Sic10/SicRT/ReleaseNotes.md

Sic Manual-GE 系统更新历史记录

Manual-GE 手动通用版（适用无EFEM设备）

---

Version 1.2.9.73

2023-12-28

• Bug修复

• 新特性 1.隐藏SystemConfig中VaccumPressureBase参数 2.手动Purge各个模块不能修改SystemConfig相关参数值

Version 1.2.9.72

2023-12-22

• Bug修复
  • 蝶阀StopRame改成将计时器停止

• 新特性

Version 1.2.9.71

2023-12-14

• Bug修复
  • InterlockManager中Monitor扫描忽略翻转时，键值对集合中不包含对象时，continue当前循环
• 新特性
  • 添加ProcessHistory历史记录查询
  • 重新整理测温部分

Version 1.2.9.70

2023-12-14

• Bug修复
  • 修复Recipe保存问题
• 新特性
  • 无

Version 1.2.8.69

2023-12-08

• Bug修复
  • 修正删除和另存为Recipe时，弹出空对话框的问题
  • 修正新建Recipe时，默认保存上个打开的Recipe的内容的问题
  • 修正Sequence编辑器中的Recipe文件名中没有显示其所在文件夹名称的问题
• 新特性
  • 新增配置默认值，根据手动设备现场情况来设定，MFC5不安装、C2H4显示，

Version 1.2.8.68

2023-11-27

• Bug修复
  • 修正DataLog查询日志时，时间排序可能错乱的问题
• 新特性
  • PM新增DO-128 Interlock
  • 添加Recipe快照压缩保存+历史数据选择对比
  • 添加BypassEnableTable实时生效
  • 添加PM右键时菜单

Version 1.2.7.67

2023-11-07

• Bug修复
  • 无
• 新特性
  • 强制Recipe不保存到数据库
  • 修改PMHeaterView界面标签名称
  • 修改Purge中Vent超时时间，使用统一时间
  • 添加Recipe对比功能

Version 1.2.7.66

2023-11-03

• Bug修复
  • 无
• 新特性
  • PM视图增加伴热带温度显示页面
  • 启动工艺时检查伴热带开启状态，如果未开启，禁止启动工艺
  • PM气路图增加PM名称显示

Version 1.2.6.65

2023-11-03

• Bug修复
  • 无
• 新特性
  • 气柜加热带温度监控，使用单通道参数设置，在SC配置中PM.PM1.GasBoxTemp PM.PM2.GasBoxTemp

Version 1.2.6.64

2023-11-02

• Bug修复

  • 1.解决检测MFC流量报警时机偶尔不准确问题

• 新特性

Version 1.2.6.63

2023-10-31

• Bug修复

  • 1.解决MFC ROR测试重做上次MFC ROR流程的问题 -2.修改ROR M11配置文件的错误 -3.修改Clean流程

• 新特性

  • 1.ROR时间间隔和基础压力可统一设置

Version 1.2.6.62

2023-10-18

• Bug修复
  • 未Install的PM腔不进行online offline操作
  • 修改TM Purge和Vent逻辑，在Vent最终压力的过程中检测是否开启快充流量
• 新特性
  • 新增config配置对比功能，当配置被修改时，可以在配置界面右上角查看和筛选修改内容，支持回退操作；并且下次开启软件有提示

Version 1.2.5.61

2023-10-18

• Bug修复
  • 无
• 新特性
  • 新增伊顿eaton UPS配置及监控，可在DEVICE界面查看

Version 1.2.5.60

2023-10-18

• Bug修复
  • 无
• 新特性
  • 昂坤测温添加参数配置，扫描周期和时间平滑可配置

Version 1.2.4.59

2023-10-18

• Bug修复

• 新特性
  • PM K阀组增加V111控制

Version 1.2.4.58

2023-10-17

• Bug修复
  • 修正Recipe编辑视图激活时顶部功能按钮可能被禁用的问题
• 新特性
  • 新增允许从系统配置中关闭单会话登录模式的功能

Version 1.2.3.57

2023-10-14

• Bug修复
  • 修正Recipe编辑器中选中文件夹后再次选择Recipe文件会提示Recipe发生更改的问题
  • 修正Recipe编辑器中切换类型时可能无法正确弹出提示对话框的问题
  • 修正Recipe编辑器激活时可能导致程序卡死的问题
• 新特性
  • 无

Version 1.2.2.56

2023-10-13

• Bug修复
  • 无
• 新特性
  • 允许将气柜伴热带温度上限设定为0，以屏蔽超温报警

Version 1.2.1.55

2023-10-13

• Bug修复
  • 修复曲线数据查询中ChamberPressure与PT1数值不对应的问题
• 新特性
  • 无

Version 1.2.1.54

2023-10-11

• Bug修复
  • 无
• 新特性
  • TM增加DO_TMCyclePurgeRoutineSuccessed,TM Purge后置为true，TM开腔后该DO置为false， TM Online时需检查该DO为true

Version 1.2.1.53

2023-10-10

• Bug修复
  • TM purge时 vent延时绑定错误
  • vent延时默认值改为10s，与pump延时一致

• 新特性

Version 1.2.1.52

2023-10-07

• Bug修复
  • 修复Interlock项: do-100 和 do-49触发前 di-9 必须为0
  • 修复 EFEM SlitValueRoutine 触发时提示文本缺失名称
• 新特性
  • 新增 TM的interlock DO-47 48 17 8 10 12 14 16 要求对应腔体压差小于50

Version 1.2.0.51

2023-10-03

• Bug修复
  • 修正Recipe单元格白名单功能不能工作的问题
  • 修正Recipe编辑器重新打开后，已打开的Recipe会消失的问题
  • 修正PM Process视图的Recipe编辑器中所有参数显示为“-”的问题
  • 修正账号编辑视图中无法更改密码的问题
• 新特性
  • 新增单会话登录模式，当某用户在其它PC登录时，需要获得已登录PC的授权；当授权通过后，当前登录的PC会自动切换至Read-Only模式，仅能查看，不可能操作
  • 角色账号存储文件迁移到新格式

Version 1.1.20.50

2023-09-25

• Bug修复
  • 修正Recipe单元格白名单功能不能工作的问题
• 新特性
  • 微调TM视图中的按钮位置
  • 优化Data History左侧列表中的水温名称
  • Interlock Bypass分腔体单独控制
  • Interlock表更新
  • 新增不同Recipe数据曲线对比功能
  • 删除PM DI0和DI7 (DO2、40、41、54、112-119、111的互锁 (为了开腔维护时间可以吹扫)
  • 修改V75V76和V72TVInterlock

Version 1.1.19.49

2023-09-04

• Bug修复
  • 1:修改UPS相关现实内容（SC配置提示+DeviceView界面)
• 新特性
  • 1:删除PM DI0和DI7 (DO2、40、41、54、112-119、111的互锁 (为了开腔维护时间可以吹扫)

Version 1.1.18.48

2023-09-01

• Bug修复
  • 解决Mfc Ror测试过程中Mfc未在正确的位置设置Normal状态的BUG

• 新特性

Version 1.1.18.47

2023-08-29

• Bug修复
  • 系统配置中新增MFC60相关的配置参数，修正MFC60的Feedback和SetPoint差异超限后没有报警的问题。
  • 修改加热带温度上限
• 新特性
  • 添加Recipe实时修改功能

Version 1.1.18.46

2023-08-21

• Bug修复
  • 修正冷却水超温后没有产生Warning和Alarm信息的问题
  • 修正log文件中缺少日志等级信息的问题
• 新特性
  • PM2设备配置文件中增加PT9、PT10 Offset和K值设定

Version 1.1.17.45

2023-08-16

• Bug修复
  • 修正PMProcess界面中加载Recipe时，取值范围显示不对问题
• 新特性
  • 无

Version 1.1.17.44

2023-08-14

• Bug修复
  • 修正PM水温显示的一些问题
• 新特性
  • Shutdown按钮增加控制权限，防止人为关闭整个系统
  • 优化PM水温配置，水温名称现可通过配置文件调整

Version 1.1.16.42

2023-08-09

• Bug修复
  • 解决JobList查询数据错乱问题
• 新特性
  • 优化新建Wafer ID名称过长

Version 1.1.16.41

2023-08-03

• Bug修复
  • 修正DataLog重新查询数据曲线时，上次设定的Factor和Offset没有生效的问题
• 新特性
  • 移除PSU2控制输出幅度限制的功能

Version 1.1.15.40

2023-08-03

• Bug修复
  • 修复Recipe StepNo等工艺过程数据没有存储到数据库导致无法查询的问题
• 新特性
  • PM Heater增加PSU2输出幅度上限生效温度设定
  • PSU2輸出幅度下限跟随温度生效或取消
  • Recipe中新增PSU2 Output Limit High参数，用于通过Recipe控制PSU2输出幅度上限（禁用）

Version 1.1.14.38

2023-08-02

• Bug修复
  • 修正工艺过程数据（气体流量、耗电量）统计数值错误的问题
• 新特性
  • 无

Version 1.1.13.37

2023-08-02

• Bug修复
  • 修正Wafer回到LL后，还未完成工艺，即蜂鸣器提示工艺结束的问题
  • 修正 PM Operation视图中Heater电阻值显示精度不够的问题，现改为小数点后三位
• 新特性
  • PSU2增加控制量输出幅度限制，当温度超过1600度时，控制输出幅度限制到设定值
  • PM Process视图的工艺数据统计中新增耗电量统计

Version 1.1.12.36

2023-07-28

• Bug修复

  • 解决PM2 PT Offset和K的设定有误问题

• 新特性

  • 切换蝶阀位置模式时，压力小于设定值则不能切换
  • 蝶阀Disable时，设定对应模式的蝶阀默认值
  • PM Routine蝶阀切换位置模式后增加延时
  • PM Purge和Clean、LeakCheck Routine 取消循环中蝶阀的位置控到100流程
  • 蝶阀控制位置模式启用RampRate
  • System Config默认值重新整理
  • PM Operation视图增加加热器电阻值显示
  • PM Process过程增加对加热器电阻值监测，当阻值超过上限后终止工艺
  • 优化整理数据库代码

Version 1.1.12.35

2023-07-24

• Bug修复

• 新特性

  • 1.重新整理优化数据库代码

Version 1.0.12.34

2023-07-20

• Bug修复
  • 1：修正升级软件时新增权限实际值和设置值不一致的问题
  • 2：修正Wafer控件中显示的Wafer编号太长时，Wafer会缩小的问题
  • 3：TrayBelongTo属性在Buffer中设置后不更新问题，Tray不移动信息不保存问题
  • 4：PLC报警问题优化
• 新特性
  • 1：添加加热丝断路检测，在Receipe执行过程中检测
  • 2：PM Purge开关Final阀增加V111控制
  • 3：重写真值表实现方式
  • 4：优化Coating界面查询效果，和一键设置PM功能

Version 1.0.11.33

2023-07-05

• Bug修复

• 新特性
  • PM Interlock中DI-6替换为DI-7,DO_ProcessRunning增加DI-6条件

Version 1.0.11.32

2023-07-03

• Bug修复
  • 修正ProcessExit时的输出信息等级，由Warning更改为Info
  • 修正ProcessMonitor窗口打开时，Logout时没有自动关闭该窗口的问题
• 新特性
  • 无

Version 1.0.10.31

2023-07-03

• Bug修复
  • 修正TM和LL的LeakCheckRoutine无法执行的问题
  • 修正PM气体流量计算时，修正系数未生效的问题
• 新特性
  • 新增工程模式，当互锁被旁路时进入工程模式，PM Online、手动启动工艺和PM退出Serivce模式将被限制
  • LL Lid打开时输出信息等级由Warning更改为Info
  • PM Process结束，磁流体转速将为0后的输出信息等级由Warning更改为Info
  • 软件信息增加“GE Manual”字串，指示当前版本为通用手动版

Version 1.0.9.30

2023-06-30

• Bug修复
  • 无
• 新特性
  • 实用真值表方式计算流量统计

Version 1.0.9.29

2023-06-29

• Bug修复
  • 修正Sequence编辑器中无法保存Recipe的问题
• 新特性
  • 无

Version 1.0.8.28

2023-06-20

• Bug修复

• 新特性
  • 1.软件增加打开或关闭V94和V96阀时先将对应的MFC流量Ramp到0功能
  • 2.PM界面DORPressVAC绑定由DI_DORPressATMSW改为DI_DORPressVacSW

Version 1.0.7.27

2023-06-19

• Bug修复

• 新特性
  • 系统配置参数增加一键设置传盘压力参数

Version 1.0.7.26

2023-06-14

• Bug修复
  • 软件启动时offset可能写入不成功，添加延时写入
  • 修改水温报警绑定，界面状态指示灯对应的Sensor名称
• 新特性
  • 无

Version 1.0.7.25

2023-06-14

• Bug修复
  • 无
• 新特性
  • 支持指定PM或TM PLC控制三色灯

Version 1.0.7.24

2023-06-14

• Bug修复
  • 修正三色灯复位时可能导致程序异常的问题
• 新特性
  • 无

Version 1.0.7.23

2023-06-14

• Bug修复
  • 修正Module卸载后仍然会触发报警的问题
  • 修正Alarm和EventLog视图中的表格布局问题
• 新特性
  • Recipe编辑器支持拖拽填充功能

Version 1.0.6.22

2023-06-13

• Bug修复
  • 1.解决偶尔PM腔加热被Disable的问题
• 新特性
  • 无

Version 1.0.5.21

2023-06-12

• Bug修复
  • 1.解决偶尔PM腔加热被Disable的问题
• 新特性
  • 无

Version 1.0.5.20

2023-06-12

• Bug修复
  • 无
• 新特性
  • 1.将电阻检测的时间改为可配置 -2.将PLC无法访问已释放的对象报错由Alarm改为Info

Version 1.0.5.19

2023-06-11

• Bug修复
  • 1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0
• 新特性
  • 无

Version 1.0.5.18

2023-06-11

• Bug修复
  • 1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0
• 新特性
  • 无

Version 1.0.5.17

2023-06-10

• Bug修复
  • 无
• 新特性
  • 1.TMRobot与PM取放Tray时取消DI_HeaterTempLowLimitSW点条件限制

Version 1.0.5.16

2023-06-09

• Bug修复
  • 无
• 新特性
  • 1.PreProcess时旋转后延时再升隔热罩改到PostTransfer Routine中 -2.修改MOExchange Routine到最新流程 -3.修改Purge流程，结束后M2M9M15-M26由设置到0改为设置到默认值，关闭J阀改为打开J阀

Version 1.0.5.15

2023-06-09

• Bug修复
  • 1.增加膜厚时，历史数据同步增加BUG修复(dll)
  • 2.修复测温未开启，测温对象为null时，Inner温度读取报错问题(dll)
• 新特性
  • 1.在工艺结束后添加膜厚检测
  • 2.添加三点测温参数配置
  • 3.修改提示项，增加提示内容(dll)
  • 4.解决LeakCheck查询结果重复问题
  • 5.MFC27量程修改
  • 6.增加PM Purge超时时间设置
  • 7.设置Recipe Coating权限

Version 1.0.5.14

2023-06-05

• Bug修复
  • 无
• 新特性
  • 1.PM磁流体增加设置速度大于0时，自动开启其Enable信号
  • 2.PM Purge Routine增加到950mbar的超时时间参数

Version 1.0.5.12

2023-06-03

• Bug修复
  • 1:修正PM2蜂鸣器无法关闭问题
  • 2:修改IO名称
  • 3:修正构造函数中未初始化Module属性导致调用GetConfig失败的问题。
  • 4:显示所有IO
• 新特性
  • 1:修改TM主界面中温度显示

Version 1.0.5.11

2023-06-03

• Bug修复
  • 修正Heater无法打开的问题
• 新特性
  • 无

Version 1.0.5.9

2023-06-01

• Bug修复
  • 1:更新Dll，库中使用的是三个测温点，合并成兼容，只有8号机上有参数调控测温点数量
  • 2:解决ATM模式下TMRobot和PM不能传盘问题
• 新特性
  • 1:修改PM2报警信息，删除屏蔽的测试内容

Version 1.0.5.8

2023-06-01

• Bug修复
  • 无
• 新特性
  • 1:修改动态流量默认值
  • 2:修改三色灯配置文件中Blue未定义的警告
  • 3:修改界面，TM-Device中UPS绑定的数据源
  • 4:修改报警信息
  • 5:修改库文件，IoTC支持PyroAuto和PyroFollow模式
  • 6:删除气阀和MFC联动功能，TM V60 , PM V96 V94
  • 7:自动关Vent阀取消VentMaxPressure要大于AtmPressureBase条件
  • 8:Slit Valve开或关，超时时间从5秒更改到10秒

Version 1.0.5.7

2023-05-31

• Bug修复
  • 无
• 新特性
  • 1:优化Coating界面,移植Coating数据库表设计
  • 2:添加伴热监控点

Version 1.0.4.6

2023-05-30

• Bug修复
  • 修正系统Warning时，三色灯的绿灯亮起的问题
  • 修正PM M28-M40各个压力下动态流量的默认值
  • 修正Tray信息输入窗口的一些错误
• 新特性
  • PT1和Interlock配置中改为使用实际压力值（AI_ActualPressure）
  • Recipe编辑器中隐藏Uid列

Version 1.0.3.5

2023-05-29

• Bug修复
  • 无
• 新特性
  • 1:优化PM Purge和Clean Routine,循坏中伺服压力改为关闭EPV2等待压力到达设定值即可

Version 1.0.3.4

2023-05-26

• Bug修复
  • 无
• 新特性
  • 1：设置PM相关MFC动态流量默认值
  • 2: 更改日志格式，强制为utf-8编码
  • 3：TM取放Tray温度参数合并
  • 4：添加Coating功能
  • 5：重写水温报警
  • 6：隔热罩Interlock正价当前位置和Down位置比较
  • 7：优化蜂鸣器重响逻辑
  • 8：添加合并库

Version 1.0.2.3

2023-04-25

• Bug修复
  • 无
• 新特性
  • 1.AutoRun流程按Sequence设置运行，未选择Buffer不在自动去Buffer层避让
  • 2.若Sequence进PM前未选择Buffer,则TMRobot在Load取Wafer前根据系统配置 参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable; 3.若Sequence进PM前选择Buffer,则TMRobot在Buffer取Wafer前根据系统配置 参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable; 4.取消Sequence编辑界面中Buffer1,2,3层的选择显示

Version 1.0.1.2

2023-04-13

• Bug修复
  • 无
• 新特性
  • 1：TM添加水管
  • 2：优化AE报警提示
  • 3: 更改IO名称，更改水温名称
  • 4：不显示多余参数
  • 5：添加水温Offset功能

Version 1.0.1.1

2023-04-13

• Bug修复
  • 无
• 新特性
  • 1：从5号机更新到10号机
  • 2：添加昂坤测温，PM1和PM2分别使用双通道Middle Outer
  • 3: 更改参数最大值范围