SL 5a81634575 修正PostProcess、PMPostTransferRoutine和PMToProcessIdleRoutine中未正确设置PSU、SCR加热模式的问题。		2024-03-14 15:15:05 +08:00
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RecipeExecutions	PM腔体和管道压差，在工艺过程中检测，报警等级可配置	2024-03-14 10:56:08 +08:00
Routines	修正PostProcess、PMPostTransferRoutine和PMToProcessIdleRoutine中未正确设置PSU、SCR加热模式的问题。	2024-03-14 15:15:05 +08:00
Utilities	SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。	2023-05-11 10:38:59 +08:00
PMModule.cs	1.保留小数点后两位	2024-03-13 15:31:15 +08:00
PMModuleDevice.cs	PM腔体和管道压差，在工艺过程中检测，报警等级可配置	2024-03-14 10:56:08 +08:00
PMModuleInterlock.cs	SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。	2023-05-11 10:38:59 +08:00