hanqiangqiang b72eb591af 删除PM DI0和DI7 (DO2、40、41、54、112-119、111的互锁 (为了开腔维护时间可以吹扫)		2023-09-01 15:58:20 +08:00
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Aligners	SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。	2023-05-11 10:38:59 +08:00
Buffers	SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。	2023-05-11 10:38:59 +08:00
Cassettes	SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。	2023-05-11 10:38:59 +08:00
Config	删除PM DI0和DI7 (DO2、40、41、54、112-119、111的互锁 (为了开腔维护时间可以吹扫)	2023-09-01 15:58:20 +08:00
Devices	更新库文件（Commit 33a4580）	2023-05-11 11:35:42 +08:00
EFEMs	1.整理WaferInfo类	2023-08-10 15:54:46 +08:00
LLs	Load和Unload添加配项参数VentTimeOut，充气超时时间	2023-08-23 16:58:54 +08:00
PMs	解决Mfc Ror测试过程中Mfc未在正确的位置设置Normal状态的BUG	2023-09-01 15:46:51 +08:00
Properties	工程Modules更名为SicModules。	2023-05-10 11:23:04 +08:00
TMs	系统配置中新增MFC60相关的配置参数，修正MFC60的Feedback和SetPoint差异超限后没有报警的问题。	2023-08-29 11:58:45 +08:00
UnLoads	Load和Unload添加配项参数VentTimeOut，充气超时时间	2023-08-23 16:58:54 +08:00
SicModules.csproj	更新库文件（Commit 4f31bfb），修正PM工艺数据统计相关的一些问题。	2023-08-01 18:27:31 +08:00