Liang Su 3385ab6ebf 更新库文件（Commit 71422b8） ... 更新HiWinAligner驱动，相应的修改AlignerBaseRoutine、AlignerModule、EfemBaseRoutine、DeviceManager中和Aligner相关的代码。 更新Recipe相关代码，修正引用Recipe相关对象使用的namespace。 移除RecipColNo定于，查找RecipeStepParam改为调用FindParamByControlName()以通过模板中定义的ControlName进行查找。 UIViewModelBase对象更名为UiViewModelBase。		2023-05-11 08:49:44 +08:00
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Routines	更新库文件（Commit 71422b8）	2023-05-11 08:49:44 +08:00
EFEMModule.cs	修改一些Routine的Start方法和Monitor方法，改为重载基类的StartBody方法和MonitorBody方法。	2023-04-20 16:52:42 +08:00
EFEMModuleBase.cs	Mainframe工程更名为SicModules。	2023-04-13 15:35:13 +08:00
SicEFEM.cs	Mainframe工程更名为SicModules。	2023-04-13 15:35:13 +08:00
SicTrayRobot.cs	Mainframe工程更名为SicModules。	2023-04-13 15:35:13 +08:00
SicWaferRobot.cs	Mainframe工程更名为SicModules。	2023-04-13 15:35:13 +08:00
TrayRobotModule.cs	修改一些Routine的Start方法和Monitor方法，改为重载基类的StartBody方法和MonitorBody方法。	2023-04-20 16:52:42 +08:00
WaferRobotModule.cs	修改一些Routine的Start方法和Monitor方法，改为重载基类的StartBody方法和MonitorBody方法。	2023-04-20 16:52:42 +08:00