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Sic10
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Raw Blame History

Sic Manual-GE 系统更新历史记录

Manual-GE 手动通用版（适用无EFEM设备）

Version 1.1.14.38

2023-08-02

  • Bug修复
    • 修正工艺过程数据（气体流量、耗电量）统计数值错误的问题
  • 新特性
    • 无

Version 1.1.13.37

2023-08-02

  • Bug修复
    • 修正Wafer回到LL后，还未完成工艺，即蜂鸣器提示工艺结束的问题
    • 修正 PM Operation视图中Heater电阻值显示精度不够的问题，现改为小数点后三位
  • 新特性
    • PSU2增加控制量输出幅度限制，当温度超过1600度时，控制输出幅度限制到设定值
    • PM Process视图的工艺数据统计中新增耗电量统计

Version 1.1.12.36

2023-07-28

  • Bug修复

    • 解决PM2 PT Offset和K的设定有误问题

  • 新特性

    • 切换蝶阀位置模式时，压力小于设定值则不能切换
    • 蝶阀Disable时，设定对应模式的蝶阀默认值
    • PM Routine蝶阀切换位置模式后增加延时
    • PM Purge和Clean、LeakCheck Routine 取消循环中蝶阀的位置控到100流程
    • 蝶阀控制位置模式启用RampRate
    • System Config默认值重新整理
    • PM Operation视图增加加热器电阻值显示
    • PM Process过程增加对加热器电阻值监测，当阻值超过上限后终止工艺
    • 优化整理数据库代码

Version 1.1.12.35

2023-07-24

  • Bug修复

  • 新特性

    • 1.重新整理优化数据库代码

Version 1.0.12.34

2023-07-20

  • Bug修复
    • 1：修正升级软件时新增权限实际值和设置值不一致的问题
    • 2：修正Wafer控件中显示的Wafer编号太长时，Wafer会缩小的问题
    • 3：TrayBelongTo属性在Buffer中设置后不更新问题，Tray不移动信息不保存问题
    • 4：PLC报警问题优化
  • 新特性
    • 1：添加加热丝断路检测，在Receipe执行过程中检测
    • 2：PM Purge开关Final阀增加V111控制
    • 3：重写真值表实现方式
    • 4：优化Coating界面查询效果，和一键设置PM功能

Version 1.0.11.33

2023-07-05

  • Bug修复

  • 新特性
    • PM Interlock中DI-6替换为DI-7,DO_ProcessRunning增加DI-6条件

Version 1.0.11.32

2023-07-03

  • Bug修复
    • 修正ProcessExit时的输出信息等级，由Warning更改为Info
    • 修正ProcessMonitor窗口打开时，Logout时没有自动关闭该窗口的问题
  • 新特性
    • 无

Version 1.0.10.31

2023-07-03

  • Bug修复
    • 修正TM和LL的LeakCheckRoutine无法执行的问题
    • 修正PM气体流量计算时，修正系数未生效的问题
  • 新特性
    • 新增工程模式，当互锁被旁路时进入工程模式，PM Online、手动启动工艺和PM退出Serivce模式将被限制
    • LL Lid打开时输出信息等级由Warning更改为Info
    • PM Process结束，磁流体转速将为0后的输出信息等级由Warning更改为Info
    • 软件信息增加“GE Manual”字串，指示当前版本为通用手动版

Version 1.0.9.30

2023-06-30

  • Bug修复
    • 无
  • 新特性
    • 实用真值表方式计算流量统计

Version 1.0.9.29

2023-06-29

  • Bug修复
    • 修正Sequence编辑器中无法保存Recipe的问题
  • 新特性
    • 无

Version 1.0.8.28

2023-06-20

  • Bug修复

  • 新特性
    • 1.软件增加打开或关闭V94和V96阀时先将对应的MFC流量Ramp到0功能
    • 2.PM界面DORPressVAC绑定由DI_DORPressATMSW改为DI_DORPressVacSW

Version 1.0.7.27

2023-06-19

  • Bug修复

  • 新特性
    • 系统配置参数增加一键设置传盘压力参数

Version 1.0.7.26

2023-06-14

  • Bug修复
    • 软件启动时offset可能写入不成功，添加延时写入
    • 修改水温报警绑定，界面状态指示灯对应的Sensor名称
  • 新特性
    • 无

Version 1.0.7.25

2023-06-14

  • Bug修复
    • 无
  • 新特性
    • 支持指定PM或TM PLC控制三色灯

Version 1.0.7.24

2023-06-14

  • Bug修复
    • 修正三色灯复位时可能导致程序异常的问题
  • 新特性
    • 无

Version 1.0.7.23

2023-06-14

  • Bug修复
    • 修正Module卸载后仍然会触发报警的问题
    • 修正Alarm和EventLog视图中的表格布局问题
  • 新特性
    • Recipe编辑器支持拖拽填充功能

Version 1.0.6.22

2023-06-13

  • Bug修复
    • 1.解决偶尔PM腔加热被Disable的问题
  • 新特性
    • 无

Version 1.0.5.21

2023-06-12

  • Bug修复
    • 1.解决偶尔PM腔加热被Disable的问题
  • 新特性
    • 无

Version 1.0.5.20

2023-06-12

  • Bug修复
    • 无
  • 新特性
    • 1.将电阻检测的时间改为可配置 -2.将PLC无法访问已释放的对象报错由Alarm改为Info

Version 1.0.5.19

2023-06-11

  • Bug修复
    • 1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0
  • 新特性
    • 无

Version 1.0.5.18

2023-06-11

  • Bug修复
    • 1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0
  • 新特性
    • 无

Version 1.0.5.17

2023-06-10

  • Bug修复
    • 无
  • 新特性
    • 1.TMRobot与PM取放Tray时取消DI_HeaterTempLowLimitSW点条件限制

Version 1.0.5.16

2023-06-09

  • Bug修复
    • 无
  • 新特性
    • 1.PreProcess时旋转后延时再升隔热罩改到PostTransfer Routine中 -2.修改MOExchange Routine到最新流程 -3.修改Purge流程，结束后M2M9M15-M26由设置到0改为设置到默认值，关闭J阀改为打开J阀

Version 1.0.5.15

2023-06-09

  • Bug修复
    • 1.增加膜厚时，历史数据同步增加BUG修复(dll)
    • 2.修复测温未开启，测温对象为null时，Inner温度读取报错问题(dll)
  • 新特性
    • 1.在工艺结束后添加膜厚检测
    • 2.添加三点测温参数配置
    • 3.修改提示项，增加提示内容(dll)
    • 4.解决LeakCheck查询结果重复问题
    • 5.MFC27量程修改
    • 6.增加PM Purge超时时间设置
    • 7.设置Recipe Coating权限

Version 1.0.5.14

2023-06-05

  • Bug修复
    • 无
  • 新特性
    • 1.PM磁流体增加设置速度大于0时，自动开启其Enable信号
    • 2.PM Purge Routine增加到950mbar的超时时间参数

Version 1.0.5.12

2023-06-03

  • Bug修复
    • 1:修正PM2蜂鸣器无法关闭问题
    • 2:修改IO名称
    • 3:修正构造函数中未初始化Module属性导致调用GetConfig失败的问题。
    • 4:显示所有IO
  • 新特性
    • 1:修改TM主界面中温度显示

Version 1.0.5.11

2023-06-03

  • Bug修复
    • 修正Heater无法打开的问题
  • 新特性
    • 无

Version 1.0.5.9

2023-06-01

  • Bug修复
    • 1:更新Dll，库中使用的是三个测温点，合并成兼容，只有8号机上有参数调控测温点数量
    • 2:解决ATM模式下TMRobot和PM不能传盘问题
  • 新特性
    • 1:修改PM2报警信息，删除屏蔽的测试内容

Version 1.0.5.8

2023-06-01

  • Bug修复
    • 无
  • 新特性
    • 1:修改动态流量默认值
    • 2:修改三色灯配置文件中Blue未定义的警告
    • 3:修改界面，TM-Device中UPS绑定的数据源
    • 4:修改报警信息
    • 5:修改库文件，IoTC支持PyroAuto和PyroFollow模式
    • 6:删除气阀和MFC联动功能，TM V60 , PM V96 V94
    • 7:自动关Vent阀取消VentMaxPressure要大于AtmPressureBase条件
    • 8:Slit Valve开或关，超时时间从5秒更改到10秒

Version 1.0.5.7

2023-05-31

  • Bug修复
    • 无
  • 新特性
    • 1:优化Coating界面,移植Coating数据库表设计
    • 2:添加伴热监控点

Version 1.0.4.6

2023-05-30

  • Bug修复
    • 修正系统Warning时，三色灯的绿灯亮起的问题
    • 修正PM M28-M40各个压力下动态流量的默认值
    • 修正Tray信息输入窗口的一些错误
  • 新特性
    • PT1和Interlock配置中改为使用实际压力值（AI_ActualPressure）
    • Recipe编辑器中隐藏Uid列

Version 1.0.3.5

2023-05-29

  • Bug修复
    • 无
  • 新特性
    • 1:优化PM Purge和Clean Routine,循坏中伺服压力改为关闭EPV2等待压力到达设定值即可

Version 1.0.3.4

2023-05-26

  • Bug修复
    • 无
  • 新特性
    • 1：设置PM相关MFC动态流量默认值
    • 2: 更改日志格式，强制为utf-8编码
    • 3：TM取放Tray温度参数合并
    • 4：添加Coating功能
    • 5：重写水温报警
    • 6：隔热罩Interlock正价当前位置和Down位置比较
    • 7：优化蜂鸣器重响逻辑
    • 8：添加合并库

Version 1.0.2.3

2023-04-25

  • Bug修复
    • 无
  • 新特性
    • 1.AutoRun流程按Sequence设置运行，未选择Buffer不在自动去Buffer层避让
    • 2.若Sequence进PM前未选择Buffer,则TMRobot在Load取Wafer前根据系统配置 参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable; 3.若Sequence进PM前选择Buffer,则TMRobot在Buffer取Wafer前根据系统配置 参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable; 4.取消Sequence编辑界面中Buffer1,2,3层的选择显示

Version 1.0.1.2

2023-04-13

  • Bug修复
    • 无
  • 新特性
    • 1：TM添加水管
    • 2：优化AE报警提示
    • 3: 更改IO名称，更改水温名称
    • 4：不显示多余参数
    • 5：添加水温Offset功能

Version 1.0.1.1

2023-04-13

  • Bug修复
    • 无
  • 新特性
    • 1：从5号机更新到10号机
    • 2：添加昂坤测温，PM1和PM2分别使用双通道Middle Outer
    • 3: 更改参数最大值范围