hanqiangqiang b72eb591af 删除PM DI0和DI7 (DO2、40、41、54、112-119、111的互锁 (为了开腔维护时间可以吹扫)		2023-09-01 15:58:20 +08:00
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PM	删除PM DI0和DI7 (DO2、40、41、54、112-119、111的互锁 (为了开腔维护时间可以吹扫)	2023-09-01 15:58:20 +08:00
Recipe/Sic	新增关闭软件权限，需要修改配置才能Shutdown	2023-08-08 10:11:06 +08:00
TM	系统配置中新增MFC60相关的配置参数，修正MFC60的Feedback和SetPoint差异超限后没有报警的问题。	2023-08-29 11:58:45 +08:00