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Base
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1.添加Mfc Ror测试功能
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2023-07-04 13:07:38 +08:00 |
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Recipe
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1.整理WaferInfo类
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2023-08-10 15:54:46 +08:00 |
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PMButttomSectionMoveRoutine.cs
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SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。
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2023-05-11 10:38:59 +08:00 |
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PMChamberMoveBodyRoutine.cs
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1.关腔最后增加关闭V76、打开V75操作
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2023-07-05 13:32:46 +08:00 |
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PMCleanRoutine.cs
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1.PM Routine蝶阀切换位置模式后增加延时
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2023-07-28 14:55:07 +08:00 |
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PMExchangeMoRoutine.cs
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1.修改MOExchange Routine到最新流程
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2023-06-09 16:56:18 +08:00 |
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PMHomeRoutine.cs
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SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。
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2023-05-11 10:38:59 +08:00 |
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PMLeakCheckRoutine.cs
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1.修改LeakCheck
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2023-08-17 15:40:43 +08:00 |
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PMMfcRorRoutine.cs
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解决Mfc Ror测试过程中Mfc未在正确的位置设置Normal状态的BUG
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2023-09-01 15:46:51 +08:00 |
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PMPcCalibrationRoutine.cs
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SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。
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2023-05-11 10:38:59 +08:00 |
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PMPostTransferRoutine.cs
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1.PreProcess时旋转后延时再升隔热罩改到PostTransfer Routine中
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2023-06-09 16:41:06 +08:00 |
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PMPrepareTransferRoutine.cs
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SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。
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2023-05-11 10:38:59 +08:00 |
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PMProcessAbortRoutine.cs
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SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。
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2023-05-11 10:38:59 +08:00 |
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PMProcessRoutine.cs
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1.整理WaferInfo类
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2023-08-10 15:54:46 +08:00 |
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PMPumpRoutine.cs
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1.按照EFEM PM Routine优化PM Routine，防止飞片
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2023-05-11 13:45:18 +08:00 |
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PMPurgeRoutine.cs
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1.PM Purge超时时间设置为600s
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2023-08-10 11:11:31 +08:00 |
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PMServoToPressure.cs
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SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。
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2023-05-11 10:38:59 +08:00 |
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PMStopHeatEnableRoutine.cs
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SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。
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2023-05-11 10:38:59 +08:00 |
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PMToAtmIdleRoutine.cs
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1.按照EFEM PM Routine优化PM Routine，防止飞片
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2023-05-11 13:45:18 +08:00 |
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PMToIsolationRoutine.cs
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SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。
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2023-05-11 10:38:59 +08:00 |
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PMToProcessIdleRoutine.cs
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更新库文件（Commit 2bccbb1）
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2023-06-01 17:32:31 +08:00 |
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PMVacIdleRoutine.cs
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SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。
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2023-05-11 10:38:59 +08:00 |
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PMVentRoutine.cs
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1.按照EFEM PM Routine优化PM Routine，防止飞片
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2023-05-11 13:45:18 +08:00 |
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