Han Qiang Qiang 0336cee22e 删除旧的测温配置项，配置AE测温类		2023-11-02 10:29:28 +08:00
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Aligners	更新库文件（Commit 90fa346），优化HiWin Aligner执行命令错误后的信息。	2023-08-22 17:56:16 +08:00
Buffers	修改一些Routine的Start方法和Monitor方法，改为重载基类的StartBody方法和MonitorBody方法。	2023-04-20 16:52:42 +08:00
Cassettes	删除久的Coating，修改加热配置项数据类型	2023-06-01 16:56:20 +08:00
Config	删除旧的测温配置项，配置AE测温类	2023-11-02 10:29:28 +08:00
Devices	1.修改Load 旋转电机CCD位置逻辑	2023-08-10 16:35:52 +08:00
EFEMs	1.自动设备增加inch类型参数选项	2023-10-24 15:29:21 +08:00
LLs	1.取消Load Servo压力Pump延时	2023-09-06 15:48:27 +08:00
PMs	1.修改Clean流程	2023-10-31 08:57:02 +08:00
Properties	Add project files.	2023-03-03 15:42:13 +08:00
TMs	1.优化Purge和Vent可能出现的问题	2023-10-24 09:58:50 +08:00
UnLoads	修改 新增的data项 数据库不保存	2023-10-03 09:08:02 +08:00
SicModules.csproj	添加Common.XML配置文件，用来初始化设备共用硬件	2023-11-01 10:49:43 +08:00