable导致无法Abort的问题
-
新特性
Version 1.3.1.40515
2024-05-15
-
Bug修复
- 修正PostProcess结束后DO-PostProcessRunning未设置false的问题
-
新特性
Version 1.3.1.40514
2024-05-13
-
Bug修复
-
新特性
- 1.将配置文件名称中带有()、/等字符还原
- 2.修改TCS补液逻辑,最高液位添加报警
Version 1.3.1.40513
2024-05-09
- Bug修复
- 修复Recipe编辑器中,无法将PSU、SCR模式更改为PryoAuto和PryoFollow的问题
- 新特性
- ecipe编辑器中,PSU、SCR模式名称变更为Auto和Follow
Version 1.3.1.40428
2024-05-09
-
Bug修复
- 新特性
- 1.增加SECS/GEM功能
Version 1.3.1.40427
2024-05-07
-
Bug修复
- 新特性
- 1.优化Job相关
Version 1.3.1.40426
2024-05-07
- Bug修复
- 1.修正Interlock有时不起作用的BUG
- 新特性
- 1.在PreProcess、Procss、PostProcess过程中检查对应的DO-PreProcessRunning、DO-ProcessRunning、DO-PostProcessRunning信号,
- 若为false则PM宕机
Version 1.3.1.40425
-
Bug修复
- 无
-
新特性
- TC控温模式名称变更为Power、Follow、Auto
- TC增加OP Limit限制设置,允许调整Pyro模式下PID整定输出幅度限制
- TCS补液时检测DO_AV_H,为False时报警提示
Version 1.3.1.40424
-
Bug修复 -修正PM Clean和Purge流程问题
- 修正Interlock有时存在不起作用的问题
-
新特性
- 增加PM在PreProcess,Process,PostProcess状态下不能降隔热罩的功能
- 新增TCS补液信号,补液时间或者补液DI信号任意满足停止补液
Version 1.3.1.40417
-
Bug修复
- 新特性
-
PM ProcessAbort增加将PSU和SCR设置为Power模式
Version 1.3.1.40326
-
Bug修复
- 新特性
- 重新整理WaferTrayInfo和WaferManager
- 修改PM Routine有关超时时间和压力到达条件判断
Version 1.3.1.40325
- Bug修复
- 修正RT启动时,PM DO-0互锁可能错误触发并产生警告的问题
- 修正Module状态指示器边框没有对齐的问题
- 新特性
- V43、V48手动打开时,检查当前载气是否为H2
Version 1.3.1.40316
-
Bug修复
- 新特性
- 1.RecipeEditorView和RecipeSelectView优化过滤功能
Version 1.3.1.40315
- Bug修复
- Process单步历史记录,非数据类型不进行处理
- 新特性
- 根据现场需求更新Process单步历史记录查询数据
Version 1.3.1.40314
- Bug修复
- 修正PM进入ProcessIdle、PostProcess和PostTransfer状态时,PSU和SCR加热模式可能设置错误的问题
- 新特性
- 无
Version 1.3.0.40313
- Bug修复
- 侧壁加热切回到Pyro前,检测上一步是不是Pyro,不是Pyro,对L3进行温度赋值
- 新特性
Version 1.3.0.40304
- Bug修复
- 修正PyroFollow模式下PSU1和PSU3没有跟随PSU2的问题。
- 新特性
- 无
Version 1.3.0.40229
- Bug修复
- 修复配置Maintain不生效的问题
- 新特性
- 触发部分按钮时,会触发MultiProcess提示,确认后继续进行动作
- MultiProcess暂时不限制Process数量(测试断线)
- 通讯周期修改为5s
1.3.0.40226
- Bug修复
- 修正TM、PM IO列表加载慢的问题
- 修正Operation Log的Filter全不选时查询,所有按钮变灰的问题
- 修正设备后台扫描函数Monitor()调度过于频繁的问题,限制到100Hz
- 新特性
- 新增当RT启动时,阻止系统自动休眠和关闭显示器的功能
- 新增数据库所在磁盘空间监测功能,剩余空间不足时报警
- 改进Data Trace工具,可捕获DO和AO的跳变
- 汉化功能
- 电子维护功能
- 版本号最后一位修改,例如40226,表示含义此版本生成于24年02月26日
Version 1.2.10.75
2024-02-22
- Bug修复
- 1.修复 数据库文件循环清理功能
- 新特性
- 1.PM新增DI-73,AI-26,AI-27点位
- 2.添加加热带温度监控,可配置报警等级
Version 1.2.10.74
2024-02-01
- Bug修复
- 1.添加TM DO09、DO13、DO15与DI-31的互锁
- 新特性
- 1.PM Interlock配置中移除DI-33
Version 1.2.10.73
2023-12-28
- Bug修复
- 修正工艺结束后,蜂鸣器提示无法自动关闭的问题
- 修正加载Interlock配置文件时,引发集合枚举时发生变化的异常的问题
- 新特性
- 隐藏SystemConfig中VaccumPressureBase参数
- 手动Purge各个模块不能修改SystemConfig相关参数值
- TV阀右击时新增Reset功能
Version 1.2.9.72
2023-12-22
- Bug修复
- 蝶阀StopRame改成将计时器停止
- 新特性
- 无
Version 1.2.9.71
2023-12-14
- Bug修复
- InterlockManager中Monitor扫描忽略翻转时,键值对集合中不包含对象时,continue当前循环
- 新特性
- 添加ProcessHistory历史记录查询
- 重新整理测温部分
Version 1.2.9.70
2023-12-14
- Bug修复
- 修复Recipe保存问题
- 新特性
- 无
Version 1.2.8.69
2023-12-08
- Bug修复
- 修正删除和另存为Recipe时,弹出空对话框的问题
- 修正新建Recipe时,默认保存上个打开的Recipe的内容的问题
- 修正Sequence编辑器中的Recipe文件名中没有显示其所在文件夹名称的问题
- 新特性
- 新增配置默认值,根据手动设备现场情况来设定,MFC5不安装、C2H4显示,
Version 1.2.8.68
2023-11-27
- Bug修复
- 修正DataLog查询日志时,时间排序可能错乱的问题
- 新特性
- PM新增DO-128 Interlock
- 添加Recipe快照压缩保存+历史数据选择对比
- 添加BypassEnableTable实时生效
- 添加PM右键时菜单
Version 1.2.7.67
2023-11-07
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 强制Recipe不保存到数据库
- 修改PMHeaterView界面标签名称
- 修改Purge中Vent超时时间,使用统一时间
- 添加Recipe对比功能
Version 1.2.7.66
2023-11-03
- Bug修复
- 无
- 新特性
- PM视图增加伴热带温度显示页面
- 启动工艺时检查伴热带开启状态,如果未开启,禁止启动工艺
- PM气路图增加PM名称显示
Version 1.2.6.65
2023-11-03
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 气柜加热带温度监控,使用单通道参数设置,在SC配置中PM.PM1.GasBoxTemp PM.PM2.GasBoxTemp
Version 1.2.6.64
2023-11-02
-
Bug修复
- 1.解决检测MFC流量报警时机偶尔不准确问题
-
新特性
Version 1.2.6.63
2023-10-31
-
Bug修复
- 1.解决MFC ROR测试重做上次MFC ROR流程的问题 -2.修改ROR M11配置文件的错误 -3.修改Clean流程
-
新特性
- 1.ROR时间间隔和基础压力可统一设置
Version 1.2.6.62
2023-10-18
- Bug修复
- 未Install的PM腔不进行online offline操作
- 修改TM Purge和Vent逻辑,在Vent最终压力的过程中检测是否开启快充流量
- 新特性
- 新增config配置对比功能,当配置被修改时,可以在配置界面右上角查看和筛选修改内容,支持回退操作;并且下次开启软件有提示
Version 1.2.5.61
2023-10-18
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 新增伊顿eaton UPS配置及监控,可在DEVICE界面查看
Version 1.2.5.60
2023-10-18
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 昂坤测温添加参数配置,扫描周期和时间平滑可配置
Version 1.2.4.59
2023-10-18
-
Bug修复
- 新特性
- PM K阀组增加V111控制
Version 1.2.4.58
2023-10-17
- Bug修复
- 修正Recipe编辑视图激活时顶部功能按钮可能被禁用的问题
- 新特性
- 新增允许从系统配置中关闭单会话登录模式的功能
Version 1.2.3.57
2023-10-14
- Bug修复
- 修正Recipe编辑器中选中文件夹后再次选择Recipe文件会提示Recipe发生更改的问题
- 修正Recipe编辑器中切换类型时可能无法正确弹出提示对话框的问题
- 修正Recipe编辑器激活时可能导致程序卡死的问题
- 新特性
- 无
Version 1.2.2.56
2023-10-13
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 允许将气柜伴热带温度上限设定为0,以屏蔽超温报警
Version 1.2.1.55
2023-10-13
- Bug修复
- 修复曲线数据查询中ChamberPressure与PT1数值不对应的问题
- 新特性
- 无
Version 1.2.1.54
2023-10-11
- Bug修复
- 无
- 新特性
- TM增加DO_TMCyclePurgeRoutineSuccessed,TM Purge后置为true,TM开腔后该DO置为false, TM Online时需检查该DO为true
Version 1.2.1.53
2023-10-10
- Bug修复
- TM purge时 vent延时绑定错误
- vent延时默认值改为10s,与pump延时一致
-
新特性
Version 1.2.1.52
2023-10-07
- Bug修复
- 修复Interlock项: do-100 和 do-49触发前 di-9 必须为0
- 修复 EFEM SlitValueRoutine 触发时提示文本缺失名称
- 新特性
- 新增 TM的interlock DO-47 48 17 8 10 12 14 16 要求对应腔体压差小于50
Version 1.2.0.51
2023-10-03
- Bug修复
- 修正Recipe单元格白名单功能不能工作的问题
- 修正Recipe编辑器重新打开后,已打开的Recipe会消失的问题
- 修正PM Process视图的Recipe编辑器中所有参数显示为“-”的问题
- 修正账号编辑视图中无法更改密码的问题
- 新特性
- 新增单会话登录模式,当某用户在其它PC登录时,需要获得已登录PC的授权;当授权通过后,当前登录的PC会自动切换至Read-Only模式,仅能查看,不可能操作
- 角色账号存储文件迁移到新格式
Version 1.1.20.50
2023-09-25
- Bug修复
- 修正Recipe单元格白名单功能不能工作的问题
- 新特性
- 微调TM视图中的按钮位置
- 优化Data History左侧列表中的水温名称
- Interlock Bypass分腔体单独控制
- Interlock表更新
- 新增不同Recipe数据曲线对比功能
- 删除PM DI0和DI7 (DO2、40、41、54、112-119、111的互锁 (为了开腔维护时间可以吹扫)
- 修改V75V76和V72TVInterlock
Version 1.1.19.49
2023-09-04
- Bug修复
- 1:修改UPS相关现实内容(SC配置提示+DeviceView界面)
- 新特性
- 1:删除PM DI0和DI7 (DO2、40、41、54、112-119、111的互锁 (为了开腔维护时间可以吹扫)
Version 1.1.18.48
2023-09-01
- Bug修复
- 解决Mfc Ror测试过程中Mfc未在正确的位置设置Normal状态的BUG
-
新特性
Version 1.1.18.47
2023-08-29
- Bug修复
- 系统配置中新增MFC60相关的配置参数,修正MFC60的Feedback和SetPoint差异超限后没有报警的问题。
- 修改加热带温度上限
- 新特性
- 添加Recipe实时修改功能
Version 1.1.18.46
2023-08-21
- Bug修复
- 修正冷却水超温后没有产生Warning和Alarm信息的问题
- 修正log文件中缺少日志等级信息的问题
- 新特性
- PM2设备配置文件中增加PT9、PT10 Offset和K值设定
Version 1.1.17.45
2023-08-16
- Bug修复
- 修正PMProcess界面中加载Recipe时,取值范围显示不对问题
- 新特性
- 无
Version 1.1.17.44
2023-08-14
- Bug修复
- 修正PM水温显示的一些问题
- 新特性
- Shutdown按钮增加控制权限,防止人为关闭整个系统
- 优化PM水温配置,水温名称现可通过配置文件调整
Version 1.1.16.42
2023-08-09
- Bug修复
- 解决JobList查询数据错乱问题
- 新特性
- 优化新建Wafer ID名称过长
Version 1.1.16.41
2023-08-03
- Bug修复
- 修正DataLog重新查询数据曲线时,上次设定的Factor和Offset没有生效的问题
- 新特性
- 移除PSU2控制输出幅度限制的功能
Version 1.1.15.40
2023-08-03
- Bug修复
- 修复Recipe StepNo等工艺过程数据没有存储到数据库导致无法查询的问题
- 新特性
- PM Heater增加PSU2输出幅度上限生效温度设定
- PSU2輸出幅度下限跟随温度生效或取消
- Recipe中新增PSU2 Output Limit High参数,用于通过Recipe控制PSU2输出幅度上限(禁用)
Version 1.1.14.38
2023-08-02
- Bug修复
- 修正工艺过程数据(气体流量、耗电量)统计数值错误的问题
- 新特性
- 无
Version 1.1.13.37
2023-08-02
- Bug修复
- 修正Wafer回到LL后,还未完成工艺,即蜂鸣器提示工艺结束的问题
- 修正 PM Operation视图中Heater电阻值显示精度不够的问题,现改为小数点后三位
- 新特性
- PSU2增加控制量输出幅度限制,当温度超过1600度时,控制输出幅度限制到设定值
- PM Process视图的工艺数据统计中新增耗电量统计
Version 1.1.12.36
2023-07-28
-
Bug修复
- 解决PM2 PT Offset和K的设定有误问题
-
新特性
- 切换蝶阀位置模式时,压力小于设定值则不能切换
- 蝶阀Disable时,设定对应模式的蝶阀默认值
- PM Routine蝶阀切换位置模式后增加延时
- PM Purge和Clean、LeakCheck Routine 取消循环中蝶阀的位置控到100流程
- 蝶阀控制位置模式启用RampRate
- System Config默认值重新整理
- PM Operation视图增加加热器电阻值显示
- PM Process过程增加对加热器电阻值监测,当阻值超过上限后终止工艺
- 优化整理数据库代码
Version 1.1.12.35
2023-07-24
-
Bug修复
-
新特性
- 1.重新整理优化数据库代码
Version 1.0.12.34
2023-07-20
- Bug修复
- 1:修正升级软件时新增权限实际值和设置值不一致的问题
- 2:修正Wafer控件中显示的Wafer编号太长时,Wafer会缩小的问题
- 3:TrayBelongTo属性在Buffer中设置后不更新问题,Tray不移动信息不保存问题
- 4:PLC报警问题优化
- 新特性
- 1:添加加热丝断路检测,在Receipe执行过程中检测
- 2:PM Purge开关Final阀增加V111控制
- 3:重写真值表实现方式
- 4:优化Coating界面查询效果,和一键设置PM功能
Version 1.0.11.33
2023-07-05
-
Bug修复
- 新特性
- PM Interlock中DI-6替换为DI-7,DO_ProcessRunning增加DI-6条件
Version 1.0.11.32
2023-07-03
- Bug修复
- 修正ProcessExit时的输出信息等级,由Warning更改为Info
- 修正ProcessMonitor窗口打开时,Logout时没有自动关闭该窗口的问题
- 新特性
- 无
Version 1.0.10.31
2023-07-03
- Bug修复
- 修正TM和LL的LeakCheckRoutine无法执行的问题
- 修正PM气体流量计算时,修正系数未生效的问题
- 新特性
- 新增工程模式,当互锁被旁路时进入工程模式,PM Online、手动启动工艺和PM退出Serivce模式将被限制
- LL Lid打开时输出信息等级由Warning更改为Info
- PM Process结束,磁流体转速将为0后的输出信息等级由Warning更改为Info
- 软件信息增加“GE Manual”字串,指示当前版本为通用手动版
Version 1.0.9.30
2023-06-30
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 实用真值表方式计算流量统计
Version 1.0.9.29
2023-06-29
- Bug修复
- 修正Sequence编辑器中无法保存Recipe的问题
- 新特性
- 无
Version 1.0.8.28
2023-06-20
-
Bug修复
- 新特性
- 1.软件增加打开或关闭V94和V96阀时先将对应的MFC流量Ramp到0功能
- 2.PM界面DORPressVAC绑定由DI_DORPressATMSW改为DI_DORPressVacSW
Version 1.0.7.27
2023-06-19
-
Bug修复
- 新特性
- 系统配置参数增加一键设置传盘压力参数
Version 1.0.7.26
2023-06-14
- Bug修复
- 软件启动时offset可能写入不成功,添加延时写入
- 修改水温报警绑定,界面状态指示灯对应的Sensor名称
- 新特性
- 无
Version 1.0.7.25
2023-06-14
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 支持指定PM或TM PLC控制三色灯
Version 1.0.7.24
2023-06-14
- Bug修复
- 修正三色灯复位时可能导致程序异常的问题
- 新特性
- 无
Version 1.0.7.23
2023-06-14
- Bug修复
- 修正Module卸载后仍然会触发报警的问题
- 修正Alarm和EventLog视图中的表格布局问题
- 新特性
- Recipe编辑器支持拖拽填充功能
Version 1.0.6.22
2023-06-13
- Bug修复
- 1.解决偶尔PM腔加热被Disable的问题
- 新特性
- 无
Version 1.0.5.21
2023-06-12
- Bug修复
- 1.解决偶尔PM腔加热被Disable的问题
- 新特性
- 无
Version 1.0.5.20
2023-06-12
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1.将电阻检测的时间改为可配置 -2.将PLC无法访问已释放的对象报错由Alarm改为Info
Version 1.0.5.19
2023-06-11
- Bug修复
- 1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0
- 新特性
- 无
Version 1.0.5.18
2023-06-11
- Bug修复
- 1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0
- 新特性
- 无
Version 1.0.5.17
2023-06-10
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1.TMRobot与PM取放Tray时取消DI_HeaterTempLowLimitSW点条件限制
Version 1.0.5.16
2023-06-09
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1.PreProcess时旋转后延时再升隔热罩改到PostTransfer Routine中 -2.修改MOExchange Routine到最新流程 -3.修改Purge流程,结束后M2M9M15-M26由设置到0改为设置到默认值,关闭J阀改为打开J阀
Version 1.0.5.15
2023-06-09
- Bug修复
- 1.增加膜厚时,历史数据同步增加BUG修复(dll)
- 2.修复测温未开启,测温对象为null时,Inner温度读取报错问题(dll)
- 新特性
- 1.在工艺结束后添加膜厚检测
- 2.添加三点测温参数配置
- 3.修改提示项,增加提示内容(dll)
- 4.解决LeakCheck查询结果重复问题
- 5.MFC27量程修改
- 6.增加PM Purge超时时间设置
- 7.设置Recipe Coating权限
Version 1.0.5.14
2023-06-05
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1.PM磁流体增加设置速度大于0时,自动开启其Enable信号
- 2.PM Purge Routine增加到950mbar的超时时间参数
Version 1.0.5.12
2023-06-03
- Bug修复
- 1:修正PM2蜂鸣器无法关闭问题
- 2:修改IO名称
- 3:修正构造函数中未初始化Module属性导致调用GetConfig失败的问题。
- 4:显示所有IO
- 新特性
- 1:修改TM主界面中温度显示
Version 1.0.5.11
2023-06-03
- Bug修复
- 修正Heater无法打开的问题
- 新特性
- 无
Version 1.0.5.9
2023-06-01
- Bug修复
- 1:更新Dll,库中使用的是三个测温点,合并成兼容,只有8号机上有参数调控测温点数量
- 2:解决ATM模式下TMRobot和PM不能传盘问题
- 新特性
- 1:修改PM2报警信息,删除屏蔽的测试内容
Version 1.0.5.8
2023-06-01
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:修改动态流量默认值
- 2:修改三色灯配置文件中Blue未定义的警告
- 3:修改界面,TM-Device中UPS绑定的数据源
- 4:修改报警信息
- 5:修改库文件,IoTC支持PyroAuto和PyroFollow模式
- 6:删除气阀和MFC联动功能,TM V60 , PM V96 V94
- 7:自动关Vent阀取消VentMaxPressure要大于AtmPressureBase条件
- 8:Slit Valve开或关,超时时间从5秒更改到10秒
Version 1.0.5.7
2023-05-31
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:优化Coating界面,移植Coating数据库表设计
- 2:添加伴热监控点
Version 1.0.4.6
2023-05-30
- Bug修复
- 修正系统Warning时,三色灯的绿灯亮起的问题
- 修正PM M28-M40各个压力下动态流量的默认值
- 修正Tray信息输入窗口的一些错误
- 新特性
- PT1和Interlock配置中改为使用实际压力值(AI_ActualPressure)
- Recipe编辑器中隐藏Uid列
Version 1.0.3.5
2023-05-29
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:优化PM Purge和Clean Routine,循坏中伺服压力改为关闭EPV2等待压力到达设定值即可
Version 1.0.3.4
2023-05-26
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:设置PM相关MFC动态流量默认值
- 2: 更改日志格式,强制为utf-8编码
- 3:TM取放Tray温度参数合并
- 4:添加Coating功能
- 5:重写水温报警
- 6:隔热罩Interlock正价当前位置和Down位置比较
- 7:优化蜂鸣器重响逻辑
- 8:添加合并库
Version 1.0.2.3
2023-04-25
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1.AutoRun流程按Sequence设置运行,未选择Buffer不在自动去Buffer层避让
- 2.若Sequence进PM前未选择Buffer,则TMRobot在Load取Wafer前根据系统配置 参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable; 3.若Sequence进PM前选择Buffer,则TMRobot在Buffer取Wafer前根据系统配置 参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable; 4.取消Sequence编辑界面中Buffer1,2,3层的选择显示
Version 1.0.1.2
2023-04-13
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:TM添加水管
- 2:优化AE报警提示
- 3: 更改IO名称,更改水温名称
- 4:不显示多余参数
- 5:添加水温Offset功能
Version 1.0.1.1
2023-04-13
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:从5号机更新到10号机
- 2:添加昂坤测温,PM1和PM2分别使用双通道Middle Outer
- 3: 更改参数最大值范围