SicMultiplate/Modules/Mainframe/TMs/Routines
HCL 5ea1d7cef1 1.解决一些问题 2024-01-15 08:48:28 +08:00
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Base 1.优化Purge和Vent可能出现的问题 2023-10-24 09:58:50 +08:00
TMHomeRoutine.cs Mainframe工程更名为SicModules。 2023-04-13 15:35:13 +08:00
TMLeakcheckRoutine.cs TM,Load,Unload腔漏检Routine添加延时,参考PM腔漏检的延时调用时机 2023-07-18 15:51:57 +08:00
TMPressureBalancePidRoutine.cs 修改一些Routine的Start方法和Monitor方法,改为重载基类的StartBody方法和MonitorBody方法。 2023-04-20 16:52:42 +08:00
TMPressureBalanceRoutine.cs Mainframe工程更名为SicModules。 2023-04-13 15:35:13 +08:00
TMPumpRoutine.cs Mainframe工程更名为SicModules。 2023-04-13 15:35:13 +08:00
TMPurgeRoutine.cs 1.修改Purge中Vent超时时间 2023-11-06 13:37:35 +08:00
TMRobotExtendRoutine.cs Mainframe工程更名为SicModules。 2023-04-13 15:35:13 +08:00
TMRobotGoToRoutine.cs Mainframe工程更名为SicModules。 2023-04-13 15:35:13 +08:00
TMRobotHomeRoutine.cs Mainframe工程更名为SicModules。 2023-04-13 15:35:13 +08:00
TMRobotPickAndPlaceRoutine.cs Mainframe工程更名为SicModules。 2023-04-13 15:35:13 +08:00
TMRobotPickRoutine.cs Mainframe工程更名为SicModules。 2023-04-13 15:35:13 +08:00
TMRobotPlaceRoutine.cs Mainframe工程更名为SicModules。 2023-04-13 15:35:13 +08:00
TMRobotRetractRoutine.cs Mainframe工程更名为SicModules。 2023-04-13 15:35:13 +08:00
TMServoRoutine.cs Mainframe工程更名为SicModules。 2023-04-13 15:35:13 +08:00
TMSlitValveRoutine.cs 1.解决一些问题 2024-01-15 08:48:28 +08:00
TMVentRoutine.cs 修改TM vent超时问题,由于Routine流程中不区分慢充超时和快充超时,因此统一系统配置参数超时时间VentTimeout 2023-11-06 11:23:12 +08:00
TMVerifySlitValveRoutine.cs 修改一些Routine的Start方法和Monitor方法,改为重载基类的StartBody方法和MonitorBody方法。 2023-04-20 16:52:42 +08:00