SL 5a81634575 修正PostProcess、PMPostTransferRoutine和PMToProcessIdleRoutine中未正确设置PSU、SCR加热模式的问题。		2024-03-14 15:15:05 +08:00
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Base	修正PostProcess、PMPostTransferRoutine和PMToProcessIdleRoutine中未正确设置PSU、SCR加热模式的问题。	2024-03-14 15:15:05 +08:00
Recipe	1.整理WaferInfo类	2023-08-10 15:54:46 +08:00
PMButttomSectionMoveRoutine.cs	SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。	2023-05-11 10:38:59 +08:00
PMChamberMoveBodyRoutine.cs	1.关腔最后增加关闭V76、打开V75操作	2023-07-05 13:32:46 +08:00
PMCleanRoutine.cs	1.修改Clean流程	2023-10-31 08:45:24 +08:00
PMExchangeMoRoutine.cs	1.修改MOExchange Routine到最新流程	2023-06-09 16:56:18 +08:00
PMHomeRoutine.cs	SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。	2023-05-11 10:38:59 +08:00
PMLeakCheckRoutine.cs	1.修改LeakCheck	2023-08-17 15:40:43 +08:00
PMMfcRorRoutine.cs	1.解决MFC ROR测试重做上次MFC ROR流程的问题	2023-10-25 08:51:23 +08:00
PMPcCalibrationRoutine.cs	SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。	2023-05-11 10:38:59 +08:00
PMPostTransferRoutine.cs	1.PreProcess时旋转后延时再升隔热罩改到PostTransfer Routine中	2023-06-09 16:41:06 +08:00
PMPrepareTransferRoutine.cs	SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。	2023-05-11 10:38:59 +08:00
PMProcessAbortRoutine.cs	SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。	2023-05-11 10:38:59 +08:00
PMProcessRoutine.cs	1.整理WaferInfo类	2023-08-10 15:54:46 +08:00
PMPumpRoutine.cs	1.按照EFEM PM Routine优化PM Routine，防止飞片	2023-05-11 13:45:18 +08:00
PMPurgeRoutine.cs	1.PM Purge超时时间设置为600s	2023-08-10 11:11:31 +08:00
PMServoToPressure.cs	SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。	2023-05-11 10:38:59 +08:00
PMStopHeatEnableRoutine.cs	SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。	2023-05-11 10:38:59 +08:00
PMToAtmIdleRoutine.cs	1.按照EFEM PM Routine优化PM Routine，防止飞片	2023-05-11 13:45:18 +08:00
PMToIsolationRoutine.cs	SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。	2023-05-11 10:38:59 +08:00
PMToProcessIdleRoutine.cs	修正PostProcess、PMPostTransferRoutine和PMToProcessIdleRoutine中未正确设置PSU、SCR加热模式的问题。	2024-03-14 15:15:05 +08:00
PMVacIdleRoutine.cs	SicModules工程内所有对象的命名空间改为SicModules。	2023-05-11 10:38:59 +08:00
PMVentRoutine.cs	1.按照EFEM PM Routine优化PM Routine，防止飞片	2023-05-11 13:45:18 +08:00