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Sic10
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4.1 KiB
Raw Blame History

Sic 系统更新历史记录

Version 1.0.5.16

2023-06-09

  • Bug修复

  • 新特性
    • 1.PreProcess时旋转后延时再升隔热罩改到PostTransfer Routine中 -2.修改MOExchange Routine到最新流程 -3.修改Purge流程，结束后M2M9M15-M26由设置到0改为设置到默认值，关闭J阀改为打开J阀

Version 1.0.5.15

2023-06-09

  • Bug修复
    • 1.增加膜厚时，历史数据同步增加BUG修复(dll)
    • 2.修复测温未开启，测温对象为null时，Inner温度读取报错问题(dll)
  • 新特性
    • 1.在工艺结束后添加膜厚检测
    • 2.添加三点测温参数配置
    • 3.修改提示项，增加提示内容(dll)
    • 4.解决LeakCheck查询结果重复问题
    • 5.MFC27量程修改
    • 6.增加PM Purge超时时间设置
    • 7.设置Recipe Coating权限

Version 1.0.5.14

2023-06-05

  • Bug修复

  • 新特性
    • 1.PM磁流体增加设置速度大于0时，自动开启其Enable信号
    • 2.PM Purge Routine增加到950mbar的超时时间参数

Version 1.0.5.12

2023-06-03

  • Bug修复
    • 1:修正PM2蜂鸣器无法关闭问题
    • 2:修改IO名称
    • 3:修正构造函数中未初始化Module属性导致调用GetConfig失败的问题。
    • 4:显示所有IO
  • 新特性
    • 1:修改TM主界面中温度显示

Version 1.0.5.11

2023-06-03

  • Bug修复
    • 修正Heater无法打开的问题
  • 新特性
    • 无

Version 1.0.5.9

2023-06-01

  • Bug修复
    • 1:更新Dll，库中使用的是三个测温点，合并成兼容，只有8号机上有参数调控测温点数量
    • 2:解决ATM模式下TMRobot和PM不能传盘问题
  • 新特性
    • 1:修改PM2报警信息，删除屏蔽的测试内容

Version 1.0.5.8

2023-06-01

  • Bug修复
    • 无
  • 新特性
    • 1:修改动态流量默认值
    • 2:修改三色灯配置文件中Blue未定义的警告
    • 3:修改界面，TM-Device中UPS绑定的数据源
    • 4:修改报警信息
    • 5:修改库文件，IoTC支持PyroAuto和PyroFollow模式
    • 6:删除气阀和MFC联动功能，TM V60 , PM V96 V94
    • 7:自动关Vent阀取消VentMaxPressure要大于AtmPressureBase条件
    • 8:Slit Valve开或关，超时时间从5秒更改到10秒

Version 1.0.5.7

2023-05-31

  • Bug修复
    • 无
  • 新特性
    • 1:优化Coating界面,移植Coating数据库表设计
    • 2:添加伴热监控点

Version 1.0.4.6

2023-05-30

  • Bug修复
    • 修正系统Warning时，三色灯的绿灯亮起的问题
    • 修正PM M28-M40各个压力下动态流量的默认值
    • 修正Tray信息输入窗口的一些错误
  • 新特性
    • PT1和Interlock配置中改为使用实际压力值（AI_ActualPressure）
    • Recipe编辑器中隐藏Uid列

Version 1.0.3.5

2023-05-29

  • Bug修复
    • 无
  • 新特性
    • 1:优化PM Purge和Clean Routine,循坏中伺服压力改为关闭EPV2等待压力到达设定值即可

Version 1.0.3.4

2023-05-26

  • Bug修复
    • 无
  • 新特性
    • 1：设置PM相关MFC动态流量默认值
    • 2: 更改日志格式，强制为utf-8编码
    • 3：TM取放Tray温度参数合并
    • 4：添加Coating功能
    • 5：重写水温报警
    • 6：隔热罩Interlock正价当前位置和Down位置比较
    • 7：优化蜂鸣器重响逻辑
    • 8：添加合并库

Version 1.0.2.3

2023-04-25

  • Bug修复
    • 无
  • 新特性
    • 1.AutoRun流程按Sequence设置运行，未选择Buffer不在自动去Buffer层避让
    • 2.若Sequence进PM前未选择Buffer,则TMRobot在Load取Wafer前根据系统配置 参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable; 3.若Sequence进PM前选择Buffer,则TMRobot在Buffer取Wafer前根据系统配置 参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable; 4.取消Sequence编辑界面中Buffer1,2,3层的选择显示

Version 1.0.1.2

2023-04-13

  • Bug修复
    • 无
  • 新特性
    • 1：TM添加水管
    • 2：优化AE报警提示
    • 3: 更改IO名称，更改水温名称
    • 4：不显示多余参数
    • 5：添加水温Offset功能

Version 1.0.1.1

2023-04-13

  • Bug修复
    • 无
  • 新特性
    • 1：从5号机更新到10号机
    • 2：添加昂坤测温，PM1和PM2分别使用双通道Middle Outer
    • 3: 更改参数最大值范围