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Sic 系统更新历史记录
Version 1.0.5.21
2023-06-12
- Bug修复
- 1.解决偶尔PM腔加热被Disable的问题
-
新特性
Version 1.0.5.20
2023-06-12
-
Bug修复
- 新特性
- 1.将电阻检测的时间改为可配置 -2.将PLC无法访问已释放的对象报错由Alarm改为Info
Version 1.0.5.19
2023-06-11
- Bug修复
- 1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0
-
新特性
Version 1.0.5.18
2023-06-11
- Bug修复
- 1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0
-
新特性
Version 1.0.5.17
2023-06-10
-
Bug修复
- 新特性
- 1.TMRobot与PM取放Tray时取消DI_HeaterTempLowLimitSW点条件限制
Version 1.0.5.16
2023-06-09
-
Bug修复
- 新特性
- 1.PreProcess时旋转后延时再升隔热罩改到PostTransfer Routine中 -2.修改MOExchange Routine到最新流程 -3.修改Purge流程,结束后M2M9M15-M26由设置到0改为设置到默认值,关闭J阀改为打开J阀
Version 1.0.5.15
2023-06-09
- Bug修复
- 1.增加膜厚时,历史数据同步增加BUG修复(dll)
- 2.修复测温未开启,测温对象为null时,Inner温度读取报错问题(dll)
- 新特性
- 1.在工艺结束后添加膜厚检测
- 2.添加三点测温参数配置
- 3.修改提示项,增加提示内容(dll)
- 4.解决LeakCheck查询结果重复问题
- 5.MFC27量程修改
- 6.增加PM Purge超时时间设置
- 7.设置Recipe Coating权限
Version 1.0.5.14
2023-06-05
-
Bug修复
- 新特性
- 1.PM磁流体增加设置速度大于0时,自动开启其Enable信号
- 2.PM Purge Routine增加到950mbar的超时时间参数
Version 1.0.5.12
2023-06-03
- Bug修复
- 1:修正PM2蜂鸣器无法关闭问题
- 2:修改IO名称
- 3:修正构造函数中未初始化Module属性导致调用GetConfig失败的问题。
- 4:显示所有IO
- 新特性
- 1:修改TM主界面中温度显示
Version 1.0.5.11
2023-06-03
- Bug修复
- 修正Heater无法打开的问题
- 新特性
- 无
Version 1.0.5.9
2023-06-01
- Bug修复
- 1:更新Dll,库中使用的是三个测温点,合并成兼容,只有8号机上有参数调控测温点数量
- 2:解决ATM模式下TMRobot和PM不能传盘问题
- 新特性
- 1:修改PM2报警信息,删除屏蔽的测试内容
Version 1.0.5.8
2023-06-01
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:修改动态流量默认值
- 2:修改三色灯配置文件中Blue未定义的警告
- 3:修改界面,TM-Device中UPS绑定的数据源
- 4:修改报警信息
- 5:修改库文件,IoTC支持PyroAuto和PyroFollow模式
- 6:删除气阀和MFC联动功能,TM V60 , PM V96 V94
- 7:自动关Vent阀取消VentMaxPressure要大于AtmPressureBase条件
- 8:Slit Valve开或关,超时时间从5秒更改到10秒
Version 1.0.5.7
2023-05-31
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:优化Coating界面,移植Coating数据库表设计
- 2:添加伴热监控点
Version 1.0.4.6
2023-05-30
- Bug修复
- 修正系统Warning时,三色灯的绿灯亮起的问题
- 修正PM M28-M40各个压力下动态流量的默认值
- 修正Tray信息输入窗口的一些错误
- 新特性
- PT1和Interlock配置中改为使用实际压力值(AI_ActualPressure)
- Recipe编辑器中隐藏Uid列
Version 1.0.3.5
2023-05-29
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:优化PM Purge和Clean Routine,循坏中伺服压力改为关闭EPV2等待压力到达设定值即可
Version 1.0.3.4
2023-05-26
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:设置PM相关MFC动态流量默认值
- 2: 更改日志格式,强制为utf-8编码
- 3:TM取放Tray温度参数合并
- 4:添加Coating功能
- 5:重写水温报警
- 6:隔热罩Interlock正价当前位置和Down位置比较
- 7:优化蜂鸣器重响逻辑
- 8:添加合并库
Version 1.0.2.3
2023-04-25
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1.AutoRun流程按Sequence设置运行,未选择Buffer不在自动去Buffer层避让
- 2.若Sequence进PM前未选择Buffer,则TMRobot在Load取Wafer前根据系统配置 参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable; 3.若Sequence进PM前选择Buffer,则TMRobot在Buffer取Wafer前根据系统配置 参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable; 4.取消Sequence编辑界面中Buffer1,2,3层的选择显示
Version 1.0.1.2
2023-04-13
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:TM添加水管
- 2:优化AE报警提示
- 3: 更改IO名称,更改水温名称
- 4:不显示多余参数
- 5:添加水温Offset功能
Version 1.0.1.1
2023-04-13
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:从5号机更新到10号机
- 2:添加昂坤测温,PM1和PM2分别使用双通道Middle Outer
- 3: 更改参数最大值范围