Liang Su
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d0a1234053
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SignalTower配置文件STEvent.xml中增加使用说明注释。
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2023-11-23 15:39:28 +08:00 |
Liang Su
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058548649b
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模拟器中默认将6寸Cassette在位DI信号设置为true。
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2023-11-23 15:38:50 +08:00 |
Liang Su
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7ed58e96f1
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同步最新的公共库。
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2023-11-23 15:37:09 +08:00 |
Liang Su
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5d64c604ba
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版本号更新至v1.1.2.4
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2023-11-22 17:29:45 +08:00 |
Liang Su
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7344a58549
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MFC5是否安装的系统配置默认值改为true。
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2023-11-22 17:26:27 +08:00 |
Liang Su
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dafd1f3d76
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修正TrayRobot、LL、PM、TM仅有Tray时,Tray无法拖放的问题。
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2023-11-22 17:23:24 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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8fb7a84308
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更新dll [2cdf762],修改MFC5控制流程逻辑
1.PM Device配置中使用库中类实例化MFC5控制流程
2.SC配置中添加参数,是否安装MFC5, PM.{module}.MFC.Mfc5.IsInstalled
3.修改PM主界面显示,根据配置是否显示MFC5
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2023-11-21 17:20:54 +08:00 |
HQQ
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e2dd90b0ca
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版本号更新至## Version 1.1.1.3
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2023-11-19 12:19:13 +08:00 |
HQQ
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f04658385a
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添加IoN2HighDoping类,配置气阀控制PN2气体
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2023-11-19 12:17:29 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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1f814517bf
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删除PM2多余Interlock配置项
更新版本号至## Version 1.1.1.2
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2023-11-17 20:51:03 +08:00 |
HCL
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6bdcb0b68d
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1.更新Common库
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2023-11-17 14:29:51 +08:00 |
Liang Su
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c6bcaeeb34
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修正Recipe中的C3H8设置项识别错误,全部默认到Purge的问题。
版本号更新至v1.1.1.1
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2023-11-17 14:13:53 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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8c62eed8a8
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6号机版本号更新至 ## Version 1.1.0.0
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2023-11-16 14:45:27 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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3c7374dfc9
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更新dll [ed25f36],优化PM右键菜单选项
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2023-11-16 14:34:09 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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55f6602cd9
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更新dll [bdaa90e],PM腔体添加右键菜单功能
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2023-11-15 21:38:16 +08:00 |
HCL
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20fa98e2b8
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1.AutoTransfer中判断Tray是否从Buffer中传到Load,这时不需要Load Purge
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2023-11-15 15:12:15 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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493a3f6499
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1更新dll [d2bcfff],上银机械手注册真空开关,夹爪开关控制
2修改按钮界面显示
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2023-11-15 14:57:48 +08:00 |
HCL
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76664e49c3
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1.启用Cassette下降沿信号删除Wafer信息功能
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2023-11-15 14:41:55 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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1e74ce3893
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修改PM 单向阀额定压力值
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2023-11-15 14:32:09 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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389e3f377f
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修改Tray机械手夹爪关闭按钮名称
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2023-11-15 14:08:33 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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b70314fedd
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1添加机械手真空
2还原PM DI-6 InterLock
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2023-11-15 13:23:35 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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3d49ff7cd9
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Merge branch '修改界面' into Sic8ToSic6
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2023-11-15 11:36:00 +08:00 |
HCL
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b34a124194
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1.解决传盘过程中PM2存在的BUG
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2023-11-15 11:34:23 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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4ba9b6b3e1
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1修改界面布局
2隐藏Recipe保存到数据库
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2023-11-15 11:25:58 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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3c6d04a34e
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删除PM DI6 Interlock
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2023-11-15 09:32:24 +08:00 |
HCL
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b476a7e6e9
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1.解决WaferRobot会取3个同PM的Wafer问题
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2023-11-14 16:27:33 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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268c0fd369
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修改Recipe C2H4-> UnitName
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2023-11-14 15:42:09 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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cf50e26d9b
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删除PM2 DI-33门报警Interlock
修改LineHeat配置SC名称
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2023-11-14 14:29:33 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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307e9a3ed7
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修改气体流量C2H4配置
修改SC对应的气体流量配置
删除DI-33门报警InterLock
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2023-11-14 14:03:18 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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272b0d3174
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修改Power,SC配置,
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2023-11-14 11:08:27 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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ddad95686d
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Merge branch '6-1' into Sic8ToSic6
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2023-11-14 10:44:58 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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9c3e075a8b
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C2H4修改为C3H8
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2023-11-14 10:43:36 +08:00 |
HCL
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1e2fc7b36f
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1.增加MFC5控制
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2023-11-14 10:38:38 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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bbda00b198
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1.修改C2H4名称->C3H8
2.IO名称(DI-19,DI 188 189 190 ,AO 211 212 )
3.显示DO43
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2023-11-14 10:14:26 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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45094de4f7
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更新dll [5ff6400],IoValue类中,添加BypassEnableTable实时生效
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2023-11-08 11:31:12 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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b324fbd620
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修改PMHeaterView界面标签名称
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2023-11-07 15:00:51 +08:00 |
HCL
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81bd96391a
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1.修改Purge中Vent超时时间
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2023-11-06 13:37:35 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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3e66bf4e21
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修改TM vent超时问题,由于Routine流程中不区分慢充超时和快充超时,因此统一系统配置参数超时时间VentTimeout
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2023-11-06 11:23:12 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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a5936c017e
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1修改加热带配置名称,
2添加启动前检测LineHeater
3添加气柜温度显示
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2023-11-06 11:07:48 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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1a434f3a6d
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版本号更新至## Version 1.1.32.53
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2023-11-03 12:35:23 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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c24b7db2bb
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更新dll [007352e],修改气柜检测
添加SC配置
修改PM的Device配置
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2023-11-03 12:33:09 +08:00 |
HCL
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6a0ea58574
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1.修改初始化顺序
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2023-11-01 17:19:27 +08:00 |
HCL
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8d89c35b5a
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1.修改ROR M11配置文件的错误
2.ROR时间间隔和基础压力可统一设置
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2023-10-31 14:20:48 +08:00 |
HCL
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1bb1fd34d6
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1.修改Clean流程
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2023-10-31 08:57:02 +08:00 |
HCL
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e707d6c93e
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1.取消传盘时等温度DI信号,改为等待实际温度
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2023-10-30 10:06:01 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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be525ae533
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追加新增功能备注
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2023-10-26 15:12:12 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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dc6e6bcffb
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更新dll [6a62465],添加Recipe对比功能优化,
Menu配置中,添加Recipe对比界面
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2023-10-26 15:06:02 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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ffdd54e802
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版本号更新至## Version 1.1.32.52
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2023-10-26 14:58:13 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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cd3abbd3c3
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修改PMIO报警
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2023-10-26 14:46:35 +08:00 |
Han Qiang Qiang
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27f6b53a3d
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删除无用的AE监控项
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2023-10-26 10:14:48 +08:00 |