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Sic Manual-GE 系统更新历史记录
Manual-GE 手动通用版(适用无EFEM设备)
Version 1.1.18.46
2023-08-21
- Bug修复
- 修正冷却水超温后没有产生Warning和Alarm信息的问题
- 修正log文件中缺少日志等级信息的问题
- 新特性
- PM2设备配置文件中增加PT9、PT10 Offset和K值设定
Version 1.1.17.45
2023-08-16
- Bug修复
- 修正PMProcess界面中加载Recipe时,取值范围显示不对问题
- 新特性
- 无
Version 1.1.17.44
2023-08-14
- Bug修复
- 修正PM水温显示的一些问题
- 新特性
- Shutdown按钮增加控制权限,防止人为关闭整个系统
- 优化PM水温配置,水温名称现可通过配置文件调整
Version 1.1.16.42
2023-08-09
- Bug修复
- 解决JobList查询数据错乱问题
- 新特性
- 优化新建Wafer ID名称过长
Version 1.1.16.41
2023-08-03
- Bug修复
- 修正DataLog重新查询数据曲线时,上次设定的Factor和Offset没有生效的问题
- 新特性
- 移除PSU2控制输出幅度限制的功能
Version 1.1.15.40
2023-08-03
- Bug修复
- 修复Recipe StepNo等工艺过程数据没有存储到数据库导致无法查询的问题
- 新特性
- PM Heater增加PSU2输出幅度上限生效温度设定
- PSU2輸出幅度下限跟随温度生效或取消
- Recipe中新增PSU2 Output Limit High参数,用于通过Recipe控制PSU2输出幅度上限(禁用)
Version 1.1.14.38
2023-08-02
- Bug修复
- 修正工艺过程数据(气体流量、耗电量)统计数值错误的问题
- 新特性
- 无
Version 1.1.13.37
2023-08-02
- Bug修复
- 修正Wafer回到LL后,还未完成工艺,即蜂鸣器提示工艺结束的问题
- 修正 PM Operation视图中Heater电阻值显示精度不够的问题,现改为小数点后三位
- 新特性
- PSU2增加控制量输出幅度限制,当温度超过1600度时,控制输出幅度限制到设定值
- PM Process视图的工艺数据统计中新增耗电量统计
Version 1.1.12.36
2023-07-28
-
Bug修复
- 解决PM2 PT Offset和K的设定有误问题
-
新特性
- 切换蝶阀位置模式时,压力小于设定值则不能切换
- 蝶阀Disable时,设定对应模式的蝶阀默认值
- PM Routine蝶阀切换位置模式后增加延时
- PM Purge和Clean、LeakCheck Routine 取消循环中蝶阀的位置控到100流程
- 蝶阀控制位置模式启用RampRate
- System Config默认值重新整理
- PM Operation视图增加加热器电阻值显示
- PM Process过程增加对加热器电阻值监测,当阻值超过上限后终止工艺
- 优化整理数据库代码
Version 1.1.12.35
2023-07-24
-
Bug修复
-
新特性
- 1.重新整理优化数据库代码
Version 1.0.12.34
2023-07-20
- Bug修复
- 1:修正升级软件时新增权限实际值和设置值不一致的问题
- 2:修正Wafer控件中显示的Wafer编号太长时,Wafer会缩小的问题
- 3:TrayBelongTo属性在Buffer中设置后不更新问题,Tray不移动信息不保存问题
- 4:PLC报警问题优化
- 新特性
- 1:添加加热丝断路检测,在Receipe执行过程中检测
- 2:PM Purge开关Final阀增加V111控制
- 3:重写真值表实现方式
- 4:优化Coating界面查询效果,和一键设置PM功能
Version 1.0.11.33
2023-07-05
-
Bug修复
- 新特性
- PM Interlock中DI-6替换为DI-7,DO_ProcessRunning增加DI-6条件
Version 1.0.11.32
2023-07-03
- Bug修复
- 修正ProcessExit时的输出信息等级,由Warning更改为Info
- 修正ProcessMonitor窗口打开时,Logout时没有自动关闭该窗口的问题
- 新特性
- 无
Version 1.0.10.31
2023-07-03
- Bug修复
- 修正TM和LL的LeakCheckRoutine无法执行的问题
- 修正PM气体流量计算时,修正系数未生效的问题
- 新特性
- 新增工程模式,当互锁被旁路时进入工程模式,PM Online、手动启动工艺和PM退出Serivce模式将被限制
- LL Lid打开时输出信息等级由Warning更改为Info
- PM Process结束,磁流体转速将为0后的输出信息等级由Warning更改为Info
- 软件信息增加“GE Manual”字串,指示当前版本为通用手动版
Version 1.0.9.30
2023-06-30
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 实用真值表方式计算流量统计
Version 1.0.9.29
2023-06-29
- Bug修复
- 修正Sequence编辑器中无法保存Recipe的问题
- 新特性
- 无
Version 1.0.8.28
2023-06-20
-
Bug修复
- 新特性
- 1.软件增加打开或关闭V94和V96阀时先将对应的MFC流量Ramp到0功能
- 2.PM界面DORPressVAC绑定由DI_DORPressATMSW改为DI_DORPressVacSW
Version 1.0.7.27
2023-06-19
-
Bug修复
- 新特性
- 系统配置参数增加一键设置传盘压力参数
Version 1.0.7.26
2023-06-14
- Bug修复
- 软件启动时offset可能写入不成功,添加延时写入
- 修改水温报警绑定,界面状态指示灯对应的Sensor名称
- 新特性
- 无
Version 1.0.7.25
2023-06-14
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 支持指定PM或TM PLC控制三色灯
Version 1.0.7.24
2023-06-14
- Bug修复
- 修正三色灯复位时可能导致程序异常的问题
- 新特性
- 无
Version 1.0.7.23
2023-06-14
- Bug修复
- 修正Module卸载后仍然会触发报警的问题
- 修正Alarm和EventLog视图中的表格布局问题
- 新特性
- Recipe编辑器支持拖拽填充功能
Version 1.0.6.22
2023-06-13
- Bug修复
- 1.解决偶尔PM腔加热被Disable的问题
- 新特性
- 无
Version 1.0.5.21
2023-06-12
- Bug修复
- 1.解决偶尔PM腔加热被Disable的问题
- 新特性
- 无
Version 1.0.5.20
2023-06-12
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1.将电阻检测的时间改为可配置 -2.将PLC无法访问已释放的对象报错由Alarm改为Info
Version 1.0.5.19
2023-06-11
- Bug修复
- 1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0
- 新特性
- 无
Version 1.0.5.18
2023-06-11
- Bug修复
- 1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0
- 新特性
- 无
Version 1.0.5.17
2023-06-10
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1.TMRobot与PM取放Tray时取消DI_HeaterTempLowLimitSW点条件限制
Version 1.0.5.16
2023-06-09
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1.PreProcess时旋转后延时再升隔热罩改到PostTransfer Routine中 -2.修改MOExchange Routine到最新流程 -3.修改Purge流程,结束后M2M9M15-M26由设置到0改为设置到默认值,关闭J阀改为打开J阀
Version 1.0.5.15
2023-06-09
- Bug修复
- 1.增加膜厚时,历史数据同步增加BUG修复(dll)
- 2.修复测温未开启,测温对象为null时,Inner温度读取报错问题(dll)
- 新特性
- 1.在工艺结束后添加膜厚检测
- 2.添加三点测温参数配置
- 3.修改提示项,增加提示内容(dll)
- 4.解决LeakCheck查询结果重复问题
- 5.MFC27量程修改
- 6.增加PM Purge超时时间设置
- 7.设置Recipe Coating权限
Version 1.0.5.14
2023-06-05
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1.PM磁流体增加设置速度大于0时,自动开启其Enable信号
- 2.PM Purge Routine增加到950mbar的超时时间参数
Version 1.0.5.12
2023-06-03
- Bug修复
- 1:修正PM2蜂鸣器无法关闭问题
- 2:修改IO名称
- 3:修正构造函数中未初始化Module属性导致调用GetConfig失败的问题。
- 4:显示所有IO
- 新特性
- 1:修改TM主界面中温度显示
Version 1.0.5.11
2023-06-03
- Bug修复
- 修正Heater无法打开的问题
- 新特性
- 无
Version 1.0.5.9
2023-06-01
- Bug修复
- 1:更新Dll,库中使用的是三个测温点,合并成兼容,只有8号机上有参数调控测温点数量
- 2:解决ATM模式下TMRobot和PM不能传盘问题
- 新特性
- 1:修改PM2报警信息,删除屏蔽的测试内容
Version 1.0.5.8
2023-06-01
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:修改动态流量默认值
- 2:修改三色灯配置文件中Blue未定义的警告
- 3:修改界面,TM-Device中UPS绑定的数据源
- 4:修改报警信息
- 5:修改库文件,IoTC支持PyroAuto和PyroFollow模式
- 6:删除气阀和MFC联动功能,TM V60 , PM V96 V94
- 7:自动关Vent阀取消VentMaxPressure要大于AtmPressureBase条件
- 8:Slit Valve开或关,超时时间从5秒更改到10秒
Version 1.0.5.7
2023-05-31
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:优化Coating界面,移植Coating数据库表设计
- 2:添加伴热监控点
Version 1.0.4.6
2023-05-30
- Bug修复
- 修正系统Warning时,三色灯的绿灯亮起的问题
- 修正PM M28-M40各个压力下动态流量的默认值
- 修正Tray信息输入窗口的一些错误
- 新特性
- PT1和Interlock配置中改为使用实际压力值(AI_ActualPressure)
- Recipe编辑器中隐藏Uid列
Version 1.0.3.5
2023-05-29
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:优化PM Purge和Clean Routine,循坏中伺服压力改为关闭EPV2等待压力到达设定值即可
Version 1.0.3.4
2023-05-26
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:设置PM相关MFC动态流量默认值
- 2: 更改日志格式,强制为utf-8编码
- 3:TM取放Tray温度参数合并
- 4:添加Coating功能
- 5:重写水温报警
- 6:隔热罩Interlock正价当前位置和Down位置比较
- 7:优化蜂鸣器重响逻辑
- 8:添加合并库
Version 1.0.2.3
2023-04-25
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1.AutoRun流程按Sequence设置运行,未选择Buffer不在自动去Buffer层避让
- 2.若Sequence进PM前未选择Buffer,则TMRobot在Load取Wafer前根据系统配置 参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable; 3.若Sequence进PM前选择Buffer,则TMRobot在Buffer取Wafer前根据系统配置 参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable; 4.取消Sequence编辑界面中Buffer1,2,3层的选择显示
Version 1.0.1.2
2023-04-13
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:TM添加水管
- 2:优化AE报警提示
- 3: 更改IO名称,更改水温名称
- 4:不显示多余参数
- 5:添加水温Offset功能
Version 1.0.1.1
2023-04-13
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:从5号机更新到10号机
- 2:添加昂坤测温,PM1和PM2分别使用双通道Middle Outer
- 3: 更改参数最大值范围