SL fe9280864b refactor(PMModule): 移除PMModule对象中，工艺时温度变化率过大报警监测，该逻辑在IoTC对象中实现。 ... 系统配置项PM.PMx.Heater.AETempRasingFastIsAlarm的默认值改为false。		2024-07-12 14:41:03 +08:00
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Aligners	整理SicModule工程内Routine相关对象的文件夹结构。	2023-08-15 16:43:15 +08:00
Buffers	整理SicModule工程内Routine相关对象的文件夹结构。	2023-08-15 16:43:15 +08:00
Cassettes	SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。	2023-05-11 10:38:59 +08:00
Config	pm2添加压力平衡报警,更新版本1.2.12.83	2024-07-02 14:09:02 +08:00
Devices	1.TM Purge检查功能优化	2023-10-12 11:59:33 +08:00
EFEMs	修复 EFEM SlitValueRoutine 触发时提示文本缺失名称	2023-10-07 14:49:49 +08:00
LLs	1.添加Gem配置文件	2024-05-17 10:39:05 +08:00
PMs	refactor(PMModule): 移除PMModule对象中，工艺时温度变化率过大报警监测，该逻辑在IoTC对象中实现。	2024-07-12 14:41:03 +08:00
Properties	工程Modules更名为SicModules。	2023-05-10 11:23:04 +08:00
TMs	修改PM和TM闸板阀，打开和关闭时的检测逻辑	2024-01-15 08:59:10 +08:00
UnLoads	合并Develop最新改动。	2023-08-25 17:33:52 +08:00
SicModules.csproj	1.添加Gem配置文件	2024-05-17 10:39:05 +08:00