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# Sic 系统更新历史记录
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## Version 1.0.7.26
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**2023-06-14**
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- Bug修复
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- 软件启动时offset可能写入不成功,添加延时写入
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- 修改水温报警绑定,界面状态指示灯对应的Sensor名称
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- 新特性
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- 无
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## Version 1.0.7.25
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**2023-06-14**
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- Bug修复
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- 无
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- 新特性
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- 支持指定PM或TM PLC控制三色灯
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## Version 1.0.7.24
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**2023-06-14**
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- Bug修复
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- 修正三色灯复位时可能导致程序异常的问题
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- 新特性
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- 无
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## Version 1.0.7.23
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**2023-06-14**
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- Bug修复
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- 修正Module卸载后仍然会触发报警的问题
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- 修正Alarm和EventLog视图中的表格布局问题
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- 新特性
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- Recipe编辑器支持拖拽填充功能
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## Version 1.0.6.22
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**2023-06-13**
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- Bug修复
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- 1.解决偶尔PM腔加热被Disable的问题
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- 新特性
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- 无
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## Version 1.0.5.21
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**2023-06-12**
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- Bug修复
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- 1.解决偶尔PM腔加热被Disable的问题
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- 新特性
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||
- 无
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## Version 1.0.5.20
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**2023-06-12**
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- Bug修复
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- 无
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- 新特性
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- 1.将电阻检测的时间改为可配置
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-2.将PLC无法访问已释放的对象报错由Alarm改为Info
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## Version 1.0.5.19
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**2023-06-11**
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- Bug修复
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- 1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0
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- 新特性
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- 无
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## Version 1.0.5.18
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**2023-06-11**
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- Bug修复
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- 1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0
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- 新特性
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- 无
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## Version 1.0.5.17
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**2023-06-10**
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- Bug修复
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- 无
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- 新特性
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- 1.TMRobot与PM取放Tray时取消DI_HeaterTempLowLimitSW点条件限制
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## Version 1.0.5.16
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**2023-06-09**
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- Bug修复
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- 无
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- 新特性
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- 1.PreProcess时旋转后延时再升隔热罩改到PostTransfer Routine中
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-2.修改MOExchange Routine到最新流程
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-3.修改Purge流程,结束后M2M9M15-M26由设置到0改为设置到默认值,关闭J阀改为打开J阀
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## Version 1.0.5.15
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**2023-06-09**
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- Bug修复
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- 1.增加膜厚时,历史数据同步增加BUG修复(dll)
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- 2.修复测温未开启,测温对象为null时,Inner温度读取报错问题(dll)
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- 新特性
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- 1.在工艺结束后添加膜厚检测
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- 2.添加三点测温参数配置
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- 3.修改提示项,增加提示内容(dll)
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- 4.解决LeakCheck查询结果重复问题
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- 5.MFC27量程修改
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- 6.增加PM Purge超时时间设置
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- 7.设置Recipe Coating权限
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## Version 1.0.5.14
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**2023-06-05**
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- Bug修复
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- 无
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- 新特性
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- 1.PM磁流体增加设置速度大于0时,自动开启其Enable信号
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- 2.PM Purge Routine增加到950mbar的超时时间参数
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## Version 1.0.5.12
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**2023-06-03**
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- Bug修复
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- 1:修正PM2蜂鸣器无法关闭问题
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- 2:修改IO名称
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- 3:修正构造函数中未初始化Module属性导致调用GetConfig失败的问题。
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- 4:显示所有IO
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- 新特性
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- 1:修改TM主界面中温度显示
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## Version 1.0.5.11
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**2023-06-03**
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- Bug修复
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- 修正Heater无法打开的问题
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- 新特性
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- 无
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## Version 1.0.5.9
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**2023-06-01**
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- Bug修复
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- 1:更新Dll,库中使用的是三个测温点,合并成兼容,只有8号机上有参数调控测温点数量
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- 2:解决ATM模式下TMRobot和PM不能传盘问题
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- 新特性
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- 1:修改PM2报警信息,删除屏蔽的测试内容
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## Version 1.0.5.8
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**2023-06-01**
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- Bug修复
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- 无
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- 新特性
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- 1:修改动态流量默认值
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- 2:修改三色灯配置文件中Blue未定义的警告
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- 3:修改界面,TM-Device中UPS绑定的数据源
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- 4:修改报警信息
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- 5:修改库文件,IoTC支持PyroAuto和PyroFollow模式
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- 6:删除气阀和MFC联动功能,TM V60 , PM V96 V94
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- 7:自动关Vent阀取消VentMaxPressure要大于AtmPressureBase条件
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- 8:Slit Valve开或关,超时时间从5秒更改到10秒
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## Version 1.0.5.7
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**2023-05-31**
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- Bug修复
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- 无
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- 新特性
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- 1:优化Coating界面,移植Coating数据库表设计
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- 2:添加伴热监控点
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## Version 1.0.4.6
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**2023-05-30**
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- Bug修复
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- 修正系统Warning时,三色灯的绿灯亮起的问题
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- 修正PM M28-M40各个压力下动态流量的默认值
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- 修正Tray信息输入窗口的一些错误
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- 新特性
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- PT1和Interlock配置中改为使用实际压力值(AI_ActualPressure)
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- Recipe编辑器中隐藏Uid列
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## Version 1.0.3.5
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**2023-05-29**
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- Bug修复
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- 无
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- 新特性
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- 1:优化PM Purge和Clean Routine,循坏中伺服压力改为关闭EPV2等待压力到达设定值即可
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## Version 1.0.3.4
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**2023-05-26**
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- Bug修复
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- 无
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- 新特性
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- 1:设置PM相关MFC动态流量默认值
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- 2: 更改日志格式,强制为utf-8编码
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- 3:TM取放Tray温度参数合并
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- 4:添加Coating功能
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- 5:重写水温报警
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- 6:隔热罩Interlock正价当前位置和Down位置比较
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- 7:优化蜂鸣器重响逻辑
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- 8:添加合并库
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## Version 1.0.2.3
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**2023-04-25**
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- Bug修复
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- 无
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- 新特性
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- 1.AutoRun流程按Sequence设置运行,未选择Buffer不在自动去Buffer层避让
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- 2.若Sequence进PM前未选择Buffer,则TMRobot在Load取Wafer前根据系统配置
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参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable;
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3.若Sequence进PM前选择Buffer,则TMRobot在Buffer取Wafer前根据系统配置
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参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable;
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4.取消Sequence编辑界面中Buffer1,2,3层的选择显示
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## Version 1.0.1.2
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**2023-04-13**
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- Bug修复
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- 无
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- 新特性
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- 1:TM添加水管
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- 2:优化AE报警提示
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- 3: 更改IO名称,更改水温名称
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- 4:不显示多余参数
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- 5:添加水温Offset功能
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## Version 1.0.1.1
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**2023-04-13**
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- Bug修复
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- 无
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- 新特性
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- 1:从5号机更新到10号机
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- 2:添加昂坤测温,PM1和PM2分别使用双通道Middle Outer
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- 3: 更改参数最大值范围
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