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# Sic Manual-GE 系统更新历史记录
Manual-GE 手动通用版（适用无EFEM设备）
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## Version 1.1.14.38
**2023-08-02**
- Bug修复
- 修正工艺过程数据（气体流量、耗电量）统计数值错误的问题
- 新特性
- 无
## Version 1.1.13.37
**2023-08-02**
- Bug修复
- 修正Wafer回到LL后，还未完成工艺，即蜂鸣器提示工艺结束的问题
- 修正 PM Operation视图中Heater电阻值显示精度不够的问题，现改为小数点后三位
- 新特性
- PSU2增加控制量输出幅度限制，当温度超过1600度时，控制输出幅度限制到设定值
- PM Process视图的工艺数据统计中新增耗电量统计
## Version 1.1.12.36
**2023-07-28**
- Bug修复
- 解决PM2 PT Offset和K的设定有误问题
- 新特性
- 切换蝶阀位置模式时，压力小于设定值则不能切换
- 蝶阀Disable时，设定对应模式的蝶阀默认值
- PM Routine蝶阀切换位置模式后增加延时
- PM Purge和Clean、LeakCheck Routine 取消循环中蝶阀的位置控到100流程
- 蝶阀控制位置模式启用RampRate
- System Config默认值重新整理
- PM Operation视图增加加热器电阻值显示
- PM Process过程增加对加热器电阻值监测，当阻值超过上限后终止工艺
- 优化整理数据库代码
## Version 1.1.12.35
**2023-07-24**
- Bug修复
- 新特性
- 1.重新整理优化数据库代码
## Version 1.0.12.34
**2023-07-20**
- Bug修复
- 1：修正升级软件时新增权限实际值和设置值不一致的问题
- 2：修正Wafer控件中显示的Wafer编号太长时，Wafer会缩小的问题
- 3：TrayBelongTo属性在Buffer中设置后不更新问题，Tray不移动信息不保存问题
- 4：PLC报警问题优化
- 新特性
- 1：添加加热丝断路检测，在Receipe执行过程中检测
- 2：PM Purge开关Final阀增加V111控制
- 3：重写真值表实现方式
- 4：优化Coating界面查询效果，和一键设置PM功能
## Version 1.0.11.33
**2023-07-05**
- Bug修复
-
- 新特性
- PM Interlock中DI-6替换为DI-7,DO_ProcessRunning增加DI-6条件
## Version 1.0.11.32
**2023-07-03**
- Bug修复
- 修正ProcessExit时的输出信息等级，由Warning更改为Info
- 修正ProcessMonitor窗口打开时，Logout时没有自动关闭该窗口的问题
- 新特性
- 无
## Version 1.0.10.31
**2023-07-03**
- Bug修复
- 修正TM和LL的LeakCheckRoutine无法执行的问题
- 修正PM气体流量计算时，修正系数未生效的问题
- 新特性
- 新增工程模式，当互锁被旁路时进入工程模式，PM Online、手动启动工艺和PM退出Serivce模式将被限制
- LL Lid打开时输出信息等级由Warning更改为Info
- PM Process结束，磁流体转速将为0后的输出信息等级由Warning更改为Info
- 软件信息增加“GE Manual”字串，指示当前版本为通用手动版
## Version 1.0.9.30
**2023-06-30**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 实用真值表方式计算流量统计
## Version 1.0.9.29
**2023-06-29**
- Bug修复
- 修正Sequence编辑器中无法保存Recipe的问题
- 新特性
- 无
## Version 1.0.8.28
**2023-06-20**
- Bug修复
-
- 新特性
- 1.软件增加打开或关闭V94和V96阀时先将对应的MFC流量Ramp到0功能
- 2.PM界面DORPressVAC绑定由DI_DORPressATMSW改为DI_DORPressVacSW
## Version 1.0.7.27
**2023-06-19**
- Bug修复
-
- 新特性
- 系统配置参数增加一键设置传盘压力参数
## Version 1.0.7.26
**2023-06-14**
- Bug修复
- 软件启动时offset可能写入不成功，添加延时写入
- 修改水温报警绑定，界面状态指示灯对应的Sensor名称
- 新特性
- 无
## Version 1.0.7.25
**2023-06-14**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 支持指定PM或TM PLC控制三色灯
## Version 1.0.7.24
**2023-06-14**
- Bug修复
- 修正三色灯复位时可能导致程序异常的问题
- 新特性
- 无
## Version 1.0.7.23
**2023-06-14**
- Bug修复
- 修正Module卸载后仍然会触发报警的问题
- 修正Alarm和EventLog视图中的表格布局问题
- 新特性
- Recipe编辑器支持拖拽填充功能
## Version 1.0.6.22
**2023-06-13**
- Bug修复
- 1.解决偶尔PM腔加热被Disable的问题
- 新特性
- 无
## Version 1.0.5.21
**2023-06-12**
- Bug修复
- 1.解决偶尔PM腔加热被Disable的问题
- 新特性
- 无
## Version 1.0.5.20
**2023-06-12**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1.将电阻检测的时间改为可配置
-2.将PLC无法访问已释放的对象报错由Alarm改为Info
## Version 1.0.5.19
**2023-06-11**
- Bug修复
- 1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0
- 新特性
- 无
## Version 1.0.5.18
**2023-06-11**
- Bug修复
- 1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0
- 新特性
- 无
## Version 1.0.5.17
**2023-06-10**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1.TMRobot与PM取放Tray时取消DI_HeaterTempLowLimitSW点条件限制
## Version 1.0.5.16
**2023-06-09**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1.PreProcess时旋转后延时再升隔热罩改到PostTransfer Routine中
-2.修改MOExchange Routine到最新流程
-3.修改Purge流程，结束后M2M9M15-M26由设置到0改为设置到默认值，关闭J阀改为打开J阀
## Version 1.0.5.15
**2023-06-09**
- Bug修复
- 1.增加膜厚时，历史数据同步增加BUG修复(dll)
- 2.修复测温未开启，测温对象为null时，Inner温度读取报错问题(dll)
- 新特性
- 1.在工艺结束后添加膜厚检测
- 2.添加三点测温参数配置
- 3.修改提示项，增加提示内容(dll)
- 4.解决LeakCheck查询结果重复问题
- 5.MFC27量程修改
- 6.增加PM Purge超时时间设置
- 7.设置Recipe Coating权限
## Version 1.0.5.14
**2023-06-05**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1.PM磁流体增加设置速度大于0时，自动开启其Enable信号
- 2.PM Purge Routine增加到950mbar的超时时间参数
## Version 1.0.5.12
**2023-06-03**
- Bug修复
- 1:修正PM2蜂鸣器无法关闭问题
- 2:修改IO名称
- 3:修正构造函数中未初始化Module属性导致调用GetConfig失败的问题。
- 4:显示所有IO
- 新特性
- 1:修改TM主界面中温度显示
## Version 1.0.5.11
**2023-06-03**
- Bug修复
- 修正Heater无法打开的问题
- 新特性
- 无
## Version 1.0.5.9
**2023-06-01**
- Bug修复
- 1:更新Dll，库中使用的是三个测温点，合并成兼容，只有8号机上有参数调控测温点数量
- 2:解决ATM模式下TMRobot和PM不能传盘问题
- 新特性
- 1:修改PM2报警信息，删除屏蔽的测试内容
## Version 1.0.5.8
**2023-06-01**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:修改动态流量默认值
- 2:修改三色灯配置文件中Blue未定义的警告
- 3:修改界面，TM-Device中UPS绑定的数据源
- 4:修改报警信息
- 5:修改库文件，IoTC支持PyroAuto和PyroFollow模式
- 6:删除气阀和MFC联动功能，TM V60 , PM V96 V94
- 7:自动关Vent阀取消VentMaxPressure要大于AtmPressureBase条件
- 8:Slit Valve开或关，超时时间从5秒更改到10秒
## Version 1.0.5.7
**2023-05-31**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:优化Coating界面,移植Coating数据库表设计
- 2:添加伴热监控点
## Version 1.0.4.6
**2023-05-30**
- Bug修复
- 修正系统Warning时，三色灯的绿灯亮起的问题
- 修正PM M28-M40各个压力下动态流量的默认值
- 修正Tray信息输入窗口的一些错误
- 新特性
- PT1和Interlock配置中改为使用实际压力值（AI_ActualPressure）
- Recipe编辑器中隐藏Uid列
## Version 1.0.3.5
**2023-05-29**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:优化PM Purge和Clean Routine,循坏中伺服压力改为关闭EPV2等待压力到达设定值即可
## Version 1.0.3.4
**2023-05-26**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1：设置PM相关MFC动态流量默认值
- 2: 更改日志格式，强制为utf-8编码
- 3：TM取放Tray温度参数合并
- 4：添加Coating功能
- 5：重写水温报警
- 6：隔热罩Interlock正价当前位置和Down位置比较
- 7：优化蜂鸣器重响逻辑
- 8：添加合并库
## Version 1.0.2.3
**2023-04-25**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1.AutoRun流程按Sequence设置运行，未选择Buffer不在自动去Buffer层避让
- 2.若Sequence进PM前未选择Buffer,则TMRobot在Load取Wafer前根据系统配置
参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable;
3.若Sequence进PM前选择Buffer,则TMRobot在Buffer取Wafer前根据系统配置
参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable;
4.取消Sequence编辑界面中Buffer1,2,3层的选择显示
## Version 1.0.1.2
**2023-04-13**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1：TM添加水管
- 2：优化AE报警提示
- 3: 更改IO名称，更改水温名称
- 4：不显示多余参数
- 5：添加水温Offset功能
## Version 1.0.1.1
**2023-04-13**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1：从5号机更新到10号机
- 2：添加昂坤测温，PM1和PM2分别使用双通道Middle Outer
- 3: 更改参数最大值范围
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