HCL 7aaf7e38f8 1.PM开腔时关闭V75后延时2s再打开V76阀		2024-10-08 17:06:30 +08:00
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Aligners	1.整理Cassette CreateDeleteWaferTray	2024-03-12 10:55:46 +08:00
Buffers	修改Io配置长度	2024-05-22 08:59:35 +08:00
Cassettes	1.整理Cassette CreateDeleteWaferTray	2024-03-12 10:55:46 +08:00
Config	1.解决PSU和SCR触发状态反的问题	2024-09-06 14:44:43 +08:00
Devices	1修改开关腔相应Routine,	2024-06-25 17:38:49 +08:00
EFEMs	自动传盘流程添加	2024-06-13 18:13:59 +08:00
LLs	1修改开关腔相应Routine,	2024-06-25 17:38:49 +08:00
PMs	1.PM开腔时关闭V75后延时2s再打开V76阀	2024-10-08 17:06:30 +08:00
Properties	feat(GitVersion): 引入GitVersion自动管理版本号。	2024-04-24 14:41:04 +08:00
TMs	1添加机械手放盘检测，防呆	2024-07-29 16:42:52 +08:00
UnLoads	1.进度更新	2024-03-28 13:24:05 +08:00
SicModules.csproj	1修改开关腔相应Routine,	2024-06-25 17:38:49 +08:00
gitversion.json	1屏蔽温度变化检测	2024-08-19 17:05:15 +08:00