 Liang Su
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c6bcaeeb34
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修正Recipe中的C3H8设置项识别错误，全部默认到Purge的问题。
版本号更新至v1.1.1.1
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2023-11-17 14:13:53 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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0e8d46ef76
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电阻丝加热，当设置为Warning时Log不输出问题修改
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2023-09-13 09:17:41 +08:00 |
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Han Qiang Qiang
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798b4047ca
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更新dll[dd6def1]
1Recipe更新触发函数明修改
2修改气流统计界面外观
3修改Recipe实时更新相关配置和函数
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2023-08-28 09:47:47 +08:00 |
HCL
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9237c3262d
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1.整理WaferInfoRt类
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2023-08-10 15:56:27 +08:00 |
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HCL
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84d3f77d57
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1.进度更新
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2023-08-09 11:01:06 +08:00 |
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Liang Su
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e513872f3c
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更新库文件（Commit 9c181aa），更新IoPSU和IoSCR对象。
PM Operation视图增加加热器电阻值显示。
优化PM Process过程中监测加热器电阻阻值的逻辑。
优化系统配置中加热器电阻检测相关的配置项的名称。
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2023-07-28 11:37:26 +08:00 |
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LAPTOP-V3V5DP1T\Han Qiang Qiang
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b5098fb7f6
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1移植数据库脚本
2在工艺结束后添加膜厚检测
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2023-06-08 16:52:00 +08:00 |
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LAPTOP-V3V5DP1T\Han Qiang Qiang
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199ae2bbc4
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移植Coating
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2023-06-02 11:30:02 +08:00 |
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LAPTOP-V3V5DP1T\Han Qiang Qiang
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0d47693227
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删除久的Coating，修改加热配置项数据类型
更新DLL
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2023-06-01 16:56:20 +08:00 |
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DESKTOP-1N1NK8A\auvkk
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23300aac9e
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合并Develop分支。
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2023-05-05 16:09:03 +08:00 |
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DESKTOP-1N1NK8A\auvkk
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5fc32427bf
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PostProcess Routine中重载StartBody()方法和MonitorBody()方法。
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2023-05-05 11:44:06 +08:00 |
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hanqiangqiang
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a3ff336357
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添加Coating生长功能
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2023-04-23 14:18:42 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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5da921c88e
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Mainframe工程更名为SicModules。
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2023-04-13 15:35:13 +08:00 |